RTP RTA SiC bọc tàu sân bay

Semicorex là nhà sản xuất và cung cấp quy mô lớn Chất nhạy cảm than chì phủ silicon cacbua tại Trung Quốc. Chất nhạy cảm than chì Semicorex được thiết kế đặc biệt cho thiết bị epit Wax có khả năng chịu nhiệt và ăn mòn cao ở Trung Quốc. Nhà cung cấp dịch vụ phủ RTP RTA SiC của chúng tôi có lợi thế về giá tốt và bao phủ nhiều thị trường Châu Âu và Châu Mỹ. Chúng tôi mong muốn trở thành đối tác lâu dài của bạn.

Gửi yêu cầu

Mô tả Sản phẩm

Semicorex cung cấp RTP RTA SiC Coated Carrier dùng để hỗ trợ các tấm bán dẫn, loại này thực sự ổn định cho RTA, RTP hoặc làm sạch bằng hóa chất khắc nghiệt. Chất mang phủ RTP RTA SiC với cấu trúc than chì phủ silicon cacbua (SiC) có độ tinh khiết cao mang lại khả năng chịu nhiệt vượt trội, thậm chí là độ đồng đều nhiệt cho độ dày và khả năng chống chịu của lớp epi nhất quán cũng như khả năng kháng hóa chất bền bỉ. Lớp phủ tinh thể SiC mịn mang lại bề mặt sạch, mịn, rất quan trọng cho việc xử lý vì các tấm bán dẫn nguyên sơ tiếp xúc với chất nhạy cảm ở nhiều điểm trên toàn bộ khu vực của chúng.
Tại Semicorex, chúng tôi tập trung vào việc cung cấp Nhà cung cấp dịch vụ phủ RTP RTA SiC chất lượng cao, tiết kiệm chi phí, chúng tôi ưu tiên sự hài lòng của khách hàng và cung cấp các giải pháp tiết kiệm chi phí. Chúng tôi mong muốn trở thành đối tác lâu dài của bạn, cung cấp các sản phẩm chất lượng cao và dịch vụ khách hàng đặc biệt.

Các thông số của RTP RTA SiC Coated Carrier

Thông số kỹ thuật chính của lớp phủ CVD-SIC
Thuộc tính SiC-CVD
Cấu trúc tinh thể	Giai đoạn FCC
Tỉ trọng	g/cm³	3.21
độ cứng	Độ cứng Vickers	2500
Kích thước hạt	mm	2~10
Độ tinh khiết hóa học	%	99.99995
Công suất nhiệt	J kg-1 K-1	640
Nhiệt độ thăng hoa	℃	2700
Sức mạnh cảm giác	MPa (RT 4 điểm)	415
Mô đun của Young	Gpa (uốn cong 4pt, 1300oC)	430
Giãn nở nhiệt (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Độ dẫn nhiệt	(W/mK)	300

Các tính năng của RTP RTA SiC Coated Carrier

- Cả chất nền than chì và lớp cacbua silic đều có mật độ tốt và có thể đóng vai trò bảo vệ tốt trong môi trường làm việc ở nhiệt độ cao và ăn mòn.
- Chất nhạy được phủ cacbua silic dùng cho nuôi cấy đơn tinh thể có độ phẳng bề mặt rất cao.
- Giảm sự chênh lệch về hệ số giãn nở nhiệt giữa lớp nền than chì và lớp cacbua silic, cải thiện hiệu quả độ bền liên kết để ngăn ngừa nứt và tách lớp.
- Cả chất nền than chì và lớp cacbua silic đều có tính dẫn nhiệt cao và đặc tính phân bổ nhiệt tuyệt vời.
- Điểm nóng chảy cao, khả năng chống oxy hóa ở nhiệt độ cao, chống ăn mòn.