Tấm mang than chì RTP

Tấm mang RTP Graphite của Semicorex là giải pháp hoàn hảo cho các ứng dụng xử lý tấm bán dẫn, bao gồm tăng trưởng epiticular và xử lý xử lý tấm bán dẫn. Sản phẩm của chúng tôi được thiết kế để mang lại khả năng chịu nhiệt và độ đồng đều nhiệt vượt trội, đảm bảo rằng các chất nhạy cảm với epit Wax phải chịu môi trường lắng đọng, có khả năng chịu nhiệt và ăn mòn cao.

Gửi yêu cầu

Mô tả Sản phẩm

Sản phẩm của chúng tôi sử dụng than chì phủ SiC có độ tinh khiết cao, mang lại đặc tính phân phối nhiệt tuyệt vời, đảm bảo chất mang phủ SiC có bề mặt nhẵn, không bị nứt và tách lớp. Tấm mang RTP Graphite của chúng tôi được phủ silicon cacbua mịn, đảm bảo bề mặt mịn và không có bất kỳ khuyết tật nào. Sản phẩm này có độ bền cao trước khả năng làm sạch bằng hóa chất khắc nghiệt và được thiết kế để đảm bảo không xảy ra vết nứt và bong tróc.
Chúng tôi mang lại lợi thế về giá mà các đối thủ cạnh tranh của chúng tôi không thể sánh được và chúng tôi cam kết trở thành đối tác lâu dài của bạn tại Trung Quốc.
Với tấm mang than chì RTP của chúng tôi, bạn có thể yên tâm về hiệu suất tuyệt vời, khả năng chịu nhiệt vượt trội và độ đồng đều nhiệt. Giá đỡ được phủ SiC được thiết kế để chịu được nhiệt độ cao và có khả năng chống làm sạch bằng hóa chất cao, đảm bảo tuổi thọ của nó trong nhiều năm. Sản phẩm của chúng tôi cũng được thiết kế để dễ sử dụng, lý tưởng cho cả người dùng mới và người dùng có kinh nghiệm.
Tại Semicorex, chúng tôi cam kết cung cấp các sản phẩm và dịch vụ chất lượng cao cho khách hàng. Chúng tôi chỉ sử dụng những vật liệu tốt nhất và sản phẩm của chúng tôi được thiết kế để đáp ứng các tiêu chuẩn cao nhất về chất lượng và hiệu suất. Tấm mang than chì RTP của chúng tôi cũng không ngoại lệ. Hãy liên hệ với chúng tôi ngay hôm nay để tìm hiểu thêm về cách chúng tôi có thể giúp bạn đáp ứng nhu cầu xử lý tấm bán dẫn.

Các thông số của tấm mang than chì RTP

Thông số kỹ thuật chính của lớp phủ CVD-SIC
Thuộc tính SiC-CVD
Cấu trúc tinh thể	Giai đoạn FCC
Tỉ trọng	g/cm³	3.21
độ cứng	Độ cứng Vickers	2500
Kích thước hạt	mm	2~10
Độ tinh khiết hóa học	%	99.99995
Công suất nhiệt	J kg-1 K-1	640
Nhiệt độ thăng hoa	℃	2700
Sức mạnh cảm giác	MPa (RT 4 điểm)	415
Mô đun của Young	Gpa (uốn cong 4pt, 1300oC)	430
Giãn nở nhiệt (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Độ dẫn nhiệt	(W/mK)	300

Các tính năng của tấm mang than chì RTP

Than chì phủ SiC có độ tinh khiết cao
Khả năng chịu nhiệt vượt trội và độ đồng đều nhiệt
Được phủ tinh thể SiC mịn cho bề mặt mịn
Độ bền cao chống lại việc làm sạch bằng hóa chất
Vật liệu được thiết kế sao cho không xảy ra hiện tượng nứt và tách lớp.