Thuyền bệ silicon

Thuyền có bệ có độ dẫn nhiệt tốt và hệ số giãn nở nhiệt thấp, mang lại đặc tính truyền nhiệt trong khi vẫn duy trì hình dạng và độ chắc chắn của cấu trúc với nhiều chu kỳ gia nhiệt và làm mát. Thiết kế chắc chắn cũng mang lại tuổi thọ lâu dài với biến dạng tối thiểu trong điều kiện lò nung khắc nghiệt.silicon có độ tinh khiết caođể đảm bảo độ sạch đặc biệt, hệ số ổn định giãn nở nhiệt và độ chính xác cơ học để hỗ trợ tấm bán dẫn và kiểm soát quy trình nhất quán trong môi trường siêu sạch.

Khi hình dạng của thiết bị bán dẫn tiếp tục thu hẹp, nhu cầu về các bộ phận xử lý tấm bán dẫn siêu sạch và tương thích nhiệt chưa bao giờ lại có nhu cầu như vậy. Thuyền bệ silicon giải quyết những nhu cầu này với độ chính xác kích thước cao và độ tinh khiết chưa từng có để sử dụng trong các hệ thống lò nung tiên tiến hoạt động trong khoảng từ 1100°C đến 1250°C.

Cấu trúc thuyền silicon có thể được tùy chỉnh để đáp ứng yêu cầu của khách hàng, bao gồm hình dạng thanh rãnh, chiều dài răng rãnh, hình dạng, góc nghiêng và tổng khả năng tải wafer. Thuyền silicon nhiệt độ cao có thể làm giảm hiệu quả thiệt hại tiếp xúc với tấm silicon, cải thiện năng suất quy trình. Thiết kế "tháp chống trượt" nhiệt độ cao của nó chỉ hỗ trợ các tấm bán dẫn ở đầu răng đỡ. So với cacbua silic, silic tương đối ít cứng hơn, giảm hư hỏng cơ học cho các tấm bán dẫn, từ đó cải thiện chất lượng mạng tinh thể và giảm chi phí sản xuất một cách hiệu quả.

Thuyền bệ có sẵn ởsilicon đơn tinh thể hoặc đa tinh thểđể loại bỏ rủi ro ô nhiễm liên quan đến vật liệu không chứa silicon. Nền tảng này có thành phần hóa học tương tự như các tấm bán dẫn được sử dụng tích cực, giúp giảm thiểu các phản ứng không mong muốn hoặc khuếch tán ion trong quá trình xử lý ở nhiệt độ cao. Tính đồng nhất của vật liệu làm giảm đáng kể tính chất vật lý của các hạt và tạp chất kim loại để có chất lượng wafer cao nhất quán và năng suất thiết bị cao thông qua các chu kỳ sản xuất lặp đi lặp lại.

Thuyền có bệ silicon Semicorex có các khe wafer được thiết kế chính xác, kết hợp với các cấu trúc hỗ trợ thẳng đứng, đảm bảo rằng các wafer vẫn được căn chỉnh và cách đều nhau hoàn hảo trong suốt chu kỳ gia nhiệt. Độ ổn định kích thước của nó rất vượt trội, đảm bảo rằng bệ thuyền sẽ không bị cong, cong hoặc dịch chuyển ở nhiệt độ khắc nghiệt, mang lại sự phân phối nhiệt độ và khí tốt trên mỗi tấm bán dẫn. Sự ổn định kích thước này có tác động tích cực, ngay lập tức đến tính đồng nhất của độ dày màng trong quá trình oxy hóa và khuếch tán, đồng thời mang lại số lượng khuyết tật thấp hơn cũng như khả năng lặp lại quy trình tốt hơn.

Lợi ích chính của thuyền có bệ silicon là các đặc tính cơ và nhiệt được tối ưu hóa. Độ cứng của silicon so với SiC hoặc thạch anh sẽ giúp giảm các vết xước vi mô và tạo hạt do rung động hoặc chuyển động của wafer trong quá trình giãn nở do nhiệt. Điều này đặc biệt đúng đối với các tấm bán dẫn nhạy cảm với mặt sau, trong đó tính toàn vẹn của bề mặt tấm bán dẫn rất quan trọng đối với năng suất và hiệu suất của thiết bị.

Thuyền có bệ có độ dẫn nhiệt tốt và hệ số giãn nở nhiệt thấp, mang lại đặc tính truyền nhiệt trong khi vẫn duy trì hình dạng và độ chắc chắn của cấu trúc với nhiều chu kỳ gia nhiệt và làm mát. Thiết kế chắc chắn cũng mang lại tuổi thọ lâu dài với biến dạng tối thiểu trong điều kiện lò nung khắc nghiệt.

Semicorex cung cấp các thiết kế tùy chỉnh cho nhiều cấu hình thiết bị khác nhau, bao gồm đường kính wafer, số lượng khe, chiều cao bệ và các biến thể hình học. Mỗi sản phẩm đều được kiểm tra độ tinh khiết, đo kích thước và kiểm tra độ dẫn nhiệt, tất cả đều nhằm đáp ứng các tiêu chuẩn cao nhất trong quy trình sản xuất chất bán dẫn.

Thuyền có bệ Silicon tương thích với các quá trình oxy hóa và khuếch tán cũng như với LPCVD và các ứng dụng ủ đòi hỏi sự đồng nhất về nhiệt độ và kiểm soát ô nhiễm. Thuyền có bệ Silicon tương thích với các thành phần lò silicon khác như ống phun, ống lót và chất mang bán dẫn, duy trì vật liệu và nhiệt phù hợp trong toàn bộ hệ thống xử lý.