Vòng khiên silicon

Semicorex Silicon Shield Ring là một thành phần bán dẫn quan trọng trong quá trình ăn mòn. Chức năng chính của nó là bao quanh điện cực và ngăn chặn sự rò rỉ plasma quá mức. Với độ tinh khiết vật liệu vượt quá 9N (99,9999999%), vòng chắn có thể được chế tạo bằng cả đơn tinh thể và đa tinh thểsilic, đảm bảo hoạt động siêu sạch và khả năng tương thích đáng tin cậy với các quy trình sản xuất chất bán dẫn tiên tiến.

Semicorex Silicon Shield Ring là một thành phần bán dẫn quan trọng trong quá trình ăn mòn. Chức năng chính của nó là bao quanh điện cực và ngăn chặn sự rò rỉ plasma quá mức. Với độ tinh khiết vật liệu vượt quá 9N (99,9999999%), vòng chắn có thể được chế tạo bằng cả đơn tinh thể và đa tinh thể

Các đặc tính nhiệt và điện của silicon hỗ trợ thêm cho hiệu suất của Etching Shield Ring. Khả năng chống lại nhiệt độ xử lý cao của nó mang lại tính toàn vẹn về cấu trúc trong quá trình tiếp xúc với plasma kéo dài và tính dẫn điện của nó cho phép bộ phận hoạt động bình thường như một bộ phận trong hệ thống điện cực. Cùng với nhau, các ứng dụng này tăng cường khả năng giam cầm plasma và cải thiện tính đồng nhất của năng lượng, cho phép tạo ra các cấu hình khắc lặp lại trên các tấm bán dẫn.

Dung sai cơ học là một đặc điểm đáng chú ý khác của Vòng bảo vệ khắc silicon. Bằng cách được sản xuất với dung sai chặt chẽ, nó đảm bảo định vị chính xác xung quanh điện cực và duy trì khoảng cách cũng như hình dạng của buồng. Độ chính xác cơ học này tạo ra các điều kiện quy trình có thể lặp lại để ít biến đổi hơn giữa các lần chạy riêng lẻ và giúp cho phép sản xuất chất bán dẫn khối lượng lớn. Bản thân vật liệu này có khả năng tương thích tuyệt vời với môi trường plasma; do đó, việc làm xói mòn cấu trúc của nó cho phép nó thường mang lại tuổi thọ lâu dài và tính ổn định trong hiệu suất quy trình.

Độ bền và hiệu quả chi phí là hai lợi ích có giá trị hơn. Bằng cách che chắn các phần không cần thiết của buồng khỏi plasma, vòng chắn giúp giảm sự mài mòn trên các bộ phận quan trọng khác, giúp giảm bớt nỗ lực bảo trì và tăng thời gian hoạt động tổng thể. Tuổi thọ dài và ít phải thay thế thường xuyên khiến nó trở thành giải pháp tiết kiệm chi phí cho các nhà máy bán dẫn để tăng năng suất và do đó giảm chi phí vận hành.

cácSiliconvòng chắn cũng có thể được tùy chỉnh cho từng cấu hình công cụ và thông số kỹ thuật quy trình vì chúng có sẵn ở nhiều kích cỡ và hình dạng khác nhau để phù hợp với nhiều buồng khắc plasma khác nhau mà nhà sản xuất tạo ra, trong khi vẫn đạt được độ vừa khít tối ưu. Ngoài ra, phương pháp xử lý bề mặt và đánh bóng có thể được sử dụng để giảm hơn nữa việc tạo ra hạt nhằm đáp ứng các tiêu chuẩn sản xuất siêu sạch.