Thuyền bánh xốp silicon

Semicorex có thể tùy chỉnh cấu trúc thuyền wafer silicon, bao gồm hình dạng thanh rãnh, chiều dài răng rãnh, hình dạng, góc nghiêng và tổng khả năng chịu tải của wafer và có thể được sản xuất theo yêu cầu của khách hàng. Thuyền silicon nhiệt độ cao có thể làm giảm hiệu quả thiệt hại tiếp xúc với tấm silicon và cải thiện năng suất quy trình. Thiết kế "tháp chống trượt" nhiệt độ cao của nó chỉ hỗ trợ các tấm bán dẫn ở đầu răng đỡ. So vớicacbua silic, silicon có độ cứng tương đối thấp, giúp giảm hư hỏng cơ học cho các tấm bán dẫn, từ đó cải thiện tốc độ truyền mạng và giảm chi phí sản xuất một cách hiệu quả. Thuyền silicon hợp nhất bao gồm một số bộ phận: răng, tấm đế và tấm trên cùng được hợp nhất với nhau. Điều này làm giảm chi phí sản xuất. Trong trường hợp hư hỏng một phần, các bộ phận bị hư hỏng có thể được thay thế mà không cần thay thế toàn bộ thuyền silicon, giúp giảm đáng kể chi phí sở hữu trong quá trình sử dụng. Ngoài ra, thuyền silicon có giới hạn trên lớn cho sự lắng đọng polysilicon, có thể giảm tần số của thiết bị PM một cách hiệu quả và nâng cao năng lực sản xuất.

Semicorex Silicon Wafer Boat là một hãng vận chuyển wafer được thiết kế có mục đích, sáng tạo. Nó được tạo ra đặc biệt để xử lý lò nhiệt độ cao được sử dụng trong ngành bán dẫn, bao gồm các quá trình oxy hóa và khử ở nhiệt độ từ 1200 đến 1250 ° C. Với những lợi ích về hiệu suất không có ở vật liệu cacbua silic (SiC), Thuyền wafer Silicon mang lại những lợi thế phù hợp với các quy trình nghiêm ngặt mà sản xuất chất bán dẫn yêu cầu. Đầu tiên, độ tinh khiết cực cao của vật liệu silicon là rất đáng kể; trên thực tế,chất liệu siliconThuyền wafer silicon làm giảm bớt mối lo ngại này bằng cách tận dụng đặc tính tương đối mềm của silicon so với SiC. Việc giảm độ cứng cho phép giảm ma sát và ứng suất cơ học khi các tấm bán dẫn tiếp xúc với thuyền trong chu trình nhiệt. Do đó, các hạt được tạo ra ít thường xuyên hơn và nguy cơ trầy xước mặt sau giảm xuống gần như bằng không. Hơn nữa, bằng cách giảm thiểu các khuyết tật bề mặt, Thuyền bán dẫn silicon trực tiếp cải thiện chất lượng mạng tinh thể và nâng cao tỷ lệ chất lượng tổng thể của các tấm bán dẫn đã qua xử lý. Đối với các nhà máy bán dẫn đang tìm cách cải thiện năng suất bằng khả năng kiểm soát chất lượng tối đa, trạng thái hiệu suất này khiến thuyền silicon trở thành một lựa chọn hấp dẫn.

Một lợi ích khác củachất liệu siliconlà đặc tính độ cứng thấp hơn khi so sánh với vật liệu SiC. Thanh hoặc thuyền SiC được biết đến với độ cứng và độ bền, nhưng chính đặc tính này có thể dẫn đến khó khăn trong quá trình xử lý tấm bán dẫn. Ở nhiệt độ cao, các tấm bán dẫn sẽ chuyển động vi mô; chúng sẽ nảy lên một chút, dịch chuyển một chút và cong vênh khi ở trong thuyền. Vật liệu SiC cứng hơn có thể gây ra rủi ro cao hơn trong việc tạo ra các hạt hoặc vết trầy xước ở mặt sau của tấm bán dẫn do các đặc tính của tấm bán dẫn và thuyền tương tác với nhau trong các điều kiện xử lý nhiệt độ cao này.

Thuyền wafer silicon làm giảm bớt mối lo ngại này bằng cách tận dụng đặc tính tương đối mềm của silicon so với SiC. Việc giảm độ cứng cho phép giảm ma sát và ứng suất cơ học khi các tấm bán dẫn tiếp xúc với thuyền trong chu trình nhiệt. Do đó, các hạt được tạo ra ít thường xuyên hơn và nguy cơ trầy xước mặt sau giảm xuống gần như bằng không. Hơn nữa, bằng cách giảm thiểu các khuyết tật bề mặt, Thuyền bán dẫn silicon trực tiếp cải thiện chất lượng mạng tinh thể và nâng cao tỷ lệ chất lượng tổng thể của các tấm bán dẫn đã qua xử lý. Đối với các nhà máy bán dẫn đang tìm cách cải thiện năng suất bằng khả năng kiểm soát chất lượng tối đa, trạng thái hiệu suất này khiến thuyền silicon trở thành một lựa chọn hấp dẫn.

Silicon mang lại độ ổn định tốt và độ bền cơ học ở nhiệt độ cao, cho phép thuyền hoạt động đáng tin cậy trong các chu kỳ nung lặp đi lặp lại. Vật liệu này chống cong vênh trong các chu kỳ gia nhiệt và làm mát, và do đó, duy trì vị trí đặt tấm bán dẫn và khả năng định vị chính xác ngay cả trong các chu kỳ nung nhanh. Độ bền nhiệt này mang lại kết quả quy trình đáng tin cậy, đủ nhất quán để sản xuất khối lượng lớn với sự thay đổi tối thiểu giữa các lần chạy. Thuyền wafer silicon được chế tạo với độ chính xác cao để đảm bảo định vị và sắp xếp wafer nhất quán. Thuyền được chế tạo bằng cách gia công và đánh bóng tiên tiến để tạo ra bề mặt nhẵn, hình học gần gũi và dung sai chặt chẽ.