Semicorex là đối tác của bạn để cải thiện quy trình xử lý chất bán dẫn. Lớp phủ cacbua silic của chúng tôi dày đặc, chịu được nhiệt độ cao và kháng hóa chất, thường được sử dụng trong toàn bộ chu trình sản xuất chất bán dẫn, bao gồm xử lý tấm bán dẫn & tấm bán dẫn cũng như chế tạo chất bán dẫn.
Các thành phần gốm SiC có độ tinh khiết cao rất quan trọng đối với các quá trình trong chất bán dẫn. Phạm vi cung cấp của chúng tôi bao gồm từ các bộ phận tiêu hao cho thiết bị xử lý tấm bán dẫn, chẳng hạn như thuyền bán dẫn bằng Silicon Carbide, mái chèo đúc hẫng, ống, v.v. cho Epitaxy hoặc MOCVD.
Ưu điểm cho quá trình bán dẫn
Các giai đoạn lắng đọng màng mỏng như epit Wax hoặc MOCVD, hoặc xử lý xử lý tấm bán dẫn như khắc axit hoặc cấy ion phải chịu được nhiệt độ cao và làm sạch bằng hóa chất khắc nghiệt. Semicorex cung cấp cấu trúc cacbua silic (SiC) có độ tinh khiết cao mang lại khả năng chịu nhiệt vượt trội và khả năng kháng hóa chất bền bỉ, thậm chí có độ đồng đều nhiệt cho độ dày và khả năng chống chịu của lớp epi ổn định.
Nắp buồng →
Nắp buồng được sử dụng trong quá trình phát triển tinh thể và xử lý tấm bán dẫn phải chịu được nhiệt độ cao và làm sạch bằng hóa chất khắc nghiệt.
Mái Chèo Côngxon →
Mái chèo côngxon là một thành phần quan trọng được sử dụng trong các quy trình sản xuất chất bán dẫn, đặc biệt là trong lò khuếch tán hoặc lò LPCVD trong các quy trình như khuếch tán và RTP.
Ống xử lý →
Process Tube là một thành phần quan trọng, được thiết kế đặc biệt trong các ứng dụng xử lý chất bán dẫn khác nhau như RTP, khuếch tán.
Thuyền bánh quế →
Thuyền wafer được sử dụng trong xử lý chất bán dẫn, nó được thiết kế tỉ mỉ để đảm bảo các tấm wafer mỏng manh được giữ an toàn trong các giai đoạn quan trọng của quá trình sản xuất.
Vòng đầu vào →
Vòng nạp khí được phủ SiC bằng thiết bị MOCVD Tăng trưởng hợp chất có khả năng chịu nhiệt và ăn mòn cao, có độ ổn định cao trong môi trường khắc nghiệt.
Vòng lấy nét →
Semicorex cung cấp vòng lấy nét được phủ Silicon Carbide thực sự ổn định cho RTA, RTP hoặc làm sạch bằng hóa chất khắc nghiệt.
Kẹp bánh quế →
Mâm cặp bán dẫn chân không bằng gốm siêu phẳng Semicorex được phủ SiC có độ tinh khiết cao sử dụng trong quy trình xử lý bán dẫn.
Semicorex còn có các sản phẩm gốm sứ Alumina (Al2O3), Silicon Nitride (Si3N4), Aluminium Nitride (AIN), Zirconia (ZrO2), Composite Ceramic,..
Vòng cạnh SICS SICS SIC là một thành phần phù hợp với hiệu suất cao được thiết kế để tăng cường tính đồng nhất khắc và bảo vệ các cạnh wafer trong sản xuất chất bán dẫn. Chọn Semicorex cho độ tinh khiết vật liệu chưa từng có, kỹ thuật chính xác và độ tin cậy đã được chứng minh trong môi trường xử lý plasma nâng cao.*
Đọc thêmGửi yêu cầuBán tự phân bổ PBN là độ tinh khiết cực cao, các thùng chứa trơ hóa học lý tưởng cho các ứng dụng nhiệt độ cao và chân không. Chọn Semicorex cho chất lượng vật liệu chưa từng có, kỹ thuật chính xác và hỗ trợ chuyên gia được tin tưởng bởi các nhà lãnh đạo ngành trên toàn thế giới.*
Đọc thêmGửi yêu cầuPhanh gốm carbon semicorex là giải pháp phanh cuối cùng cho các ứng dụng hiệu suất cao. Chọn Semicorex cho chuyên môn vật liệu chưa từng có, sản xuất chính xác và độ tin cậy đã được chứng minh được tin cậy bởi các OEM hàng đầu trên toàn thế giới.*
Đọc thêmGửi yêu cầuMáy sưởi nitride nhôm Semicorex là các yếu tố gia nhiệt gốm hiệu suất cao được biết đến với độ dẫn nhiệt đặc biệt, phản ứng nhanh và cách điện. Chọn semicorex có nghĩa là hợp tác với một chuyên gia đáng tin cậy về các công nghệ gốm tiên tiến, cung cấp các giải pháp kỹ thuật chính xác, chất lượng nhất quán và hỗ trợ kỹ thuật đáp ứng phù hợp với nhu cầu ứng dụng của bạn.*
Đọc thêmGửi yêu cầuThuyền SiC 4 inch Semicorex là những người vận chuyển wafer hiệu suất cao được thiết kế cho sự ổn định nhiệt và hóa học vượt trội trong sản xuất chất bán dẫn. Được tin tưởng bởi các nhà lãnh đạo ngành, Semicorex kết hợp chuyên môn vật liệu tiên tiến với kỹ thuật chính xác để cung cấp các sản phẩm tăng cường năng suất, độ tin cậy và hiệu quả hoạt động.*
Đọc thêmGửi yêu cầuMáy sưởi ALN Semicorex là các yếu tố sưởi ấm dựa trên gốm tiên tiến được thiết kế cho các ứng dụng nhiệt hiệu suất cao. Những lò sưởi này cung cấp độ dẫn nhiệt đặc biệt, cách nhiệt và khả năng chống căng thẳng hóa học và cơ học, khiến chúng trở nên lý tưởng cho các ứng dụng công nghiệp và khoa học. Máy sưởi ALN cung cấp hệ thống sưởi chính xác và đồng đều, đảm bảo quản lý nhiệt hiệu quả trong môi trường đòi hỏi độ tin cậy và độ bền cao.*
Đọc thêmGửi yêu cầu