Semicorex là đối tác của bạn để cải thiện quy trình xử lý chất bán dẫn. Lớp phủ cacbua silic của chúng tôi dày đặc, chịu được nhiệt độ cao và kháng hóa chất, thường được sử dụng trong toàn bộ chu trình sản xuất chất bán dẫn, bao gồm xử lý tấm bán dẫn & tấm bán dẫn cũng như chế tạo chất bán dẫn.
Các thành phần gốm SiC có độ tinh khiết cao rất quan trọng đối với các quá trình trong chất bán dẫn. Phạm vi cung cấp của chúng tôi bao gồm từ các bộ phận tiêu hao cho thiết bị xử lý tấm bán dẫn, chẳng hạn như thuyền bán dẫn bằng Silicon Carbide, mái chèo đúc hẫng, ống, v.v. cho Epitaxy hoặc MOCVD.
Ưu điểm cho quá trình bán dẫn
Các giai đoạn lắng đọng màng mỏng như epit Wax hoặc MOCVD, hoặc xử lý xử lý tấm bán dẫn như khắc axit hoặc cấy ion phải chịu được nhiệt độ cao và làm sạch bằng hóa chất khắc nghiệt. Semicorex cung cấp cấu trúc cacbua silic (SiC) có độ tinh khiết cao mang lại khả năng chịu nhiệt vượt trội và khả năng kháng hóa chất bền bỉ, thậm chí có độ đồng đều nhiệt cho độ dày và khả năng chống chịu của lớp epi ổn định.
Nắp buồng →
Nắp buồng được sử dụng trong quá trình phát triển tinh thể và xử lý tấm bán dẫn phải chịu được nhiệt độ cao và làm sạch bằng hóa chất khắc nghiệt.
Mái Chèo Côngxon →
Mái chèo côngxon là một thành phần quan trọng được sử dụng trong các quy trình sản xuất chất bán dẫn, đặc biệt là trong lò khuếch tán hoặc lò LPCVD trong các quy trình như khuếch tán và RTP.
Ống xử lý →
Process Tube là một thành phần quan trọng, được thiết kế đặc biệt trong các ứng dụng xử lý chất bán dẫn khác nhau như RTP, khuếch tán.
Thuyền bánh quế →
Thuyền wafer được sử dụng trong xử lý chất bán dẫn, nó được thiết kế tỉ mỉ để đảm bảo các tấm wafer mỏng manh được giữ an toàn trong các giai đoạn quan trọng của quá trình sản xuất.
Vòng đầu vào →
Vòng nạp khí được phủ SiC bằng thiết bị MOCVD Tăng trưởng hợp chất có khả năng chịu nhiệt và ăn mòn cao, có độ ổn định cao trong môi trường khắc nghiệt.
Vòng lấy nét →
Semicorex cung cấp vòng lấy nét được phủ Silicon Carbide thực sự ổn định cho RTA, RTP hoặc làm sạch bằng hóa chất khắc nghiệt.
Kẹp bánh quế →
Mâm cặp bán dẫn chân không bằng gốm siêu phẳng Semicorex được phủ SiC có độ tinh khiết cao sử dụng trong quy trình xử lý bán dẫn.
Semicorex còn có các sản phẩm gốm sứ Alumina (Al2O3), Silicon Nitride (Si3N4), Aluminium Nitride (AIN), Zirconia (ZrO2), Composite Ceramic,..
Chuck chân không SICOREX SIC là vật cố gốm hiệu suất cao được thiết kế để hấp phụ wafer an toàn trong sản xuất chất bán dẫn. Với tính chất nhiệt, cơ học và hóa học vượt trội, nó đảm bảo sự ổn định và độ chính xác trong môi trường xử lý đòi hỏi.**
Đọc thêmGửi yêu cầuMáy sưởi hỗn hợp Semicorex PBN là các yếu tố sưởi ấm tiên tiến được thiết kế cho môi trường chân không nhiệt độ cao, cực kỳ sạch sẽ, được sử dụng rộng rãi trong các ngành bán dẫn, quang điện tử và các ngành nghiên cứu vật liệu. Chọn Semicorex cho chuyên môn hàng đầu trong ngành, tùy chỉnh hàng loạt và chất lượng đẳng cấp thế giới trong các giải pháp sưởi ấm PBN.*
Đọc thêmGửi yêu cầuBán mái hẻo lánh SICOREX là mái chèo hẫng silicon hiệu suất cao được sử dụng trong thiết bị xử lý nhiệt bán dẫn, được thiết kế để xử lý wafer ổn định trong môi trường nhiệt độ cao. Chọn Semicorex có nghĩa là chọn vật liệu tinh khiết cao, độ ổn định nhiệt tuyệt vời và công nghệ sản xuất chính xác dẫn đầu ngành để đảm bảo rằng mọi quy trình quan trọng của bạn đều ổn định và đáng tin cậy.*
Đọc thêmGửi yêu cầuChủ sở hữu thuyền SICOREX là các thành phần cấu trúc thiết yếu để đảm bảo định vị wafer chính xác và đáng tin cậy trong xử lý nhiệt bán dẫn. Chọn Semicorex cho chất lượng chưa từng có, chuyên môn kỹ thuật và cam kết thúc đẩy các giải pháp SIC tinh khiết cao trong sản xuất chất bán dẫn.*
Đọc thêmGửi yêu cầuThuyền Wafer Semicorex là người vận chuyển gốm được thiết kế chính xác được thiết kế để xử lý wafer nhiệt độ cao trong sản xuất chất bán dẫn. Chọn Semicorex cho độ tinh khiết vật liệu chưa từng có, công nghệ chế tạo tiên tiến và cam kết về chất lượng đảm bảo hiệu suất nhất quán trong môi trường phòng sạch đòi hỏi khắt khe nhất.*
Đọc thêmGửi yêu cầuCác ống sic bán nguyệt là các ống lò cacbua silicon được thiết kế cho các quá trình nhiệt độ cao bán dẫn, với độ ổn định nhiệt tuyệt vời và khả năng chống ăn mòn hóa học. Chọn nguyên liệu thô có độ tinh khiết cao, quy trình sản xuất chính xác và bảo đảm độ tin cậy dài hạn để cung cấp hỗ trợ vững chắc cho quy trình sản xuất chất bán dẫn của bạn.*
Đọc thêmGửi yêu cầu