Mâm cặp chân không xốp SiC

SiC xốp Semicorexmâm cặp chân khônglà những thành phần không thể thiếu, có thể được sử dụng rộng rãi trong các quy trình sản xuất chất bán dẫn tiên tiến, chẳng hạn như làm mỏng tấm bán dẫn, thái hạt lựu, mài, đánh bóng, quang khắc, khắc. Nền tảng hấp phụ của chúng được chế tạo bằng một tấm gốm SiC xốp với nhiều lỗ chân lông có kích thước micron phân bố đều. Với đường kính lỗ nhất quán và tốc độ xuyên lỗ đặc biệt, mâm cặp chân không SiC xốp Semicorex cung cấp đường dẫn khí trơn tru để sơ tán chân không. Trong quá trình vận hành, áp suất âm ổn định và đồng đều được tạo ra giữa mâm cặp và tấm bán dẫn, cho phép kẹp và giải phóng chân không hiệu quả cao các tấm bán dẫn.

Ưu điểm của mâm cặp chân không SiC xốp Semicorex 

1. Độ chính xác xử lý vượt trội

Các tấm bán dẫn được xử lý trong quá trình sản xuất chất bán dẫn tiên tiến cực kỳ mỏng, do đó, ngay cả khi bị uốn cong, rung nhẹ hoặc ứng suất cục bộ không đồng đều cũng có thể dẫn đến vỡ, cong vênh và giảm độ chính xác trong các quy trình quan trọng như in thạch bản. Dấu chấm phẩySiC xốpMâm cặp chân không được xử lý thông qua quá trình mài và đánh bóng có độ chính xác cao, đạt được độ nhám bề mặt hoàn hảo Ra ＜ 0,1 μm. Điều này cho phép mâm cặp chân không SiC xốp của Semicorex cung cấp bề mặt vận hành được tối ưu hóa cho sản xuất chất bán dẫn có độ chính xác cao.

2. Độ sạch cao và khả năng chống ăn mòn cao

Để đáp ứng đầy đủ các tiêu chuẩn nghiêm ngặt về độ sạch của chất bán dẫn, Semicorex sản xuất mâm cặp chân không SiC xốp bằng nguyên liệu thô cacbua silic có độ tinh khiết cao thông qua quá trình thiêu kết ở nhiệt độ cao. Điều này đảm bảo đầu cặp không bị rơi hạt và nhiễm bẩn kim loại di chuyển. Được hưởng lợi từ tính ổn định hóa học tuyệt vời của SiC, mâm cặp chân không SiC xốp Semicorex có thể chịu được môi trường ăn mòn khắc nghiệt và không tạo ra thêm sản phẩm phụ, khiến chúng rất phù hợp cho các quy trình chế tạo chất bán dẫn sạch cao cấp.

3. Độ bền tuyệt vời và ổn định lâu dài

Đầu cặp chân không được sử dụng trong dây chuyền sản xuất phải chịu được hàng nghìn chu kỳ hấp phụ và giải phóng cũng như sự biến động nhiệt độ trong thời gian dài. Điều này đặt ra yêu cầu cực kỳ cao về hiệu suất vật liệu của mâm cặp chân không. Đầu cặp chân không SiC xốp Semicorex có độ cứng vật liệu vượt trội và khả năng chống mài mòn, với độ giãn nở nhiệt ổn định. Chúng không bị rão hoặc suy giảm hiệu suất ở điều kiện nhiệt độ cao, giúp kéo dài đáng kể tuổi thọ sử dụng và giảm tần suất bảo trì và thay thế linh kiện.