Kẹp tĩnh điện ESC

Đầu kẹp tĩnh điện Semicorex ESC hoạt động trên nguyên lý bám dính tĩnh điện, sử dụng dòng điện một chiều có điện áp cao (DC) đặt vào lớp gốm điện môi của nó. Công nghệ này cho phép gắn các tấm bán dẫn hoặc các vật liệu khác một cách an toàn trong quá trình xử lý, đảm bảo cả sự ổn định và độ chính xác trong các giai đoạn chế tạo khác nhau.

Khi đặt điện áp DC cao vào mâm cặp, các ion tích điện trong lớp điện môi gốm sẽ di chuyển và tích tụ trên bề mặt của nó. Điều này tạo ra một trường tĩnh điện mạnh giữa mâm cặp và sản phẩm cần gia công. Lực hút tĩnh điện được tạo ra đủ mạnh để giữ tấm wafer tại chỗ, đảm bảo rằng nó vẫn bất động ngay cả trong các hoạt động phức tạp và có độ chính xác cao. Việc giữ an toàn này rất quan trọng vì nó giúp giảm các chuyển động và rung động vi mô, có thể ảnh hưởng đến chất lượng và tính toàn vẹn của các tấm bán dẫn đã xử lý. Khả năng cố định các tấm bán dẫn với tiếp xúc cơ học tối thiểu cũng ngăn ngừa hư hỏng vật lý, đây là một lợi thế khác biệt so với các phương pháp kẹp truyền thống.

Kẹp tĩnh điện loại J-R ESC được trang bị các điện cực tích hợp rất cần thiết để tạo ra độ bám dính tĩnh điện này. Các điện cực này được đặt bên trong mâm cặp để phân bổ đều lực tĩnh điện trên bề mặt của tấm bán dẫn hoặc các vật liệu khác đang được xử lý. Sự phân bố đồng đều này đảm bảo áp suất ổn định, cần thiết để duy trì tính đồng nhất trong các quá trình phức tạp như ăn mòn, cấy ion và lắng đọng. Độ bám dính chính xác được cung cấp bởi Kẹp tĩnh điện ESC cho phép nó đáp ứng các thông số kỹ thuật khắt khe của chế tạo chất bán dẫn hiện đại.

Ngoài chức năng chính là bám dính, Kẹp tĩnh điện ESC còn có hệ thống kiểm soát nhiệt độ phức tạp. Đầu cặp bao gồm các bộ phận gia nhiệt tích hợp được thiết kế để điều chỉnh nhiệt độ của sản phẩm đang được xử lý. Kiểm soát nhiệt độ là một yếu tố quan trọng trong sản xuất chất bán dẫn, vì ngay cả những thay đổi nhỏ về nhiệt độ cũng có thể ảnh hưởng đến kết quả của quá trình. Kẹp tĩnh điện ESC cung cấp khả năng kiểm soát nhiệt độ đa vùng, cho phép các phần khác nhau của tấm bán dẫn được làm nóng hoặc làm mát độc lập. Điều này đảm bảo nhiệt độ được duy trì ổn định trên toàn bộ bề mặt của tấm bán dẫn, nâng cao kết quả xử lý đồng nhất và giảm nguy cơ hư hỏng hoặc cong vênh do nhiệt.

Việc sử dụng vật liệu có độ tinh khiết cao trong cấu tạo của Kẹp tĩnh điện ESC là một tính năng đáng chú ý khác. Vật liệu được chọn cho mâm cặp này được thiết kế để giảm thiểu ô nhiễm hạt, đây là vấn đề quan trọng trong chế tạo chất bán dẫn. Ngay cả các hạt nhỏ cũng có thể gây ra khiếm khuyết trong các cấu trúc vi mô đang được chế tạo, dẫn đến giảm năng suất và có khả năng gây hư hỏng sản phẩm. Bằng cách sử dụng vật liệu có độ tinh khiết cao, Kẹp tĩnh điện ESC giảm nguy cơ đưa chất gây ô nhiễm vào môi trường xử lý, từ đó hỗ trợ sản xuất chất lượng cao.

Chuck tĩnh điện ESC có khả năng chống xói mòn plasma. Trong nhiều quy trình bán dẫn, đặc biệt là trong quá trình ăn mòn và lắng đọng, mâm cặp tiếp xúc với môi trường plasma phản ứng. Theo thời gian, sự tiếp xúc này có thể làm giảm chất lượng vật liệu được sử dụng trong mâm cặp, ảnh hưởng đến hiệu suất và tuổi thọ của mâm cặp. Kẹp tĩnh điện ESC được thiết kế đặc biệt để chống xói mòn plasma, cho phép nó duy trì tính toàn vẹn cấu trúc và hiệu suất ngay cả trong môi trường xử lý khắc nghiệt. Độ bền này có nghĩa là tuổi thọ sử dụng dài hơn, giảm nhu cầu thay thế thường xuyên và giảm thiểu thời gian ngừng hoạt động trong dây chuyền sản xuất.

Các đặc tính cơ học của Đầu kẹp tĩnh điện ESC cũng có tầm quan trọng đặc biệt. Mâm cặp được sản xuất với dung sai cực kỳ chặt chẽ, đảm bảo duy trì hình dạng và kích thước chính xác cần thiết cho các ứng dụng cụ thể. Các kỹ thuật gia công có độ chính xác cao được sử dụng để đạt được độ phẳng và độ mịn bề mặt cần thiết, điều này rất cần thiết để đảm bảo độ bám dính tĩnh điện đồng đều và giảm thiểu nguy cơ làm hỏng các tấm bán dẫn mỏng manh. Độ bền cơ học của mâm cặp cũng ấn tượng không kém, cho phép nó chịu được áp lực vật lý trong quá trình nhiệt độ và áp suất cao mà không bị biến dạng hoặc mất khả năng giữ tấm bán dẫn an toàn.