Chuck tĩnh điện E-Chuck

Semicorex Electrostatic Chuck E-Chuck hoạt động dựa trên nguyên lý lực hút tĩnh điện, mang lại khả năng giữ wafer chính xác và đáng tin cậy mà không cần kẹp cơ học hoặc hút chân không, đặc biệt được sử dụng trong khắc, cấy ion.

xử lý chất bán dẫn, PVD, CVD, v.v. Kích thước có thể tùy chỉnh của nó giúp nó có khả năng thích ứng với nhiều ứng dụng, khiến nó trở thành lựa chọn lý tưởng cho các công ty đang tìm kiếm sự linh hoạt và hiệu quả trong quy trình chế tạo chất bán dẫn.

Công nghệ cơ bản đằng sau Mâm cặp tĩnh điện loại JR E-Chuck là khả năng tạo ra lực tĩnh điện giữa tấm bán dẫn và bề mặt của mâm cặp. Lực này được tạo ra bằng cách đặt một điện áp cao vào các điện cực gắn bên trong mâm cặp, tạo ra điện tích trên cả tấm bán dẫn và mâm cặp, từ đó tạo ra liên kết tĩnh điện mạnh. Cơ chế này không chỉ giữ tấm bán dẫn ở đúng vị trí mà còn giảm thiểu sự tiếp xúc vật lý giữa tấm bán dẫn và mâm cặp, giảm khả năng nhiễm bẩn hoặc ứng suất cơ học có thể làm hỏng vật liệu bán dẫn nhạy cảm.

Semicorex có thể sản xuất các sản phẩm theo yêu cầu từ 200 mm đến 300 mm hoặc thậm chí lớn hơn tùy theo yêu cầu của khách hàng. Bằng cách cung cấp các tùy chọn có thể tùy chỉnh này, ESC loại J-R mang đến sự linh hoạt tối đa cho nhiều quy trình bán dẫn, bao gồm khắc axit plasma, lắng đọng hơi hóa học (CVD), lắng đọng hơi vật lý (PVD) và cấy ion.

Về mặt vật liệu, Chuck tĩnh điện E-Chuck được làm từ vật liệu gốm chất lượng cao, chẳng hạn như alumina (Al2O3) hoặc nhôm nitride (AlN), được biết đến với đặc tính điện môi, độ bền cơ học và độ ổn định nhiệt tuyệt vời. Những loại gốm này mang lại cho mâm cặp độ bền cần thiết để chịu được các điều kiện khắc nghiệt của quá trình sản xuất chất bán dẫn, chẳng hạn như nhiệt độ cao, môi trường ăn mòn và tiếp xúc với plasma. Ngoài ra, bề mặt gốm được đánh bóng ở độ mịn cao để đảm bảo tiếp xúc đồng đều với tấm bán dẫn, tăng cường lực tĩnh điện và cải thiện hiệu suất quy trình tổng thể.

Chuck tĩnh điện E-Chuck cũng được thiết kế để xử lý các thách thức về nhiệt thường gặp trong chế tạo chất bán dẫn. Quản lý nhiệt độ rất quan trọng trong các quá trình như ăn mòn hoặc lắng đọng, trong đó nhiệt độ của tấm bán dẫn có thể dao động nhanh chóng. Vật liệu gốm được sử dụng trong mâm cặp mang lại khả năng dẫn nhiệt tuyệt vời, giúp tản nhiệt hiệu quả và duy trì nhiệt độ đĩa bán dẫn ổn định.

Chuck tĩnh điện E-Chuck được thiết kế tập trung vào việc giảm thiểu ô nhiễm hạt, điều này rất quan trọng trong sản xuất chất bán dẫn, nơi ngay cả các hạt cực nhỏ cũng có thể dẫn đến khuyết tật trong sản phẩm cuối cùng. Bề mặt gốm mịn của mâm cặp làm giảm khả năng bám dính của hạt và giảm tiếp xúc vật lý giữa tấm bán dẫn và mâm cặp nhờ cơ chế giữ tĩnh điện, giúp giảm hơn nữa nguy cơ nhiễm bẩn. Một số mẫu ESC loại J-R cũng kết hợp các lớp phủ hoặc phương pháp xử lý bề mặt tiên tiến giúp đẩy lùi các hạt và chống ăn mòn, nâng cao tuổi thọ và độ tin cậy của mâm cặp trong môi trường phòng sạch.

Tóm lại, Chuck E-Chuck tĩnh điện loại JR là một giải pháp giữ tấm bán dẫn linh hoạt và đáng tin cậy, mang lại hiệu suất vượt trội trong nhiều quy trình sản xuất chất bán dẫn. Thiết kế có thể tùy chỉnh, công nghệ giữ tĩnh điện tiên tiến và đặc tính vật liệu mạnh mẽ khiến nó trở thành lựa chọn lý tưởng cho các công ty đang tìm cách tối ưu hóa việc xử lý tấm bán dẫn trong khi vẫn duy trì các tiêu chuẩn cao nhất về độ sạch và độ chính xác. Cho dù được sử dụng trong khắc plasma, lắng đọng hay cấy ion, ESC loại J-R đều mang lại sự linh hoạt, độ bền và hiệu quả cần thiết để đáp ứng nhu cầu khắt khe của ngành bán dẫn ngày nay. Với khả năng hoạt động ở cả hai chế độ Coulomb và Johnsen-Rahbek, xử lý nhiệt độ cao và chống ô nhiễm hạt, ESC loại JR là một thành phần quan trọng trong việc theo đuổi năng suất cao hơn và cải thiện kết quả quy trình.