Chuck gốm nhôm Nitride

Đầu kẹp gốm nhôm Nitride đại diện cho một giải pháp tiên tiến để xử lý tấm bán dẫn, được thiết kế đặc biệt để giữ các tấm bán dẫn ở đúng vị trí trong các giai đoạn sản xuất khác nhau. Hoạt động như một mâm cặp tĩnh điện (ESC), thiết bị cải tiến này tận dụng các đặc tính đặc biệt của gốm Aluminium Nitride để đảm bảo khả năng giữ wafer chính xác và đáng tin cậy.

Đầu cặp gốm Semicorex Aluminium Nitride sử dụng lực tĩnh điện để giữ chặt tấm wafer trên bề mặt của nó. Điều này đạt được thông qua một trục lăn được thiết kế tỉ mỉ có các điện cực tích hợp, được phân cực chiến lược với điện áp cao. Kết quả là, một lực giữ tĩnh điện được thiết lập giữa trục lăn và tấm bán dẫn, cố định tấm bán dẫn tại chỗ một cách hiệu quả trong suốt các giai đoạn xử lý.

Một trong những tính năng nổi bật của Chuck gốm nhôm Nitride là sự kết hợp đáng chú ý giữa tính dẫn nhiệt và cách nhiệt cao. Sự kết hợp các đặc tính độc đáo này làm cho nó trở thành sự lựa chọn vật liệu lý tưởng cho các ứng dụng ESC. Độ dẫn nhiệt cao đảm bảo tản nhiệt hiệu quả, rất quan trọng để duy trì sự phân bố nhiệt độ đồng đều trên tấm bán dẫn trong quá trình xử lý. Đồng thời, đặc tính cách điện đặc biệt của nó giúp cách ly điện giữa mâm cặp và tấm bán dẫn, giảm thiểu nguy cơ nhiễu điện hoặc hư hỏng các bộ phận bán dẫn nhạy cảm.

Đầu kẹp gốm nhôm Nitride có một số ưu điểm so với vật liệu đầu cặp truyền thống. Cấu trúc chắc chắn của nó đảm bảo độ bền lâu dài, có khả năng chịu được các yêu cầu khắt khe của môi trường sản xuất chất bán dẫn. Ngoài ra, khả năng tương thích của nó với các quy trình ở nhiệt độ cao và khả năng chống giãn nở nhiệt khiến nó trở thành một công cụ không thể thiếu để đạt được kết quả xử lý tấm bán dẫn nhất quán và chất lượng cao.