Mâm cặp tĩnh điện nhôm Nitride

Mâm cặp tĩnh điện bằng nhôm Nitride sử dụng lực tĩnh điện để giữ chặt các tấm bán dẫn trong các quy trình chế tạo chất bán dẫn khác nhau. Phương pháp này loại bỏ sự cần thiết của kẹp cơ học hoặc hệ thống chân không, giảm nguy cơ tạo ra hạt và ứng suất cơ học trên các tấm bán dẫn mỏng manh. Một trong những lợi ích chính của Mâm cặp tĩnh điện bằng nhôm Nitride là khả năng tạo ra lực tĩnh điện có độ đồng đều cao và ổn định trên toàn bộ bề mặt tấm bán dẫn. Điều này đảm bảo sự tiếp xúc nhất quán và ngăn chặn sự trượt hoặc biến dạng của tấm bán dẫn trong quá trình xử lý, dẫn đến cải thiện tính đồng nhất trong các màng lắng đọng, các đặc điểm khắc và các thông số quan trọng khác. Lực kẹp đồng đều này cũng giảm thiểu sự biến dạng của tấm bán dẫn, giúp cải thiện hiệu suất và năng suất của thiết bị.

Về đặc tính nhiệt, độ dẫn nhiệt cao của Đầu kẹp tĩnh điện bằng nhôm Nitride cho phép tản nhiệt hiệu quả trong các quá trình ở nhiệt độ cao, ngăn ngừa ứng suất nhiệt và đảm bảo phân bổ nhiệt độ đồng đều trên tấm bán dẫn. Điều này rất quan trọng trong các ứng dụng như xử lý nhiệt nhanh và khắc plasma, trong đó việc gia nhiệt cục bộ có thể tác động tiêu cực đến hiệu suất của thiết bị. Thêm vào đó, quy trình sản xuất chất bán dẫn thường liên quan đến sự chuyển đổi nhiệt độ nhanh chóng. Khả năng chống sốc nhiệt cao của Mâm cặp tĩnh điện bằng nhôm Nitride cho phép nó chịu được những thay đổi nhiệt độ đột ngột này mà không bị suy giảm hoặc nứt, đảm bảo tuổi thọ và hiệu suất đáng tin cậy của mâm cặp khi sử dụng kéo dài. Hơn nữa, AlN sở hữu hệ số giãn nở nhiệt (CTE) gần giống với hệ số giãn nở nhiệt của tấm silicon. Khả năng tương thích này giảm thiểu ứng suất gây ra tại bề mặt tiếp xúc giữa đĩa bán dẫn trong quá trình luân chuyển nhiệt, ngăn ngừa hiện tượng cong, biến dạng và các khiếm khuyết tiềm ẩn có thể ảnh hưởng đến năng suất và hiệu suất của thiết bị.

AlN là vật liệu có độ bền cơ học cao với độ bền uốn và độ bền gãy cao. Sức mạnh vốn có này cho phép Đầu kẹp tĩnh điện bằng nhôm Nitride chịu được các ứng suất cơ học gặp phải trong quá trình sản xuất khối lượng lớn, đảm bảo hiệu suất ổn định và kéo dài tuổi thọ hoạt động. Mặt khác, AlN thể hiện khả năng kháng tuyệt vời đối với nhiều loại hóa chất và plasma thường được sử dụng trong xử lý chất bán dẫn. Nó cũng thể hiện khả năng chống oxy hóa vượt trội ngay cả ở nhiệt độ cao, đảm bảo bề mặt của Đầu cặp tĩnh điện bằng nhôm Nitride vẫn nguyên sơ và không bị nhiễm bẩn trong suốt thời gian hoạt động.

Mâm cặp tĩnh điện Semicorex Aluminium Nitride có nhiều kích cỡ và độ dày khác nhau để đáp ứng các đường kính wafer và yêu cầu quy trình khác nhau. Khả năng thích ứng này khiến chúng phù hợp với nhiều ứng dụng sản xuất chất bán dẫn, từ nghiên cứu và phát triển đến sản xuất số lượng lớn.