Máy sưởi nhôm nitride

Máy sưởi nitride nhôm Semicorex là các yếu tố sưởi ấm bằng gốm hiện đại được thiết kế cho các ứng dụng đòi hỏi độ dẫn nhiệt cao, cách điện và độ bền đặc biệt. Được thiết kế từ gốm bằng nhôm nitride, các máy sưởi này cung cấp hệ thống sưởi nhanh và đồng đều, làm cho chúng trở nên lý tưởng cho các môi trường chính xác cao như xử lý bán dẫn, chẩn đoán y tế và dụng cụ phân tích tiên tiến.

Máy sưởi nhôm nitride là các thành phần chính trong thiết bị lắng đọng màng mỏng bán dẫn. Chúng được áp dụng trực tiếp cho buồng quy trình và tiếp xúc trực tiếp với wafer. Họ không chỉ mang theo wafer mà còn đảm bảo rằng wafer có được 

Nhiệt độ quá trình ổn định và đồng đều. Tính năng này rất cần thiết cho các phản ứng chính xác cao trên bề mặt wafer và tạo ra các màng mỏng đồng đều.

Thông thường, máy sưởi nhôm nitride bao gồm chất nền gốm với bề mặt tải wafer và thân hỗ trợ hình trụ hỗ trợ nó ở mặt sau. Ngoài mạch làm nóng điện trở để sưởi ấm, điện cực RF và điện cực chuck tĩnh điện và các dây dẫn khác cũng được cung cấp bên trong hoặc trên bề mặt của chất nền gốm.

Thiết bị lắng đọng màng mỏng thường sử dụng vật liệu gốm dựa trênnhôm nitride (ALN)Bởi vì nó liên quan đến một môi trường nhiệt độ cao. Lý do tại sao máy sưởi nhôm nitride được ưa chuộng trong sản xuất chất bán dẫn chủ yếu là do tính chất vật lý và hóa học độc đáo của chúng. Nhôm nitride không chỉ có độ dẫn nhiệt cao và có thể đạt được sự gia nhiệt và làm mát nhanh chóng trong một thời gian ngắn, mà còn có cách điện và cường độ cơ học tốt, đảm bảo độ ổn định và độ tin cậy của lò sưởi. Ngoài ra, hệ số giãn nở nhiệt của nitride nhôm tương tự như của silicon, giúp giảm tác động của stress nhiệt đối với wafer và cải thiện năng suất quá trình.

Nói chung,Máy sưởi gốmđược sử dụng chủ yếu trong thiết bị lắng đọng màng mỏng. Vì nó liên quan đến các quá trình nhiệt độ cao, vật liệu gốm được sử dụng chủ yếu là nhôm nitride; Chuck tĩnh điện chủ yếu được sử dụng trong thiết bị khắc, và vật liệu gốm được sử dụng chủ yếu là oxit nhôm. Với sự phát triển của công nghệ bán dẫn, có sự chồng chéo giữa máy sưởi gốm và mâm cặp tĩnh điện. Ví dụ, máy sưởi gốm được sử dụng trong thiết bị lắng đọng màng mỏng được trang bị các mâm cặp tĩnh điện, có các chức năng kép của hệ thống sưởi nhiệt độ cao và hấp phụ tĩnh điện. Các mâm cặp tĩnh điện được sử dụng trong thiết bị khắc cũng bắt đầu liên quan đến các quá trình nhiệt độ cao và vật liệu gốm phải được thay đổi từ oxit nhôm sang nhôm nitride.