Máy sưởi ALN

Máy sưởi ALN Semicorex cho chất bán dẫn là một thiết bị được sử dụng để sưởi ấm vật liệu bán dẫn. Nó chủ yếu được làm bằngNhôm nitride gốmVật liệu, có độ dẫn nhiệt tuyệt vời và điện trở nhiệt độ cao, và có thể hoạt động ổn định ở nhiệt độ cao. Máy sưởi thường sử dụng dây điện trở làm bộ phận làm nóng. Bằng cách cung cấp năng lượng cho dây điện trở để làm nóng lên, nhiệt được truyền lên bề mặt của lò sưởi để đạt được làm nóng vật liệu bán dẫn. Máy sưởi ALN cho chất bán dẫn đóng vai trò quan trọng trong quá trình sản xuất chất bán dẫn và có thể được sử dụng trong các quá trình như tăng trưởng tinh thể, ủ và nướng.

Trong quá trình đầu tiên (FOL) của sản xuất chất bán dẫn, các phương pháp xử lý quá trình khác nhau phải được thực hiện trên wafer, đặc biệt là làm nóng wafer đến một nhiệt độ nhất định và có các yêu cầu nghiêm ngặt, bởi vì tính đồng nhất của nhiệt độ có ảnh hưởng rất quan trọng đến năng suất sản phẩm; Đồng thời, thiết bị bán dẫn cũng phải hoạt động trong môi trường nơi tồn tại chân không, huyết tương và khí hóa học, đòi hỏi phải sử dụng máy sưởi gốm (lò sưởi gốm). Máy sưởi gốm là các thành phần quan trọng của thiết bị lắng đọng màng mỏng bán dẫn. Chúng được sử dụng trong buồng xử lý và tiếp xúc trực tiếp với wafer để mang và cho phép wafer để có được nhiệt độ quá trình ổn định và đồng đều và phản ứng và tạo ra các màng mỏng trên bề mặt wafer với độ chính xác cao.

Thiết bị lắng đọng màng mỏng cho máy sưởi gốm thường sử dụng vật liệu gốm dựa trênnhôm nitride (ALN)Vì nhiệt độ cao liên quan. Nhôm nitride có cách điện điện và độ dẫn nhiệt tuyệt vời; Ngoài ra, hệ số giãn nở nhiệt của nó gần với silicon và nó có điện trở plasma tuyệt vời, khiến nó rất phù hợp để sử dụng làm thành phần thiết bị bán dẫn.

Máy sưởi ALN bao gồm một cơ sở gốm mang wafer và thân hỗ trợ hình trụ hỗ trợ nó ở mặt sau. Bên trong hoặc trên bề mặt của đế gốm, ngoài một phần tử điện trở (lớp sưởi ấm) để sưởi ấm, còn có một điện cực RF (lớp RF). Để đạt được sự sưởi ấm và làm mát nhanh chóng, độ dày của đế gốm phải mỏng, nhưng quá mỏng cũng sẽ làm giảm độ cứng. Cơ thể hỗ trợ của máy sưởi ALN thường được làm bằng vật liệu có hệ số giãn nở nhiệt tương tự như cơ sở, do đó, cơ thể hỗ trợ thường được làm bằng nhôm nitride. Các máy sưởi ALN áp dụng cấu trúc duy nhất của đáy trục (trục) để bảo vệ các thiết bị đầu cuối và dây điện khỏi tác dụng của khí hóa và khí hóa học ăn mòn. Một đầu vào khí truyền nhiệt và ống đầu ra được cung cấp trong cơ thể hỗ trợ để đảm bảo nhiệt độ đồng đều của lò sưởi. Cơ sở và cơ thể hỗ trợ được liên kết hóa học với một lớp liên kết.

Một yếu tố sưởi ấm được chôn trong đế lò sưởi. Nó được hình thành bằng cách in màn hình bằng dán dẫn điện (vonfram, molybden hoặc tantalum) để tạo thành một mẫu mạch vòng tròn xoắn ốc hoặc đồng tâm. Tất nhiên, dây kim loại, lưới kim loại, lá kim loại, vv cũng có thể được sử dụng. Khi sử dụng phương pháp in màn hình, hai tấm gốm có cùng hình dạng được chuẩn bị và dán dẫn điện được áp dụng cho bề mặt của một trong số chúng. Sau đó, nó được thiêu kết để tạo thành một yếu tố gia nhiệt điện trở, và tấm gốm khác được chồng lên nhau với phần tử gia nhiệt điện trở để tạo ra một phần tử điện trở được chôn trong đế.

Các yếu tố chính ảnh hưởng đến độ dẫn nhiệt của gốm sứ nhôm là mật độ của mạng, hàm lượng oxy, độ tinh khiết của bột, cấu trúc vi mô, v.v., sẽ ảnh hưởng đến độ dẫn nhiệt của gốm sứ nhôm.