Máy sưởi AlN

Tính linh hoạt trong môi trường hoạt động

Một trong những thuộc tính quan trọng nhất của Bộ gia nhiệt AlN là khả năng hoạt động hiệu quả trong các môi trường vận hành đa dạng, bao gồm cả điều kiện khí quyển và chân không. Với phạm vi nhiệt độ hoạt động ấn tượng lên tới 1000°C (1832°F), nó đảm bảo sưởi ấm nhanh chóng và đồng đều trên toàn bộ diện tích. Tính linh hoạt này làm cho nó phù hợp với vô số ứng dụng, từ thiết bị sản xuất chất bán dẫn đến hệ thống bay hơi chân không, máy phún xạ và thiết bị lắng đọng hơi hóa học (CVD).

Kỹ thuật chính xác với quá trình thiêu kết

Quy trình sản xuất Thiết bị gia nhiệt AlN bao gồm ép nóng chân không, một quy trình khó khăn hơn đáng kể so với quá trình thiêu kết không áp suất thông thường. Kỹ thuật phức tạp này đảm bảo độ tinh khiết nhôm nitrit của lò sưởi đạt mức vượt trội 99,5%. Bằng cách áp dụng các tiêu chuẩn sản xuất nghiêm ngặt như vậy, Semicorex đảm bảo rằng mỗi Bộ gia nhiệt AlN đều thể hiện các đặc tính cơ và nhiệt đặc biệt, mang lại hiệu suất đáng tin cậy ngay cả trong những điều kiện khắt khe nhất.

Độ dẫn nhiệt vượt trội

Tính năng nổi bật của Máy sưởi AlN là độ dẫn nhiệt cao, vượt quá 180 W/m*K. Độ dẫn nhiệt cao này là công cụ giúp đạt được độ đồng đều nhiệt tuyệt vời trong phạm vi nhiệt độ rộng, một yếu tố quan trọng đối với nhiều ứng dụng có độ chính xác cao. Máy sưởi có thể được thiết kế với cấu trúc nhiều lớp có khả năng cung cấp công suất lên tới 2000 W/in² (310 W/cm²), đảm bảo phân phối nhiệt hiệu quả và đồng đều. Khả năng này đặc biệt có giá trị trong xử lý chất bán dẫn trong đó việc kiểm soát nhiệt độ chính xác là điều tối quan trọng.

Khả năng chống ăn mòn vượt trội

Ngoài đặc tính nhiệt, Lò sưởi AlN còn có khả năng chống ăn mòn vượt trội. Nó có khả năng phục hồi cao trước khí halogen và môi trường oxy hóa, đồng thời nó cũng thể hiện khả năng chống chịu mạnh mẽ đối với hầu hết các dung dịch axit và kiềm. Khả năng chống chịu này đảm bảo độ bền lâu dài và hoạt động ổn định, ngay cả trong môi trường thường xuyên tiếp xúc với các chất ăn mòn. Độ bền như vậy làm giảm nhu cầu thay thế thường xuyên, từ đó giảm chi phí bảo trì và nâng cao độ tin cậy của hệ thống tổng thể.

Ứng dụng trong các ngành công nghệ cao

Máy sưởi AlN của Semicorex không thể thiếu trong các ngành công nghệ cao khác nhau do các thuộc tính tiên tiến của nó:

Sản xuất chất bán dẫn: Hệ thống sưởi đồng đều và khả năng điều khiển chính xác của bộ gia nhiệt khiến nó trở nên lý tưởng để sử dụng trong thiết bị xử lý chất bán dẫn, đảm bảo sản xuất tấm bán dẫn chất lượng cao.

Hệ thống bay hơi chân không: Khả năng hoạt động trong môi trường chân không ở nhiệt độ cao khiến nó trở thành sự lựa chọn tuyệt vời cho các hệ thống bay hơi chân không, trong đó việc gia nhiệt có kiểm soát là rất quan trọng.

Máy phún xạ: Độ dẫn nhiệt và khả năng chống ăn mòn của AlN Heater nâng cao hiệu quả và tuổi thọ của máy phún xạ, được sử dụng để phủ các chất nền.

Thiết bị lắng đọng hơi hóa học (CVD): Trong quy trình CVD, trong đó vật liệu được lắng đọng trên các chất nền thông qua các phản ứng hóa học, sự phân bổ nhiệt độ đồng đều của bộ gia nhiệt đảm bảo màng mỏng chất lượng cao và nhất quán.

Hiệu suất và độ tin cậy nâng cao

Thiết kế và thành phần vật liệu của Bộ gia nhiệt AlN góp phần nâng cao hiệu suất và độ tin cậy của nó. Độ tinh khiết của nhôm nitride, kết hợp với quy trình thiêu kết nghiêm ngặt, tạo ra lò sưởi không chỉ hoạt động cực kỳ tốt mà còn duy trì tính toàn vẹn trong thời gian dài. Độ tin cậy này rất quan trọng trong môi trường có rủi ro cao, nơi lỗi thiết bị có thể dẫn đến thời gian ngừng hoạt động đáng kể và tổn thất tài chính.

Thiết kế có thể tùy chỉnh

Hiểu rằng các ứng dụng khác nhau có những yêu cầu riêng, Semicorex cung cấp các tùy chọn thiết kế có thể tùy chỉnh cho Máy sưởi AlN. Cho dù đó là điều chỉnh kích thước, hình dạng hay công suất đầu ra của máy sưởi, đội ngũ chuyên gia của chúng tôi đều hợp tác chặt chẽ với khách hàng để phát triển các giải pháp phù hợp đáp ứng nhu cầu cụ thể. Mức độ tùy chỉnh này đảm bảo rằng Bộ gia nhiệt AlN tích hợp hoàn toàn vào các hệ thống hiện có, nâng cao hiệu suất và hiệu suất tổng thể.