AL2O3 Chucks chân không

Chucks semicorex al₂O₃ Chucks là thành phần gốm vi mô chính xác được phát triển để xử lý wafer, cố định và xử lý các ứng dụng trong ngành công nghiệp bán dẫn. Được làm từ alumina màu đen với độ xốp được kiểm soát là 35%-40%, nó là một phương tiện cực kỳ ổn định, sạch và đáng tin cậy cho các quá trình hấp phụ chân không. Chuck kết hợp quá trình xử lý gốm của chất nền trên bề mặt chức năng bằng cách sử dụng các kỹ thuật sản xuất tiên tiến để cung cấp hiệu suất hút phù hợp cho wafer mong manh của người dùng trong các bước xử lý quan trọng.

ĐenAlumina (Al₂o₃); có một sự cân bằng duy nhất của cường độ cơ học, độ cứng và điện trở hóa học khi so sánh với kim loại và polyme. Cấu trúc micropious được tối ưu hóa cho độ xốp được kiểm soát để cung cấp phân bố chân không nhất quán trên bề mặt của mâm cặp chân không. Phân phối chân không nhất quán trong toàn bộ diện tích bề mặt đầy đủ của một mâm cặp wafer giảm thiểu nồng độ ứng suất cục bộ, hạn chế nguy cơ biến dạng wafer, sứt mẻ cạnh và vỡ. Khi chế tạo wafer tiếp tục mở rộng đường kính, và hình học và thiết bị trở nên dễ vỡ hơn, năng suất xử lý và cải thiện độ tin cậy xử lý wafer trở thành yêu cầu quan trọng.

Độ xốp được kiểm soát là 35 trận40% đại diện cho một đặc tính chính của mâm cặp chân không này. Một mạng lưới lỗ chân lông được tối ưu hóa có thể giảm thiểu nhiễu loạn trong quá trình sơ tán không khí khỏi khu vực lỗ rỗng và duy trì lực giữ trong khi bảo toàn sức mạnh cơ học và độ bền. Ngược lại, kẹp cơ học sử dụng các tấm gây ra các điểm ứng suất cục bộ và hoạt động chống lại các tính chất cơ học của wafer riêng lẻ. Do đó, bề mặt alumina micropious là vượt trội trong việc giữ các tấm wafer phẳng và bất thường trong các phương pháp cơ học. Điều này làm cho một ứng cử viên hoàn hảo cho các quá trình bán dẫn công nghệ cao được hưởng lợi từ độ phẳng wafer và giữ trơn tru, bao gồm in thạch bản, khắc, lắng đọng và đo lường.

Từ góc độ nhiệt, vật liệu alumina màu đen có khả năng tuyệt vời để duy trì sự ổn định kích thước trong nhiệt độ cao. Với hệ số giãn nở nhiệt thấp, một mâm cặp chân không có thể giữ chính xác ngay cả trong các chu kỳ sưởi ấm và làm mát, đây là một khía cạnh quan trọng do dao động nhiệt độ nhanh thường xảy ra trong môi trường xử lý wafer. Độ cứng và khả năng chống mài mòn của gốm này cũng làm tăng tuổi thọ của mâm cặp, giảm tần suất bảo trì cho các nhà khai thác thiết bị và giảm tổng chi phí sở hữu.

Sự trơ hóa hóa học của gốm alumina là một đặc tính đáng kể khác. Trong FAB bán dẫn, các thành phần của thiết bị cần dung nạp các hóa chất tích cực, chất làm sạch hoặc môi trường plasma mà không bị suy giảm. Alumina đen có đặc tính tuyệt vời để chống ăn mòn, oxy hóa và/hoặc ô nhiễm bề mặt, và do đó giữ lại cấu trúc và ổn định cấu trúc/phasic trong các giai đoạn chu kỳ hoạt động kích thích. Tính chất này cũng có nghĩa là các tấm wafer không bị ô nhiễm bảo vệ mạch khỏi cách các thiết bị đó hoạt động và cũng tin tưởng các giao thức phòng sạch.

Không chỉ các mucks chân không al₂o₃ thể hiện hiệu suất chức năng tuyệt vời, hoàn thiện bề mặt cũng được kiểm soát chặt chẽ. Kết thúc được tạo ra bằng cách sử dụng các quy trình gia công và đánh bóng độ chính xác cao mang lại độ phẳng và độ mịn đồng nhất để có thể giữ các tấm wafer tinh tế mà không có vết trầy xước hoặc thiệt hại bề mặt. Độ xốp được thiết kế cao của vật liệu mang lại sự cân bằng phù hợp giữa lực hút và bảo vệ bề mặt, cho phép lực giữ đầy đủ trên wafer, trong khi tránh mọi thiệt hại cho các chất nền mỏng, giòn.

Từ quan điểm hoạt động, các mucks chân không al₂o₃ là thành phần quan trọng trong sản xuất chất bán dẫn đương đại. Nó tạo điều kiện cho tự động hóa, cho phép các tấm wafer được chọn, đặt, căn chỉnh và xử lý, đáng tin cậy đáp ứng các yêu cầu quy trình. Màu đen của alumina cũng hỗ trợ và cung cấp các lợi thế thực dụng bằng cách giảm sự phản xạ ánh sáng trong quá trình kiểm tra quang học và các quy trình đo lường, đặc biệt là nơi sử dụng thiết bị quang học chính xác cao.

Kết hợp công nghệ gốm tiên tiến với thiết kế được xem xét kỹ lưỡng đã mang lại, trong các mucks chân không, một giải pháp hiệu suất cao, lâu dài cho các thách thức xử lý wafer của các nhà sản xuất bán dẫn. Chucks chân không Al₂o₃ cải thiện năng suất thông qua việc giảm mất wafer, giảm thời gian chết do độ bền và tăng cường độ ổn định của quá trình bằng cách cung cấp lực giữ chân không nhất quán.

Semicorex al₂o₃ Chucks chân không làm từ màu đen micropiousAluminakhông chỉ là một vật cố định; Nó là một yếu tố quan trọng của sản xuất chất bán dẫn chính xác. Với độ xốp được tối ưu hóa, tính chất vật liệu đặc biệt và hiệu suất mạnh mẽ, nó đảm bảo xử lý wafer đáng tin cậy trên các quy trình chế tạo đòi hỏi khắt khe nhất. Đối với các nhà sản xuất đang tìm cách đạt được năng suất cao hơn, hiệu quả quá trình được cải thiện và hiệu suất thiết bị vượt trội, Chuck chân không Alumina Black là một lựa chọn không thể thiếu.