Chất nhạy cảm cho Lò phản ứng MOCVD của Semicorex là sản phẩm chất lượng cao được sử dụng trong ngành công nghiệp bán dẫn cho các ứng dụng khác nhau như lớp cacbua silic và chất bán dẫn epitaxy. Sản phẩm của chúng tôi có sẵn ở dạng bánh răng hoặc vòng và được thiết kế để đạt được khả năng chống oxy hóa ở nhiệt độ cao, làm cho sản phẩm ổn định ở nhiệt độ lên tới 1600°C.
Chất nhạy của chúng tôi dành cho Lò phản ứng MOCVD được chế tạo bằng cách lắng đọng hơi hóa chất CVD trong điều kiện clo hóa ở nhiệt độ cao, đảm bảo độ tinh khiết cao. Bề mặt của sản phẩm dày đặc, có các hạt mịn và độ cứng cao, giúp sản phẩm có khả năng chống ăn mòn đối với axit, kiềm, muối và các chất phản ứng hữu cơ.
Chất nhạy cảm cho Lò phản ứng MOCVD của chúng tôi được thiết kế để đảm bảo lớp phủ trên tất cả các bề mặt, tránh bong tróc và đạt được mô hình dòng khí theo lớp tốt nhất. Sản phẩm đảm bảo độ đồng đều của cấu hình nhiệt và ngăn chặn bất kỳ sự nhiễm bẩn hoặc khuếch tán tạp chất nào trong quá trình, đảm bảo kết quả chất lượng cao.
Tại Semicorex, chúng tôi ưu tiên sự hài lòng của khách hàng và cung cấp các giải pháp hiệu quả về chi phí. Chúng tôi mong muốn trở thành đối tác lâu dài của bạn, cung cấp các sản phẩm chất lượng cao và dịch vụ khách hàng đặc biệt.
Các thông số của Susceptors cho Lò phản ứng MOCVD
Thông số kỹ thuật chính của lớp phủ CVD-SIC |
||
Thuộc tính SiC-CVD |
||
Cấu trúc tinh thể |
Giai đoạn FCC β |
|
Tỉ trọng |
g/cm ³ |
3.21 |
độ cứng |
độ cứng Vickers |
2500 |
Kích thước hạt |
μm |
2~10 |
độ tinh khiết hóa học |
% |
99.99995 |
Nhiệt dung |
J·kg-1 ·K-1 |
640 |
Nhiệt độ thăng hoa |
℃ |
2700 |
Sức mạnh của Felexural |
MPa (RT 4 điểm) |
415 |
Mô đun Youngâs |
Gpa (uốn cong 4pt, 1300â) |
430 |
Giãn nở nhiệt (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Dẫn nhiệt |
(W/mK) |
300 |
Các tính năng của SiC Coated Graphite Susceptor cho MOCVD
- Tránh bong tróc và đảm bảo sơn phủ trên mọi bề mặt
Khả năng chống oxy hóa ở nhiệt độ cao: Ổn định ở nhiệt độ cao lên tới 1600°C
Độ tinh khiết cao: được thực hiện bằng cách lắng đọng hơi hóa học CVD trong điều kiện clo hóa ở nhiệt độ cao.
Chống ăn mòn: độ cứng cao, bề mặt dày đặc và các hạt mịn.
Chống ăn mòn: axit, kiềm, muối và thuốc thử hữu cơ.
- Đạt được mô hình dòng khí tốt nhất
- Đảm bảo độ đồng đều của biên dạng nhiệt
- Ngăn chặn bất kỳ ô nhiễm hoặc khuếch tán tạp chất