Chất cảm ứng cho lò phản ứng MOCVD

Chất nhạy cảm của Semicorex dành cho Lò phản ứng MOCVD là sản phẩm chất lượng cao được sử dụng trong ngành bán dẫn cho nhiều ứng dụng khác nhau như lớp silicon cacbua và chất bán dẫn epit Wax. Sản phẩm của chúng tôi có sẵn ở dạng bánh răng hoặc dạng vòng và được thiết kế để đạt được khả năng chống oxy hóa ở nhiệt độ cao, giúp sản phẩm ổn định ở nhiệt độ lên tới 1600°C.

Gửi yêu cầu

Mô tả Sản phẩm

Chất nhạy cảm dành cho Lò phản ứng MOCVD của chúng tôi được tạo ra bằng cách lắng đọng hơi hóa học CVD trong điều kiện khử trùng bằng clo ở nhiệt độ cao, đảm bảo độ tinh khiết cao. Bề mặt của sản phẩm dày đặc, có các hạt mịn và độ cứng cao nên có khả năng chống ăn mòn với axit, kiềm, muối và thuốc thử hữu cơ.
Chất nhạy cảm dành cho Lò phản ứng MOCVD của chúng tôi được thiết kế để đảm bảo lớp phủ trên tất cả các bề mặt, tránh bong tróc và đạt được kiểu dòng khí tầng tốt nhất. Sản phẩm đảm bảo độ đồng đều của biên dạng nhiệt và ngăn chặn bất kỳ sự nhiễm bẩn hoặc khuếch tán tạp chất nào trong quá trình, đảm bảo kết quả chất lượng cao.
Tại Semicorex, chúng tôi ưu tiên sự hài lòng của khách hàng và cung cấp các giải pháp tiết kiệm chi phí. Chúng tôi mong muốn trở thành đối tác lâu dài của bạn, cung cấp các sản phẩm chất lượng cao và dịch vụ khách hàng đặc biệt.

Các thông số của chất cảm ứng cho lò phản ứng MOCVD

Thông số kỹ thuật chính của lớp phủ CVD-SIC
Thuộc tính SiC-CVD
Cấu trúc tinh thể	Giai đoạn FCC
Tỉ trọng	g/cm³	3.21
độ cứng	Độ cứng Vickers	2500
Kích thước hạt	mm	2~10
Độ tinh khiết hóa học	%	99.99995
Công suất nhiệt	J kg-1 K-1	640
Nhiệt độ thăng hoa	℃	2700
Sức mạnh cảm giác	MPa (RT 4 điểm)	415
Mô đun của Young	Gpa (uốn cong 4pt, 1300oC)	430
Giãn nở nhiệt (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Độ dẫn nhiệt	(W/mK)	300

Các tính năng của chất nhạy cảm than chì phủ SiC cho MOCVD

- Tránh bong tróc và đảm bảo phủ đều trên mọi bề mặt
Khả năng chống oxy hóa ở nhiệt độ cao: Ổn định ở nhiệt độ cao lên tới 1600°C
Độ tinh khiết cao: được tạo ra bằng cách lắng đọng hơi hóa học CVD trong điều kiện clo hóa ở nhiệt độ cao.
Chống ăn mòn: độ cứng cao, bề mặt dày đặc và các hạt mịn.
Chống ăn mòn: axit, kiềm, muối và thuốc thử hữu cơ.
- Đạt được mô hình dòng khí tầng tốt nhất
- Đảm bảo độ đồng đều của profile nhiệt
- Ngăn chặn mọi sự ô nhiễm hoặc khuếch tán tạp chất