Semicorex là nhà sản xuất và cung cấp hàng đầu về Chất nhạy cảm MOCVD phủ SiC. Sản phẩm của chúng tôi được thiết kế đặc biệt cho ngành công nghiệp bán dẫn để phát triển lớp epiticular trên chip wafer. Chất mang than chì được phủ Silicon Carbide có độ tinh khiết cao được sử dụng làm tấm trung tâm trong MOCVD, với thiết kế hình bánh răng hoặc hình vòng. Chất nhạy cảm của chúng tôi được sử dụng rộng rãi trong thiết bị MOCVD, đảm bảo khả năng chịu nhiệt và ăn mòn cao cũng như độ ổn định cao trong môi trường khắc nghiệt.
Một trong những tính năng quan trọng nhất của Chất nhạy cảm MOCVD phủ SiC của chúng tôi là nó đảm bảo phủ trên mọi bề mặt, tránh bong tróc. Sản phẩm có khả năng chống oxy hóa ở nhiệt độ cao, ổn định ở nhiệt độ cao lên tới 1600°C. Độ tinh khiết cao đạt được bằng cách sử dụng phương pháp lắng đọng hơi hóa học CVD trong điều kiện clo hóa ở nhiệt độ cao. Sản phẩm có bề mặt dày đặc với các hạt mịn nên có khả năng chống ăn mòn cao từ axit, kiềm, muối và thuốc thử hữu cơ.
Bộ cảm biến MOCVD được phủ SiC của chúng tôi đảm bảo mô hình dòng khí tầng tốt nhất, đảm bảo độ đồng đều của biên dạng nhiệt. Điều này giúp ngăn ngừa bất kỳ sự nhiễm bẩn hoặc khuếch tán tạp chất nào, đảm bảo sự phát triển epiticular chất lượng cao trên chip wafer. Semicorex mang lại lợi thế cạnh tranh về giá và bao phủ nhiều thị trường Châu Âu và Châu Mỹ. Nhóm của chúng tôi tận tâm cung cấp dịch vụ và hỗ trợ khách hàng tuyệt vời. Chúng tôi cam kết trở thành đối tác lâu dài của bạn, cung cấp các sản phẩm chất lượng cao và đáng tin cậy để giúp doanh nghiệp của bạn phát triển.
Các thông số của chất nhạy cảm MOCVD phủ SiC
Thông số kỹ thuật chính của lớp phủ CVD-SIC |
||
Thuộc tính SiC-CVD |
||
Cấu trúc tinh thể |
Giai đoạn FCC |
|
Tỉ trọng |
g/cm³ |
3.21 |
độ cứng |
Độ cứng Vickers |
2500 |
Kích thước hạt |
mm |
2~10 |
Độ tinh khiết hóa học |
% |
99.99995 |
Công suất nhiệt |
J kg-1 K-1 |
640 |
Nhiệt độ thăng hoa |
℃ |
2700 |
Sức mạnh cảm giác |
MPa (RT 4 điểm) |
415 |
Mô đun của Young |
Gpa (uốn cong 4pt, 1300oC) |
430 |
Giãn nở nhiệt (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Độ dẫn nhiệt |
(W/mK) |
300 |
Các tính năng của chất nhạy cảm MOCVD phủ SiC
- Tránh bong tróc và đảm bảo phủ đều trên mọi bề mặt
Khả năng chống oxy hóa ở nhiệt độ cao: Ổn định ở nhiệt độ cao lên tới 1600°C
Độ tinh khiết cao: được tạo ra bằng cách lắng đọng hơi hóa học CVD trong điều kiện clo hóa ở nhiệt độ cao.
Chống ăn mòn: độ cứng cao, bề mặt dày đặc và các hạt mịn.
Chống ăn mòn: axit, kiềm, muối và thuốc thử hữu cơ.
- Đạt được mô hình dòng khí tầng tốt nhất
- Đảm bảo độ đồng đều của profile nhiệt
- Ngăn chặn mọi sự ô nhiễm hoặc khuếch tán tạp chất