Chất nhạy cảm than chì phủ SiC cho MOCVD

Semicorex là nhà sản xuất và cung cấp quy mô lớn Chất nhạy cảm than chì phủ silicon cacbua tại Trung Quốc. Chúng tôi tập trung vào các ngành công nghiệp bán dẫn như lớp cacbua silic và chất bán dẫn epitaxy. Chất nhạy cảm than chì phủ SiC dành cho MOCVD của chúng tôi có lợi thế về giá tốt và bao phủ nhiều thị trường Châu Âu và Châu Mỹ. Chúng tôi mong muốn trở thành đối tác lâu dài của bạn.

Gửi yêu cầu

Mô tả Sản phẩm

Chất nhạy cảm than chì phủ Semicorex SiC cho MOCVD là chất mang than chì được phủ Silicon Carbide có độ tinh khiết cao, sử dụng trong quá trình này để phát triển lớp epixial trên chip wafer. Nó là tấm trung tâm trong MOCVD, hình dạng của bánh răng hoặc vòng. Chất nhạy cảm than chì phủ SiC cho MOCVD có khả năng chịu nhiệt và ăn mòn cao, có độ ổn định cao trong môi trường khắc nghiệt.
Tại Semicorex, chúng tôi cam kết cung cấp các sản phẩm và dịch vụ chất lượng cao cho khách hàng. Chúng tôi chỉ sử dụng những vật liệu tốt nhất và sản phẩm của chúng tôi được thiết kế để đáp ứng các tiêu chuẩn cao nhất về chất lượng và hiệu suất. Chất nhạy cảm bằng than chì phủ SiC của chúng tôi dành cho MOCVD cũng không phải là ngoại lệ. Liên hệ với chúng tôi ngay hôm nay để tìm hiểu thêm về cách chúng tôi có thể giúp bạn đáp ứng nhu cầu xử lý tấm bán dẫn của bạn.

Các thông số của chất nhạy cảm than chì phủ SiC cho MOCVD

Thông số kỹ thuật chính của lớp phủ CVD-SIC
Thuộc tính SiC-CVD
Cấu trúc tinh thể	Giai đoạn FCC
Tỉ trọng	g/cm³	3.21
độ cứng	Độ cứng Vickers	2500
Kích thước hạt	mm	2~10
Độ tinh khiết hóa học	%	99.99995
Công suất nhiệt	J kg-1 K-1	640
Nhiệt độ thăng hoa	℃	2700
Sức mạnh cảm giác	MPa (RT 4 điểm)	415
Mô đun của Young	Gpa (uốn cong 4pt, 1300oC)	430
Giãn nở nhiệt (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Độ dẫn nhiệt	(W/mK)	300

Các tính năng của chất nhạy cảm than chì phủ SiC cho MOCVD

- Tránh bong tróc và đảm bảo phủ đều trên mọi bề mặt
Khả năng chống oxy hóa ở nhiệt độ cao: Ổn định ở nhiệt độ cao lên tới 1600°C
Độ tinh khiết cao: được tạo ra bằng cách lắng đọng hơi hóa học CVD trong điều kiện clo hóa ở nhiệt độ cao.
Chống ăn mòn: độ cứng cao, bề mặt dày đặc và các hạt mịn.
Chống ăn mòn: axit, kiềm, muối và thuốc thử hữu cơ.
- Đạt được mô hình dòng khí tầng tốt nhất
- Đảm bảo độ đồng đều của profile nhiệt
- Ngăn chặn mọi sự ô nhiễm hoặc khuếch tán tạp chất