Semicorex là nhà sản xuất và cung cấp quy mô lớn của Silicon carbide Coated Graphite Susceptor tại Trung Quốc. Chúng tôi tập trung vào các ngành công nghiệp bán dẫn như lớp cacbua silic và chất bán dẫn epitaxy. Chất nhạy than chì phủ SiC của chúng tôi dành cho MOCVD có lợi thế về giá tốt và bao phủ nhiều thị trường Châu Âu và Châu Mỹ. Chúng tôi mong muốn trở thành đối tác lâu dài của bạn.
Semicorex SiC Coated Graphite Susceptor cho MOCVD là chất mang than chì được phủ Silicon Carbide có độ tinh khiết cao, được sử dụng trong quy trình để phát triển lớp ngoại vi trên chip wafer. Nó là tấm trung tâm trong MOCVD, hình dạng của bánh răng hoặc vòng. SiC Coated Graphite Susceptor cho MOCVD có khả năng chịu nhiệt và ăn mòn cao, có độ ổn định cao trong môi trường khắc nghiệt.
Tại Semicorex, chúng tôi cam kết cung cấp các sản phẩm và dịch vụ chất lượng cao cho khách hàng của mình. Chúng tôi chỉ sử dụng những vật liệu tốt nhất và các sản phẩm của chúng tôi được thiết kế để đáp ứng các tiêu chuẩn cao nhất về chất lượng và hiệu suất. Chất nhạy than chì phủ SiC của chúng tôi cho MOCVD cũng không ngoại lệ. Liên hệ với chúng tôi ngay hôm nay để tìm hiểu thêm về cách chúng tôi có thể giúp bạn đáp ứng nhu cầu xử lý tấm bán dẫn của bạn.
Các thông số của SiC Coated Graphite Susceptor cho MOCVD
Thông số kỹ thuật chính của lớp phủ CVD-SIC |
||
Thuộc tính SiC-CVD |
||
Cấu trúc tinh thể |
Giai đoạn FCC β |
|
Tỉ trọng |
g/cm ³ |
3.21 |
độ cứng |
độ cứng Vickers |
2500 |
Kích thước hạt |
μm |
2~10 |
độ tinh khiết hóa học |
% |
99.99995 |
Nhiệt dung |
J·kg-1 ·K-1 |
640 |
Nhiệt độ thăng hoa |
℃ |
2700 |
Sức mạnh của Felexural |
MPa (RT 4 điểm) |
415 |
Mô đun Youngâs |
Gpa (uốn cong 4pt, 1300â) |
430 |
Giãn nở nhiệt (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Dẫn nhiệt |
(W/mK) |
300 |
Các tính năng của SiC Coated Graphite Susceptor cho MOCVD
- Tránh bong tróc và đảm bảo độ phủ trên mọi bề mặt
Khả năng chống oxy hóa ở nhiệt độ cao: Ổn định ở nhiệt độ cao lên tới 1600°C
Độ tinh khiết cao: được thực hiện bằng cách lắng đọng hơi hóa học CVD trong điều kiện clo hóa ở nhiệt độ cao.
Chống ăn mòn: độ cứng cao, bề mặt dày đặc và các hạt mịn.
Chống ăn mòn: axit, kiềm, muối và thuốc thử hữu cơ.
- Đạt được mô hình dòng khí tốt nhất
- Đảm bảo độ đồng đều của biên dạng nhiệt
- Ngăn chặn bất kỳ ô nhiễm hoặc khuếch tán tạp chất