Thùng than chì phủ cacbua silic

Thùng than chì phủ cacbua silicon Semicorex là sự lựa chọn hoàn hảo cho các ứng dụng sản xuất chất bán dẫn đòi hỏi khả năng chống ăn mòn và nhiệt độ cao. Các đặc tính dẫn nhiệt và phân phối nhiệt đặc biệt của nó khiến nó trở nên lý tưởng để sử dụng trong các quy trình LPE và các môi trường nhiệt độ cao khác.

Gửi yêu cầu

Mô tả Sản phẩm

Khi nói đến sản xuất chất bán dẫn, Thùng than chì phủ cacbua silicon Semicorex là lựa chọn hàng đầu cho hiệu suất và độ tin cậy vượt trội. Lớp phủ SiC chất lượng cao, mật độ và độ dẫn nhiệt vượt trội của nó giúp phân phối và bảo vệ nhiệt vượt trội ngay cả trong những môi trường ăn mòn và nhiệt độ cao khó khăn nhất.

Thùng than chì phủ cacbua silic của chúng tôi đảm bảo cấu hình nhiệt đồng đều, đảm bảo mô hình dòng khí thành lớp tốt nhất. Nó ngăn chặn bất kỳ sự nhiễm bẩn hoặc tạp chất nào khuếch tán vào wafer, khiến nó trở nên lý tưởng để sử dụng trong môi trường phòng sạch. Semicorex là nhà sản xuất và cung cấp quy mô lớn SiC Coated Graphite Susceptor tại Trung Quốc và các sản phẩm của chúng tôi có lợi thế về giá tốt. Chúng tôi mong muốn trở thành đối tác lâu dài của bạn trong ngành bán dẫn.

Các thông số của thùng than chì phủ cacbua silic

Thông số kỹ thuật chính của lớp phủ CVD-SIC
Thuộc tính SiC-CVD
Cấu trúc tinh thể	Giai đoạn FCC Î²
Tỉ trọng	g/cm ³	3.21
độ cứng	độ cứng Vickers	2500
Kích thước hạt	Î¼m	2~10
độ tinh khiết hóa học	%	99.99995
Nhiệt dung	J·kg-1 ·K-1	640
Nhiệt độ thăng hoa	℃	2700
Sức mạnh của Felexural	MPa (RT 4 điểm)	415
Mô đun Youngâs	Gpa (uốn cong 4pt, 1300â)	430
Giãn nở nhiệt (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Dẫn nhiệt	(W/mK)	300

Các tính năng của thùng than chì phủ cacbua silic

- Cả lớp nền than chì và lớp cacbua silic đều có mật độ tốt và có thể đóng vai trò bảo vệ tốt trong môi trường làm việc có nhiệt độ cao và ăn mòn.

- Chất nhạy phủ cacbua silic dùng cho tăng trưởng đơn tinh thể có độ phẳng bề mặt rất cao.

- Giảm sự khác biệt về hệ số giãn nở nhiệt giữa lớp nền than chì và lớp cacbua silic, cải thiện hiệu quả độ bền liên kết để ngăn ngừa nứt và tách lớp.

- Cả lớp nền than chì và lớp cacbua silic đều có độ dẫn nhiệt cao và đặc tính phân phối nhiệt tuyệt vời.

- Điểm nóng chảy cao, chống oxy hóa ở nhiệt độ cao, chống ăn mòn.