Chất cản thùng lò phản ứng phủ cacbua Semicorex là một sản phẩm than chì chất lượng cao được phủ SiC có độ tinh khiết cao, được thiết kế dành riêng cho các quy trình LPE. Với khả năng chống ăn mòn và nhiệt tuyệt vời, sản phẩm này hoàn hảo để sử dụng trong các ứng dụng sản xuất chất bán dẫn.
Nếu bạn đang tìm kiếm một chất nhạy cảm than chì hiệu suất cao để hình thành lớp epitaxy trên các tấm bán dẫn mỏng, thì Chất nhạy cảm thùng phản ứng phủ cacbua Semicorex là một lựa chọn tuyệt vời. Lớp phủ cacbua silic của nó cung cấp khả năng phân phối nhiệt và dẫn nhiệt vượt trội, đảm bảo hiệu suất vượt trội ngay cả trong những môi trường nhiệt độ cao đòi hỏi khắt khe nhất.
Tại Semicorex, chúng tôi tập trung vào việc cung cấp thiết bị nhạy cảm thùng lò phản ứng phủ cacbua chất lượng cao, tiết kiệm chi phí, chúng tôi ưu tiên sự hài lòng của khách hàng và cung cấp các giải pháp tiết kiệm chi phí. Chúng tôi mong muốn trở thành đối tác lâu dài của bạn, cung cấp các sản phẩm chất lượng cao và dịch vụ khách hàng đặc biệt.
Các thông số của chất nhạy thùng phản ứng phủ cacbua
Thông số kỹ thuật chính của lớp phủ CVD-SIC |
||
Thuộc tính SiC-CVD |
||
Cấu trúc tinh thể |
Giai đoạn FCC β |
|
Tỉ trọng |
g/cm ³ |
3.21 |
độ cứng |
độ cứng Vickers |
2500 |
Kích thước hạt |
μm |
2~10 |
độ tinh khiết hóa học |
% |
99.99995 |
Nhiệt dung |
J·kg-1 ·K-1 |
640 |
Nhiệt độ thăng hoa |
℃ |
2700 |
Sức mạnh của Felexural |
MPa (RT 4 điểm) |
415 |
Mô đun Youngâs |
Gpa (uốn cong 4pt, 1300â) |
430 |
Giãn nở nhiệt (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Dẫn nhiệt |
(W/mK) |
300 |
Các tính năng của chất nhạy thùng phản ứng phủ cacbua
- Cả lớp nền than chì và lớp cacbua silic đều có mật độ tốt và có thể đóng vai trò bảo vệ tốt trong môi trường làm việc có nhiệt độ cao và ăn mòn.
- Chất nhạy phủ cacbua silic dùng cho tăng trưởng đơn tinh thể có độ phẳng bề mặt rất cao.
- Giảm sự khác biệt về hệ số giãn nở nhiệt giữa lớp nền than chì và lớp cacbua silic, cải thiện hiệu quả độ bền liên kết để ngăn ngừa nứt và tách lớp.
- Cả lớp nền than chì và lớp cacbua silic đều có độ dẫn nhiệt cao và đặc tính phân phối nhiệt tuyệt vời.
- Điểm nóng chảy cao, chống oxy hóa ở nhiệt độ cao, chống ăn mòn.