Thùng Susceptor phủ SiC cho buồng lò phản ứng LPE

Thùng nhạy phủ SiC của Semicorex dành cho buồng lò phản ứng LPE là một giải pháp có độ tin cậy cao cho các quy trình sản xuất chất bán dẫn, có tính năng phân phối nhiệt và dẫn nhiệt vượt trội. Nó cũng có khả năng chống ăn mòn, oxy hóa và nhiệt độ cao.

Gửi yêu cầu

Mô tả Sản phẩm

Thùng Susceptor phủ SiC của Semicorex cho buồng phản ứng LPE là một sản phẩm chất lượng cao, được sản xuất theo tiêu chuẩn cao nhất về độ chính xác và độ bền. Nó cung cấp khả năng dẫn nhiệt tuyệt vời, chống ăn mòn và rất phù hợp với các ứng dụng LPE trong sản xuất chất bán dẫn.

Thùng Susceptor phủ SiC của chúng tôi dành cho buồng lò phản ứng LPE được thiết kế để đạt được mô hình dòng khí theo lớp tốt nhất, đảm bảo sự đồng đều của cấu hình nhiệt. Điều này giúp ngăn ngừa bất kỳ sự nhiễm bẩn hoặc khuếch tán tạp chất nào, đảm bảo sự tăng trưởng epiticular chất lượng cao trên chip wafer.

Liên hệ với chúng tôi ngay hôm nay để tìm hiểu thêm về Thùng Susceptor Phủ SiC cho Buồng Lò phản ứng LPE của chúng tôi.

Các thông số của Thùng Susceptor Phủ SiC cho Buồng Lò phản ứng LPE

Thông số kỹ thuật chính của lớp phủ CVD-SIC
Thuộc tính SiC-CVD
Cấu trúc tinh thể	Giai đoạn FCC Î²
Tỉ trọng	g/cm ³	3.21
độ cứng	độ cứng Vickers	2500
Kích thước hạt	Î¼m	2~10
độ tinh khiết hóa học	%	99.99995
Nhiệt dung	J·kg-1 ·K-1	640
Nhiệt độ thăng hoa	℃	2700
Sức mạnh của Felexural	MPa (RT 4 điểm)	415
Mô đun Youngâs	Gpa (uốn cong 4pt, 1300â)	430
Giãn nở nhiệt (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Dẫn nhiệt	(W/mK)	300

Các tính năng của Thùng Susceptor Phủ SiC cho Buồng Lò phản ứng LPE

- Cả lớp nền than chì và lớp cacbua silic đều có mật độ tốt và có thể đóng vai trò bảo vệ tốt trong môi trường làm việc có nhiệt độ cao và ăn mòn.

- Chất nhạy phủ cacbua silic dùng cho tăng trưởng đơn tinh thể có độ phẳng bề mặt rất cao.

- Giảm sự khác biệt về hệ số giãn nở nhiệt giữa lớp nền than chì và lớp cacbua silic, cải thiện hiệu quả độ bền liên kết để ngăn ngừa nứt và tách lớp.

- Cả lớp nền than chì và lớp cacbua silic đều có độ dẫn nhiệt cao và đặc tính phân phối nhiệt tuyệt vời.

- Điểm nóng chảy cao, chống oxy hóa ở nhiệt độ cao, chống ăn mòn.

Thẻ nóng: Thùng Susceptor phủ SiC cho buồng lò phản ứng LPE, Trung Quốc, Nhà sản xuất, Nhà cung cấp, Nhà máy, Tùy chỉnh, Số lượng lớn, Nâng cao, Bền bỉ