Semicorex là nhà sản xuất và cung cấp quy mô lớn Silicon carbide SiC Coated Barrel Susceptor cho LPE tại Trung Quốc. Chúng tôi tập trung vào các ngành công nghiệp bán dẫn như lớp cacbua silic và chất bán dẫn epitaxy. Sản phẩm của chúng tôi có lợi thế về giá tốt và bao phủ nhiều thị trường Châu Âu và Châu Mỹ. Chúng tôi mong muốn trở thành đối tác lâu dài của bạn.
Semicorex Silicon carbide SiC Coated Barrel Susceptor cho LPE là chất mang than chì được phủ SiC có độ tinh khiết cao, được sử dụng trong quy trình để phát triển lớp epitaxy trên chip wafer, phù hợp với LPE. Nó có khả năng chịu nhiệt và ăn mòn cao, có độ ổn định cao trong môi trường khắc nghiệt.
Chất nhạy thùng phủ SiC cacbua silic của chúng tôi dành cho LPE cũng có khả năng chống lại quá trình oxy hóa và ăn mòn ở nhiệt độ cao, làm cho nó trở thành một sản phẩm đáng tin cậy và bền bỉ. Điểm nóng chảy cao của nó đảm bảo rằng nó có thể chịu được môi trường nhiệt độ cao cần thiết để sản xuất chất bán dẫn hiệu quả.
Liên hệ với chúng tôi ngay hôm nay để tìm hiểu thêm về chất nhạy cảm thùng phủ SiC cacbua silic cho LPE của chúng tôi.
Các thông số của Silicon carbide SiC Coated Barrel Susceptor cho LPE
Thông số kỹ thuật chính của lớp phủ CVD-SIC |
||
Thuộc tính SiC-CVD |
||
Cấu trúc tinh thể |
Giai đoạn FCC β |
|
Tỉ trọng |
g/cm ³ |
3.21 |
độ cứng |
độ cứng Vickers |
2500 |
Kích thước hạt |
μm |
2~10 |
độ tinh khiết hóa học |
% |
99.99995 |
Nhiệt dung |
J·kg-1 ·K-1 |
640 |
Nhiệt độ thăng hoa |
℃ |
2700 |
Sức mạnh của Felexural |
MPa (RT 4 điểm) |
415 |
Mô đun Youngâs |
Gpa (uốn cong 4pt, 1300â) |
430 |
Giãn nở nhiệt (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Dẫn nhiệt |
(W/mK) |
300 |
Các tính năng của Silicon carbide SiC Coated Barrel Susceptor cho LPE
- Tránh bong tróc và đảm bảo độ phủ trên mọi bề mặt
Khả năng chống oxy hóa ở nhiệt độ cao: Ổn định ở nhiệt độ cao lên tới 1600°C
Độ tinh khiết cao: được thực hiện bằng cách lắng đọng hơi hóa học CVD trong điều kiện clo hóa ở nhiệt độ cao.
Chống ăn mòn: độ cứng cao, bề mặt dày đặc và các hạt mịn.
Chống ăn mòn: axit, kiềm, muối và thuốc thử hữu cơ.
- Đạt được mô hình dòng khí tốt nhất
- Đảm bảo độ đồng đều của biên dạng nhiệt
- Ngăn chặn bất kỳ ô nhiễm hoặc khuếch tán tạp chất