Mái chèo đúc hẫng silicon cacbua

Mái chèo đúc hẫng cacbua silic Semicorex thường được sử dụng với các thuyền bán dẫn nằm ngang trong các lò xử lý nhiệt độ cao. Chúng có thể đảm bảo việc chuyển các tấm bán dẫn vào và ra khỏi ống lò một cách chính xác, trơn tru, hỗ trợ mạnh mẽ cho sự ổn định và năng suất của quá trình sản xuất chất bán dẫn. Được thiết kế đặc biệt để xử lý tấm wafer ở nhiệt độ cao, cánh khuấy đúc hẫng silicon cacbua Semicorex hoạt động ổn định ở nhiệt độ khoảng 1250°C trong môi trường làm việc khắc nghiệt bao gồm oxy (khí phản ứng), nitơ (khí bảo vệ) và một lượng nhỏ hydro clorua.

Lựa chọn vật liệu tiêu chuẩn cao

Sản phẩm cao cấp dựa vào nguyên liệu thô tốt. Semicorex sử dụng nguyên liệu thô cacbua silic có độ tinh khiết cao để đảm bảo cánh đúc hẫng cacbua silic của chúng tôi có chất lượng hàng đầu trong toàn ngành. Đế của chúng được làm bằng cacbua silic liên kết phản ứng chất lượng cao với hàm lượng tạp chất được kiểm soát dưới 100 ppm và bề mặt của chúng được phủ một lớp phủ CVD SiC trong đó tạp chất được giữ ở mức dưới 1 ppm. Mái chèo đúc hẫng cacbua silicon Semicorex được chế tạo bằng vật liệu tiêu chuẩn cao này mang lại những đặc tính tuyệt vời được liệt kê dưới đây.

1. Độ sạch cực cao:Dấu chấm phẩycacbua silicmái chèo đúc hẫng có độ tinh khiết cao và sẽ không giải phóng các tạp chất không mong muốn trong quá trình vận hành, loại bỏ cơ bản sự ô nhiễm đối với tấm bán dẫn và lò chế biến.

2. Độ ổn định nhiệt ổn định:Mái chèo đúc hẫng cacbua silicon Semicorex hoạt động đáng tin cậy ở nhiệt độ 1250°C và chịu được những thay đổi nhiệt độ đột ngột khi vào và ra khỏi lò, không bị biến dạng hoặc nứt.

3. Độ bền cơ học vượt trội:Cánh khuấy đúc hẫng silicon cacbua Semicorex có độ cứng và độ bền cao, đồng thời có thể chịu mài mòn và trầy xước trong quá trình vận hành đẩy và kéo thường xuyên.

4. Khả năng chống ăn mòn đáng tin cậy:Dấu chấm phẩymái chèo đúc hẫng silicon cacbuacó thể chịu được sự ăn mòn nghiêm trọng của kiềm và axit mạnh nhờ tính ổn định hóa học vượt trội.

Thiết kế chu đáo và gia công chính xác

Dấu chấm phẩysử dụng công nghệ in 3D tích hợp để tạo thành các cánh đúc hẫng silicon cacbua, cho phép chúng thoát khỏi các điểm ứng suất yếu ở các mối nối, mang lại khả năng chịu tải đáng tin cậy trong quá trình vận hành. Nó cũng hỗ trợ tùy chỉnh toàn diện các cánh đúc hẫng bằng cacbua silic. Cánh khuấy đúc hẫng có thể được điều chỉnh chính xác về chiều dài, cấu trúc và đặc điểm kỹ thuật giao diện và có sẵn để phù hợp hoàn hảo với đường kính ống lò, kích thước thuyền bán dẫn, hệ thống tải tự động và các yêu cầu quy trình cụ thể.