Bộ cảm biến wafer SiC cho MOCVD

Bộ cảm biến wafer Semicorex SiC dành cho MOCVD là một mẫu mực về độ chính xác và sự đổi mới, được chế tạo đặc biệt để tạo điều kiện thuận lợi cho việc lắng đọng epiticular của vật liệu bán dẫn lên các tấm bán dẫn. Đặc tính vật liệu vượt trội của các tấm cho phép chúng chịu được các điều kiện nghiêm ngặt của quá trình tăng trưởng epiticular, bao gồm nhiệt độ cao và môi trường ăn mòn, khiến chúng không thể thiếu trong sản xuất chất bán dẫn có độ chính xác cao. Tại Semicorex, chúng tôi chuyên sản xuất và cung cấp Bộ cảm biến wafer SiC hiệu suất cao cho MOCVD, kết hợp chất lượng với hiệu quả chi phí.

Gửi yêu cầu

Mô tả Sản phẩm

Sự kết hợp giữa độ ổn định nhiệt, khả năng kháng hóa chất và độ bền cơ học đảm bảo Chất nhạy cảm wafer Semicorex SiC cho MOCVD có tuổi thọ hoạt động lâu dài, ngay cả trong các điều kiện xử lý khắc nghiệt:

1. Các thiết bị cảm ứng wafer SiC dành cho MOCVD này được thiết kế để chịu được nhiệt độ cực cao, thường vượt quá 1500°C mà không bị suy giảm chất lượng. Khả năng phục hồi này rất quan trọng đối với các quy trình đòi hỏi phải tiếp xúc lâu dài với môi trường nhiệt độ cao. Các đặc tính nhiệt vượt trội giúp giảm thiểu độ dốc nhiệt và ứng suất trong bộ phận nhạy cảm, do đó giảm nguy cơ cong vênh hoặc biến dạng dưới nhiệt độ xử lý khắc nghiệt.

2. Lớp phủ SiC của Chất nhạy cảm wafer SiC cho MOCVD mang lại khả năng chống chịu đặc biệt đối với các hóa chất ăn mòn được sử dụng trong quy trình CVD, chẳng hạn như khí gốc halogen. Tính trơ này đảm bảo rằng chất mang không phản ứng với khí xử lý, do đó duy trì tính toàn vẹn và độ tinh khiết của màng lắng đọng.

3. Cấu trúc chắc chắn của các Bộ cảm biến wafer SiC dành cho MOCVD này đảm bảo chúng có thể chịu được áp lực cơ học khi xử lý và xử lý mà không tạo ra các hạt có thể làm nhiễm bẩn wafer. Tính đồng nhất của bề mặt các chất nhạy cảm thúc đẩy các điều kiện xử lý có thể tái tạo, điều này rất cần thiết để sản xuất các thiết bị bán dẫn có hiệu suất và độ tin cậy ổn định.

Những mô tả mở rộng này nêu bật những ưu điểm chuyên môn và kỹ thuật của Chất nhạy cảm wafer SiC dành cho MOCVD trong quy trình CVD bán dẫn, nhấn mạnh các đặc tính và lợi ích độc đáo của chúng trong việc duy trì các tiêu chuẩn cao về độ tinh khiết, hiệu suất và hiệu quả trong quy trình sản xuất.