Chất nhạy cảm SiC cho MOCVD

Semicorex là nhà sản xuất và cung cấp hàng đầu về Chất nhạy cảm SiC cho MOCVD. Sản phẩm của chúng tôi được thiết kế đặc biệt để đáp ứng nhu cầu của ngành công nghiệp bán dẫn trong việc phát triển lớp epiticular trên chip wafer. Sản phẩm được sử dụng làm tấm trung tâm trong MOCVD, có thiết kế dạng bánh răng hoặc hình vòng. Nó có khả năng chịu nhiệt và ăn mòn cao, lý tưởng để sử dụng trong môi trường khắc nghiệt.

Gửi yêu cầu

Mô tả Sản phẩm

Bộ cảm biến SiC dành cho MOCVD của chúng tôi là sản phẩm chất lượng hàng đầu có một số tính năng chính. Nó đảm bảo lớp phủ trên mọi bề mặt, tránh bong tróc và có khả năng chống oxy hóa ở nhiệt độ cao, đảm bảo độ ổn định ngay cả ở nhiệt độ cao lên tới 1600°C. Sản phẩm được tạo ra với độ tinh khiết cao thông qua quá trình lắng đọng hơi hóa chất CVD trong điều kiện clo hóa ở nhiệt độ cao. Nó có bề mặt dày đặc với các hạt mịn, giúp nó có khả năng chống ăn mòn cao từ axit, kiềm, muối và thuốc thử hữu cơ.
Bộ cảm biến SiC dành cho MOCVD của chúng tôi được thiết kế để đảm bảo mô hình dòng khí tầng tốt nhất, đảm bảo độ đồng đều của biên dạng nhiệt. Nó ngăn chặn bất kỳ sự nhiễm bẩn hoặc khuếch tán tạp chất nào, đảm bảo sự phát triển epiticular chất lượng cao trên chip wafer.

Các thông số của chất nhạy cảm SiC cho MOCVD

Thông số kỹ thuật chính của lớp phủ CVD-SIC
Thuộc tính SiC-CVD
Cấu trúc tinh thể	Giai đoạn FCC
Tỉ trọng	g/cm³	3.21
độ cứng	Độ cứng Vickers	2500
Kích thước hạt	mm	2~10
Độ tinh khiết hóa học	%	99.99995
Công suất nhiệt	J kg-1 K-1	640
Nhiệt độ thăng hoa	℃	2700
Sức mạnh cảm giác	MPa (RT 4 điểm)	415
Mô đun của Young	Gpa (uốn cong 4pt, 1300oC)	430
Giãn nở nhiệt (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Độ dẫn nhiệt	(W/mK)	300

Các tính năng của Bộ cảm biến SiC cho MOCVD

- Tránh bong tróc và đảm bảo phủ đều trên mọi bề mặt
Khả năng chống oxy hóa ở nhiệt độ cao: Ổn định ở nhiệt độ cao lên tới 1600°C
Độ tinh khiết cao: được tạo ra bằng cách lắng đọng hơi hóa học CVD trong điều kiện clo hóa ở nhiệt độ cao.
Chống ăn mòn: độ cứng cao, bề mặt dày đặc và các hạt mịn.
Chống ăn mòn: axit, kiềm, muối và thuốc thử hữu cơ.
- Đạt được mô hình dòng khí tầng tốt nhất
- Đảm bảo độ đồng đều của profile nhiệt
- Ngăn chặn mọi sự ô nhiễm hoặc khuếch tán tạp chất