Semicorex là nhà sản xuất và cung cấp SiC Susceptor hàng đầu cho MOCVD. Sản phẩm của chúng tôi được thiết kế đặc biệt để đáp ứng nhu cầu của ngành công nghiệp bán dẫn trong việc phát triển lớp epitaxy trên chip wafer. Sản phẩm được dùng làm tấm định tâm trong MOCVD, với thiết kế dạng bánh răng hoặc dạng vành khuyên. Nó có khả năng chịu nhiệt và chống ăn mòn cao, lý tưởng để sử dụng trong môi trường khắc nghiệt.
SiC Susceptor cho MOCVD của chúng tôi là một sản phẩm chất lượng hàng đầu có một số tính năng chính. Nó đảm bảo độ phủ trên mọi bề mặt, tránh bong tróc và có khả năng chống oxi hóa ở nhiệt độ cao, đảm bảo tính ổn định ngay cả ở nhiệt độ cao lên đến 1600°C. Sản phẩm được tạo ra với độ tinh khiết cao thông qua quá trình lắng đọng hơi hóa học CVD trong điều kiện clo hóa ở nhiệt độ cao. Nó có bề mặt dày đặc với các hạt mịn, làm cho nó có khả năng chống ăn mòn cao từ axit, kiềm, muối và thuốc thử hữu cơ.
SiC Susceptor cho MOCVD của chúng tôi được thiết kế để đảm bảo mô hình dòng khí thành lớp tốt nhất, đảm bảo sự đồng đều của cấu hình nhiệt. Nó ngăn chặn bất kỳ sự khuếch tán ô nhiễm hoặc tạp chất nào, đảm bảo sự tăng trưởng epiticular chất lượng cao trên chip wafer.
Các thông số của SiC Susceptor cho MOCVD
Thông số kỹ thuật chính của lớp phủ CVD-SIC |
||
Thuộc tính SiC-CVD |
||
Cấu trúc tinh thể |
Giai đoạn FCC β |
|
Tỉ trọng |
g/cm ³ |
3.21 |
độ cứng |
độ cứng Vickers |
2500 |
Kích thước hạt |
μm |
2~10 |
độ tinh khiết hóa học |
% |
99.99995 |
Nhiệt dung |
J·kg-1 ·K-1 |
640 |
Nhiệt độ thăng hoa |
℃ |
2700 |
Sức mạnh của Felexural |
MPa (RT 4 điểm) |
415 |
Mô đun Youngâs |
Gpa (uốn cong 4pt, 1300â) |
430 |
Giãn nở nhiệt (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Dẫn nhiệt |
(W/mK) |
300 |
Các tính năng của SiC Susceptor cho MOCVD
- Tránh bong tróc và đảm bảo sơn phủ trên mọi bề mặt
Khả năng chống oxy hóa ở nhiệt độ cao: Ổn định ở nhiệt độ cao lên tới 1600°C
Độ tinh khiết cao: được thực hiện bằng cách lắng đọng hơi hóa học CVD trong điều kiện clo hóa ở nhiệt độ cao.
Chống ăn mòn: độ cứng cao, bề mặt dày đặc và các hạt mịn.
Chống ăn mòn: axit, kiềm, muối và thuốc thử hữu cơ.
- Đạt được mô hình dòng khí tốt nhất
- Đảm bảo độ đồng đều của biên dạng nhiệt
- Ngăn chặn bất kỳ ô nhiễm hoặc khuếch tán tạp chất