SiC Coated Graphite Barrel Susceptor

Nếu bạn đang tìm kiếm một chất nhạy graphite hiệu suất cao để sử dụng trong các ứng dụng sản xuất chất bán dẫn, thì Semicorex SiC Coated Graphite Barrel Susceptor là lựa chọn lý tưởng. Các đặc tính dẫn nhiệt và phân phối nhiệt đặc biệt của nó làm cho nó trở thành lựa chọn hàng đầu cho hiệu suất ổn định và đáng tin cậy trong môi trường ăn mòn và nhiệt độ cao.

Gửi yêu cầu

Mô tả Sản phẩm

Chất nhạy thùng than chì phủ Semicorex SiC là sự lựa chọn hoàn hảo cho các ứng dụng sản xuất chất bán dẫn đòi hỏi khả năng phân phối nhiệt và độ dẫn nhiệt đặc biệt. Lớp phủ SiC có độ tinh khiết cao và mật độ vượt trội của nó cung cấp các đặc tính phân phối nhiệt và bảo vệ vượt trội, đảm bảo hiệu suất ổn định và đáng tin cậy ngay cả trong những môi trường khó khăn nhất.

Thiết bị Susceptor thùng Graphite phủ SiC của chúng tôi được thiết kế để đạt được mô hình dòng khí theo lớp tốt nhất, đảm bảo sự đồng đều của cấu hình nhiệt. Điều này giúp ngăn ngừa bất kỳ sự nhiễm bẩn hoặc khuếch tán tạp chất nào, đảm bảo sự tăng trưởng epiticular chất lượng cao trên chip wafer.

Liên hệ với chúng tôi ngay hôm nay để tìm hiểu thêm về Chất nhạy thùng than chì phủ SiC của chúng tôi.

Các thông số của SiC Coated Graphite Barrel Susceptor

Thông số kỹ thuật chính của lớp phủ CVD-SIC
Thuộc tính SiC-CVD
Cấu trúc tinh thể	Giai đoạn FCC Î²
Tỉ trọng	g/cm ³	3.21
độ cứng	độ cứng Vickers	2500
Kích thước hạt	Î¼m	2~10
độ tinh khiết hóa học	%	99.99995
Nhiệt dung	J·kg-1 ·K-1	640
Nhiệt độ thăng hoa	℃	2700
Sức mạnh của Felexural	MPa (RT 4 điểm)	415
Mô đun Youngâs	Gpa (uốn cong 4pt, 1300â)	430
Giãn nở nhiệt (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Dẫn nhiệt	(W/mK)	300

Các tính năng của SiC Coated Graphite Barrel Susceptor

- Cả lớp nền than chì và lớp cacbua silic đều có mật độ tốt và có thể đóng vai trò bảo vệ tốt trong môi trường làm việc có nhiệt độ cao và ăn mòn.

- Chất nhạy phủ cacbua silic dùng cho tăng trưởng đơn tinh thể có độ phẳng bề mặt rất cao.

- Giảm sự khác biệt về hệ số giãn nở nhiệt giữa lớp nền than chì và lớp cacbua silic, cải thiện hiệu quả độ bền liên kết để ngăn ngừa nứt và tách lớp.

- Cả lớp nền than chì và lớp cacbua silic đều có độ dẫn nhiệt cao và đặc tính phân phối nhiệt tuyệt vời.

- Điểm nóng chảy cao, chống oxy hóa ở nhiệt độ cao, chống ăn mòn.