Semicorex SiC Coated thùng Susceptor cho LPE Epitaxy tăng trưởng là một sản phẩm hiệu suất cao được thiết kế để cung cấp hiệu suất ổn định và đáng tin cậy trong một thời gian dài. Cấu hình nhiệt đồng đều, kiểu dòng khí tầng và khả năng ngăn ngừa nhiễm bẩn làm cho nó trở thành lựa chọn lý tưởng cho sự phát triển của các lớp epitaxy chất lượng cao trên chip wafer. Khả năng tùy biến và hiệu quả chi phí của nó làm cho nó trở thành một sản phẩm có tính cạnh tranh cao trên thị trường.
SiC Coated Barrel Susceptor của chúng tôi để tăng trưởng LPE Epitaxy là một sản phẩm chất lượng cao và đáng tin cậy mang lại giá trị tuyệt vời cho đồng tiền. Khả năng chống oxy hóa ở nhiệt độ cao, thậm chí cả cấu hình nhiệt và khả năng ngăn ngừa nhiễm bẩn khiến nó trở thành lựa chọn lý tưởng cho sự phát triển của các lớp epitaxy chất lượng cao trên chip wafer. Yêu cầu bảo trì thấp và khả năng tùy biến làm cho nó trở thành một sản phẩm có tính cạnh tranh cao trên thị trường.
Liên hệ với chúng tôi ngay hôm nay để tìm hiểu thêm về SiC Coated Barrel Susceptor của chúng tôi dành cho Tăng trưởng Epitaxy LPE.
Các thông số của SiC Coated Barrel Susceptor cho LPE Epitaxy Tăng trưởng
Thông số kỹ thuật chính của lớp phủ CVD-SIC |
||
Thuộc tính SiC-CVD |
||
Cấu trúc tinh thể |
Giai đoạn FCC β |
|
Tỉ trọng |
g/cm ³ |
3.21 |
độ cứng |
độ cứng Vickers |
2500 |
Kích thước hạt |
μm |
2~10 |
độ tinh khiết hóa học |
% |
99.99995 |
Nhiệt dung |
J·kg-1 ·K-1 |
640 |
Nhiệt độ thăng hoa |
℃ |
2700 |
Sức mạnh của Felexural |
MPa (RT 4 điểm) |
415 |
Mô đun Youngâs |
Gpa (uốn cong 4pt, 1300â) |
430 |
Giãn nở nhiệt (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Dẫn nhiệt |
(W/mK) |
300 |
Các tính năng của SiC Coated Barrel Susceptor cho LPE Epitaxy Tăng trưởng
- Cả lớp nền than chì và lớp cacbua silic đều có mật độ tốt và có thể đóng vai trò bảo vệ tốt trong môi trường làm việc có nhiệt độ cao và ăn mòn.
- Chất nhạy phủ cacbua silic dùng cho tăng trưởng đơn tinh thể có độ phẳng bề mặt rất cao.
- Giảm sự khác biệt về hệ số giãn nở nhiệt giữa lớp nền than chì và lớp cacbua silic, cải thiện hiệu quả độ bền liên kết để ngăn ngừa nứt và tách lớp.
- Cả lớp nền than chì và lớp cacbua silic đều có độ dẫn nhiệt cao và đặc tính phân phối nhiệt tuyệt vời.
- Điểm nóng chảy cao, chống oxy hóa ở nhiệt độ cao, chống ăn mòn.