Với mật độ và độ dẫn nhiệt vượt trội, Chất nhạy thùng phủ Semicorex SiC cho Tăng trưởng Epitaxy là lựa chọn lý tưởng để sử dụng trong môi trường ăn mòn và nhiệt độ cao. Được phủ bằng SiC có độ tinh khiết cao, sản phẩm than chì này cung cấp khả năng bảo vệ và phân phối nhiệt tuyệt vời, đảm bảo hiệu suất ổn định và đáng tin cậy trong các ứng dụng sản xuất chất bán dẫn.
Semicorex SiC Coated Barrel Susceptor for Epitaxy Growth là sự lựa chọn hoàn hảo cho sự hình thành lớp epixial trên các tấm bán dẫn, nhờ tính dẫn nhiệt và phân phối nhiệt tuyệt vời của nó. Lớp phủ cacbua silic của nó cung cấp khả năng bảo vệ vượt trội ngay cả trong môi trường ăn mòn và nhiệt độ cao đòi hỏi khắt khe nhất.
Tại Semicorex, chúng tôi tập trung vào việc cung cấp các sản phẩm chất lượng cao, tiết kiệm chi phí cho khách hàng. SiC Coated Barrel Susceptor for Epitaxy Growth của chúng tôi có lợi thế về giá và được xuất khẩu sang nhiều thị trường Châu Âu và Châu Mỹ. Chúng tôi mong muốn trở thành đối tác lâu dài của bạn, cung cấp các sản phẩm chất lượng nhất quán và dịch vụ khách hàng đặc biệt.
Các thông số của SiC Coated Barrel Susceptor cho sự tăng trưởng Epiticular
Thông số kỹ thuật chính của lớp phủ CVD-SIC |
||
Thuộc tính SiC-CVD |
||
Cấu trúc tinh thể |
Giai đoạn FCC β |
|
Tỉ trọng |
g/cm ³ |
3.21 |
độ cứng |
độ cứng Vickers |
2500 |
Kích thước hạt |
μm |
2~10 |
độ tinh khiết hóa học |
% |
99.99995 |
Nhiệt dung |
J·kg-1 ·K-1 |
640 |
Nhiệt độ thăng hoa |
℃ |
2700 |
Sức mạnh của Felexural |
MPa (RT 4 điểm) |
415 |
Mô đun Youngâs |
Gpa (uốn cong 4pt, 1300â) |
430 |
Giãn nở nhiệt (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Dẫn nhiệt |
(W/mK) |
300 |
Các tính năng của SiC Coated Barrel Susceptor cho sự tăng trưởng Epiticular
- Cả lớp nền than chì và lớp cacbua silic đều có mật độ tốt và có thể đóng vai trò bảo vệ tốt trong môi trường làm việc có nhiệt độ cao và ăn mòn.
- Chất nhạy phủ cacbua silic dùng cho tăng trưởng đơn tinh thể có độ phẳng bề mặt rất cao.
- Giảm sự khác biệt về hệ số giãn nở nhiệt giữa lớp nền than chì và lớp cacbua silic, cải thiện hiệu quả độ bền liên kết để ngăn ngừa nứt và tách lớp.
- Cả lớp nền than chì và lớp cacbua silic đều có độ dẫn nhiệt cao và đặc tính phân phối nhiệt tuyệt vời.
- Điểm nóng chảy cao, chống oxy hóa ở nhiệt độ cao, chống ăn mòn.