Các sản phẩm

Vòng SiC CVD rắn Semicorex là thành phần hình vòng hiệu suất cao, chủ yếu được sử dụng trong buồng phản ứng của thiết bị khắc plasma trong ngành công nghiệp bán dẫn tiên tiến. Vòng SiC CVD rắn của Semicorex trải qua quá trình lựa chọn vật liệu và kiểm soát chất lượng nghiêm ngặt, mang lại độ tinh khiết vật liệu tuyệt vời, khả năng chống ăn mòn plasma đặc biệt và hiệu suất hoạt động ổn định.

Vòng đệm Semicorex SiC là các thành phần bề mặt cơ học hiệu suất cao được thiết kế để mang lại khả năng chống mài mòn vượt trội, ổn định nhiệt và độ trơ hóa học phổ quát trong các môi trường thiết bị quay đòi hỏi khắt khe nhất. Semicorex là nhà cung cấp vật liệu gốm SiC chuyên nghiệp, có thể cung cấp các sản phẩm có độ chính xác cao cho khách hàng toàn cầu.*

Semicorex SiC Pedestal là thành phần phần cứng đa chức năng, có độ chính xác cao được thiết kế để mang lại sự ổn định nhiệt và phân phối chất lỏng phức tạp cần thiết cho các hệ thống phản ứng vi kênh tiên tiến. Semicorex chuyên về kỹ thuật và cung cấp các bệ SiC có độ tinh khiết cao này theo nhu cầu của khách hàng.*

Đồ gá than chì được phủ Semicorex SiC là thành phần than chì thiết yếu được phủ một lớp phủ SiC dày đặc và đồng nhất. Kết hợp với các đặc tính tuyệt vời của cả than chì và cacbua silic, đồ gá than chì được phủ Semicorex SiC hoạt động đáng tin cậy trong các điều kiện thử nghiệm và đóng gói chất bán dẫn phức tạp.

Đầu kẹp chân không bằng gốm Semicorex SiC được sản xuất từ ​​cacbua silic dày đặc thiêu kết (SSiC) có độ tinh khiết cao, là giải pháp dứt khoát để xử lý và làm mỏng wafer có độ chính xác cao, mang lại độ cứng vô song, độ ổn định nhiệt và độ phẳng dưới micron. Semicorex mong muốn cung cấp các sản phẩm chất lượng cao và tiết kiệm chi phí cho khách hàng trên toàn thế giới.*

Ống lò được phủ Semicorex CVD SiC là thành phần dạng ống cao cấp được sản xuất đặc biệt để xử lý chất bán dẫn ở nhiệt độ cao, chẳng hạn như oxy hóa, khuếch tán và ủ các tấm bán dẫn. Tận dụng các công nghệ xử lý tiên tiến và kinh nghiệm sản xuất trưởng thành, Semicorex cam kết cung cấp các ống lò phủ CVD SiC được gia công chính xác với chất lượng dẫn đầu thị trường cho các khách hàng quý giá của chúng tôi.