Vòng SiC CVD rắn

Chất rắn Dấu chấm phẩyCVD SiCcác vòng thường được gắn bên trong buồng phản ứng của thiết bị khắc, bao quanh mâm cặp tĩnh điện để đóng vai trò là rào cản quá trình và dẫn hướng năng lượng. Chúng có thể tập trung plasma trong buồng xung quanh tấm bán dẫn và ngăn chặn sự khuếch tán plasma ra bên ngoài, do đó cung cấp trường năng lượng phù hợp cho quá trình ăn mòn chính xác. Trường năng lượng đồng nhất và ổn định này có thể giảm thiểu một cách hiệu quả các rủi ro như khuyết tật của tấm bán dẫn, sự trôi dạt của quy trình và tổn thất năng suất của thiết bị bán dẫn do phân bổ năng lượng không đồng đều và biến dạng plasma ở rìa của tấm bán dẫn.

Ưu điểm vật liệu tuyệt vời

Vòng SiC CVD rắn Semicorex được sản xuất từ ​​SiC CVD có độ tinh khiết cao, mang lại lợi thế vật liệu tuyệt vời để đáp ứng đầy đủ các yêu cầu nghiêm ngặt về độ sạch cao và khả năng chống ăn mòn cao trong môi trường ăn mòn bán dẫn.

1. Độ tinh khiết cao

Độ tinh khiết của vòng SiC CVD rắn Semicorex có thể vượt quá 99,9999%, điều đó có nghĩa là các vòng gần như không có tạp chất bên trong. Độ tinh khiết vật liệu đặc biệt này giúp tránh được rất nhiều sự nhiễm bẩn không mong muốn của các tấm bán dẫn và buồng xử lý do tạp chất thoát ra trong quá trình ăn mòn chất bán dẫn.

2. Khả năng chống ăn mòn cao

Dấu chấm phẩyvòng SiC CVD rắncó thể duy trì tính toàn vẹn về cấu trúc và độ ổn định hiệu suất ngay cả khi chúng tiếp xúc với axit, kiềm và plasma mạnh nhờ khả năng chống ăn mòn vượt trội của CVD SiC, khiến chúng trở thành giải pháp lý tưởng cho môi trường xử lý ăn mòn khắc nghiệt.

3. Hiệu suất quản lý nhiệt đáng tin cậy

CVD SiC có tính năng dẫn nhiệt cao và hệ số giãn nở nhiệt tối thiểu, giúp các vòng SiC CVD rắn của Semicorex đạt được khả năng tản nhiệt nhanh và duy trì độ ổn định kích thước tuyệt vời trong quá trình vận hành.

4. Tính đồng nhất kháng chiến vượt trội

Các vòng SiC CVD rắn của Semicorex mang lại độ đồng đều điện trở đặc biệt với RRG < 5%.

Phạm vi điện trở suất: Độ phân giải thấp. (<0,02 Ω·cm), Độ phân giải trung bình. (0,2–25 Ω·cm), Độ phân giải cao. (>100 Ω·cm).

Kiểm soát chất lượng chính xác

Vòng SiC CVD rắn của Semicorex được xử lý và kiểm tra theo các tiêu chuẩn nghiêm ngặt để đáp ứng đầy đủ các yêu cầu nghiêm ngặt về độ chính xác và chất lượng của lĩnh vực Bán dẫn và vi điện tử.

Xử lý bề mặt: Độ chính xác đánh bóng là Ra < 0,1µm; độ chính xác mài mịn là Ra > 0,1µm

Độ chính xác xử lý được kiểm soát trong phạm vi 0,03 mm

Kiểm tra chất lượng: Các vòng SiC CVD rắn của Semicorex sẽ trải qua quá trình đo kích thước, kiểm tra điện trở suất và kiểm tra trực quan để đảm bảo sản phẩm không có chip, vết trầy xước, vết nứt, vết bẩn và các khuyết tật khác.