Đĩa hành tinh

Đĩa hành tinh là một chất mang bán dẫn và chất nhạy cảm mang tính cách mạng được thiết kế cho các quy trình Epit Wax chùm phân tử (MBE) trong lò lắng đọng hơi hóa học hữu cơ-kim loại (MOCVD). Được chế tạo từ vật liệu chất lượng cao, Đĩa hành tinh được thiết kế để nâng khả năng sản xuất chất bán dẫn của bạn lên một tầm cao mới.

Đĩa hành tinh được chế tạo tỉ mỉ từ than chì phủ CVD SiC, đảm bảo độ ổn định nhiệt đặc biệt, độ tinh khiết cao và khả năng chịu nhiệt độ khắc nghiệt. Thành phần vật liệu tiên tiến này đảm bảo hiệu suất vượt trội và tuổi thọ cao trong môi trường MOCVD đòi hỏi khắt khe.

Lớp phủ SiC CVD trên nền than chì giúp tăng cường tính dẫn nhiệt, thúc đẩy quá trình truyền nhiệt hiệu quả trong quá trình MOCVD. Tính năng này không chỉ đảm bảo cấu hình nhiệt độ nhất quán trên tấm bán dẫn mà còn góp phần giảm ứng suất nhiệt và cải thiện năng suất tổng thể.

Đĩa hành tinh được tùy chỉnh, tương thích với nhiều kích cỡ tấm bán dẫn khác nhau, khiến nó trở thành giải pháp linh hoạt cho các yêu cầu sản xuất khác nhau. Được chế tạo để đáp ứng nhu cầu khắt khe của lò nung MOCVD, Đĩa hành tinh thể hiện độ bền và độ tin cậy đặc biệt. Cấu trúc chắc chắn của nó đảm bảo hiệu suất lâu dài, giảm thời gian ngừng hoạt động và chi phí bảo trì liên quan đến chất mang bán dẫn và bộ phận nhạy cảm.