Tấm giữ vệ tinh Semicorex MOCVD là vật mang nổi bật được thiết kế để sử dụng trong ngành bán dẫn. Độ tinh khiết cao, khả năng chống ăn mòn tuyệt vời và thậm chí cả cấu hình nhiệt khiến nó trở thành sự lựa chọn tuyệt vời cho những ai đang tìm kiếm một chất mang có thể đáp ứng được nhu cầu của quy trình sản xuất chất bán dẫn. Chúng tôi cam kết cung cấp cho khách hàng những sản phẩm chất lượng cao đáp ứng các yêu cầu cụ thể của họ. Hãy liên hệ với chúng tôi ngay hôm nay để tìm hiểu thêm về Tấm giữ vệ tinh MOCVD của chúng tôi và cách chúng tôi có thể trợ giúp đáp ứng nhu cầu sản xuất chất bán dẫn của bạn.
Tấm giữ vệ tinh Semicorex MOCVD là vật mang chất lượng cao được thiết kế để sử dụng trong ngành bán dẫn. Sản phẩm của chúng tôi được phủ một lớp cacbua silic có độ tinh khiết cao trên than chì, giúp sản phẩm có khả năng chống oxy hóa cao ở nhiệt độ cao lên tới 1600°C. Quá trình lắng đọng hơi hóa học CVD được sử dụng trong quá trình sản xuất đảm bảo độ tinh khiết cao và khả năng chống ăn mòn tuyệt vời, khiến nó trở nên lý tưởng để sử dụng trong môi trường phòng sạch.
Các tính năng của Tấm giữ vệ tinh MOCVD của chúng tôi rất ấn tượng. Bề mặt dày đặc và các hạt mịn của nó tăng cường khả năng chống ăn mòn, làm cho nó có khả năng chống lại axit, kiềm, muối và thuốc thử hữu cơ. Sóng mang này có độ ổn định cao, ngay cả trong môi trường khắc nghiệt, khiến nó trở thành lựa chọn tuyệt vời cho những ai đang tìm kiếm sóng mang có thể đáp ứng được nhu cầu của ngành bán dẫn.
Thông số của tấm giữ vệ tinh MOCVD
Thông số kỹ thuật chính của lớp phủ CVD-SIC |
||
Thuộc tính SiC-CVD |
||
Cấu trúc tinh thể |
Giai đoạn FCC |
|
Tỉ trọng |
g/cm³ |
3.21 |
độ cứng |
Độ cứng Vickers |
2500 |
Kích thước hạt |
mm |
2~10 |
Độ tinh khiết hóa học |
% |
99.99995 |
Công suất nhiệt |
J kg-1 K-1 |
640 |
Nhiệt độ thăng hoa |
℃ |
2700 |
Sức mạnh cảm giác |
MPa (RT 4 điểm) |
415 |
Mô đun của Young |
Gpa (uốn cong 4pt, 1300oC) |
430 |
Giãn nở nhiệt (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Độ dẫn nhiệt |
(W/mK) |
300 |
Các tính năng của chất nhạy cảm than chì phủ SiC cho MOCVD
- Tránh bong tróc và đảm bảo phủ đều trên mọi bề mặt
Khả năng chống oxy hóa ở nhiệt độ cao: Ổn định ở nhiệt độ cao lên tới 1600°C
Độ tinh khiết cao: được tạo ra bằng cách lắng đọng hơi hóa học CVD trong điều kiện clo hóa ở nhiệt độ cao.
Chống ăn mòn: độ cứng cao, bề mặt dày đặc và các hạt mịn.
Chống ăn mòn: axit, kiềm, muối và thuốc thử hữu cơ.
- Đạt được mô hình dòng khí tầng tốt nhất
- Đảm bảo độ đồng đều của profile nhiệt
- Ngăn chặn mọi sự ô nhiễm hoặc khuếch tán tạp chất