Semicorex là một cái tên đáng tin cậy trong ngành công nghiệp bán dẫn, cung cấp Chất nhạy hành tinh MOCVD chất lượng cao cho Chất bán dẫn. Sản phẩm của chúng tôi được thiết kế để đáp ứng nhu cầu cụ thể của các nhà sản xuất chất bán dẫn đang tìm kiếm một nhà cung cấp dịch vụ có thể mang lại hiệu suất, độ ổn định và độ bền tuyệt vời. Liên hệ với chúng tôi ngay hôm nay để tìm hiểu thêm về sản phẩm của chúng tôi và cách chúng tôi có thể giúp bạn đáp ứng nhu cầu sản xuất chất bán dẫn của bạn.
MOCVD Planet Susceptor dành cho Chất bán dẫn của chúng tôi có khả năng chống oxy hóa ở nhiệt độ cao, đảm bảo tính ổn định của nó ở nhiệt độ cao lên đến 1600°C. Nó cũng có độ tinh khiết cao, được tạo ra bằng phương pháp lắng đọng hơi hóa học CVD trong điều kiện khử trùng bằng clo ở nhiệt độ cao, đảm bảo tính đồng nhất và nhất quán của sản phẩm, thậm chí cả biên dạng nhiệt và mô hình dòng khí tầng.
Liên hệ với chúng tôi ngay hôm nay để tìm hiểu thêm về MOCVD Planet Susceptor cho Chất bán dẫn của chúng tôi.
Các thông số của MOCVD Planet Susceptor cho chất bán dẫn
Thông số kỹ thuật chính của lớp phủ CVD-SIC |
||
Thuộc tính SiC-CVD |
||
Cấu trúc tinh thể |
Giai đoạn FCC β |
|
Tỉ trọng |
g/cm ³ |
3.21 |
độ cứng |
độ cứng Vickers |
2500 |
Kích thước hạt |
μm |
2~10 |
độ tinh khiết hóa học |
% |
99.99995 |
Nhiệt dung |
J·kg-1 ·K-1 |
640 |
Nhiệt độ thăng hoa |
℃ |
2700 |
Sức mạnh của Felexural |
MPa (RT 4 điểm) |
415 |
Mô đun Youngâs |
Gpa (uốn cong 4pt, 1300â) |
430 |
Giãn nở nhiệt (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Dẫn nhiệt |
(W/mK) |
300 |
Các tính năng của SiC Coated Graphite Susceptor cho MOCVD
- Tránh bong tróc và đảm bảo sơn phủ trên mọi bề mặt
Khả năng chống oxy hóa ở nhiệt độ cao: Ổn định ở nhiệt độ cao lên tới 1600°C
Độ tinh khiết cao: được thực hiện bằng cách lắng đọng hơi hóa học CVD trong điều kiện clo hóa ở nhiệt độ cao.
Chống ăn mòn: độ cứng cao, bề mặt dày đặc và các hạt mịn.
Chống ăn mòn: axit, kiềm, muối và thuốc thử hữu cơ.
- Đạt được mô hình dòng khí tốt nhất
- Đảm bảo độ đồng đều của biên dạng nhiệt
- Ngăn chặn bất kỳ ô nhiễm hoặc khuếch tán tạp chất