Hệ thống lò phản ứng Semicorex Liquid Phase Epitaxy (LPE) là một sản phẩm cải tiến mang lại hiệu suất nhiệt tuyệt vời, biên dạng nhiệt đồng đều và độ bám dính lớp phủ vượt trội. Độ tinh khiết cao, khả năng chống oxy hóa ở nhiệt độ cao và khả năng chống ăn mòn khiến nó trở thành lựa chọn lý tưởng để sử dụng trong ngành công nghiệp bán dẫn. Các tùy chọn có thể tùy chỉnh và hiệu quả về chi phí khiến nó trở thành một sản phẩm có tính cạnh tranh cao trên thị trường.
Hệ thống lò phản ứng Epitaxy pha lỏng (LPE) của chúng tôi là một sản phẩm có độ bền cao và đáng tin cậy mang lại giá trị tuyệt vời so với số tiền bỏ ra. Khả năng chống oxy hóa ở nhiệt độ cao, thậm chí cả cấu hình nhiệt và ngăn ngừa nhiễm bẩn làm cho nó trở nên lý tưởng cho sự phát triển của lớp epitaxy chất lượng cao. Yêu cầu bảo trì thấp và khả năng tùy biến làm cho nó trở thành một sản phẩm có tính cạnh tranh cao trên thị trường.
Tại Semicorex, chúng tôi tập trung vào việc cung cấp các sản phẩm chất lượng cao, tiết kiệm chi phí cho khách hàng. Hệ thống lò phản ứng Epitaxy pha lỏng (LPE) của chúng tôi có lợi thế về giá và được xuất khẩu sang nhiều thị trường Châu Âu và Châu Mỹ. Chúng tôi mong muốn trở thành đối tác lâu dài của bạn, cung cấp các sản phẩm chất lượng nhất quán và dịch vụ khách hàng đặc biệt.
Liên hệ với chúng tôi ngay hôm nay để tìm hiểu thêm về Hệ thống lò phản ứng Epitaxy pha lỏng (LPE) của chúng tôi.
Các thông số của Hệ thống lò phản ứng Epitaxy pha lỏng (LPE)
Thông số kỹ thuật chính của lớp phủ CVD-SIC |
||
Thuộc tính SiC-CVD |
||
Cấu trúc tinh thể |
Giai đoạn FCC β |
|
Tỉ trọng |
g/cm ³ |
3.21 |
độ cứng |
độ cứng Vickers |
2500 |
Kích thước hạt |
μm |
2~10 |
độ tinh khiết hóa học |
% |
99.99995 |
Nhiệt dung |
J·kg-1 ·K-1 |
640 |
Nhiệt độ thăng hoa |
℃ |
2700 |
Sức mạnh của Felexural |
MPa (RT 4 điểm) |
415 |
Mô đun Youngâs |
Gpa (uốn cong 4pt, 1300â) |
430 |
Giãn nở nhiệt (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Dẫn nhiệt |
(W/mK) |
300 |
Đặc điểm của hệ thống lò phản ứng Epitaxy pha lỏng (LPE)
- Cả lớp nền than chì và lớp cacbua silic đều có mật độ tốt và có thể đóng vai trò bảo vệ tốt trong môi trường làm việc có nhiệt độ cao và ăn mòn.
- Chất nhạy phủ cacbua silic dùng cho tăng trưởng đơn tinh thể có độ phẳng bề mặt rất cao.
- Giảm sự khác biệt về hệ số giãn nở nhiệt giữa lớp nền than chì và lớp cacbua silic, cải thiện hiệu quả độ bền liên kết để ngăn ngừa nứt và tách lớp.
- Cả lớp nền than chì và lớp cacbua silic đều có độ dẫn nhiệt cao và đặc tính phân phối nhiệt tuyệt vời.
- Điểm nóng chảy cao, chống oxy hóa ở nhiệt độ cao, chống ăn mòn.