Hệ thống Epi thùng được làm nóng bằng cảm ứng

Nếu bạn cần một chất nhạy cảm than chì có đặc tính dẫn nhiệt và phân phối nhiệt đặc biệt, thì không cần tìm đâu xa ngoài Hệ thống Epi Thùng gia nhiệt cảm ứng Semicorex. Lớp phủ SiC có độ tinh khiết cao mang lại khả năng bảo vệ vượt trội trong môi trường ăn mòn và nhiệt độ cao, khiến nó trở thành lựa chọn lý tưởng để sử dụng trong các ứng dụng sản xuất chất bán dẫn.

Gửi yêu cầu

Mô tả Sản phẩm

Hệ thống Epi thùng được làm nóng bằng cảm ứng Semicorex là sự lựa chọn hoàn hảo cho các ứng dụng sản xuất chất bán dẫn yêu cầu phân phối nhiệt và dẫn nhiệt đặc biệt. Lớp phủ SiC có độ tinh khiết cao và mật độ vượt trội mang lại đặc tính bảo vệ và phân phối nhiệt vượt trội, đảm bảo hiệu suất ổn định và đáng tin cậy ngay cả trong những môi trường khó khăn nhất.
Tại Semicorex, chúng tôi tập trung vào việc cung cấp các sản phẩm chất lượng cao, tiết kiệm chi phí cho khách hàng. Hệ thống Epi Thùng gia nhiệt cảm ứng của chúng tôi có lợi thế về giá và được xuất khẩu sang nhiều thị trường Châu Âu và Châu Mỹ. Chúng tôi mong muốn trở thành đối tác lâu dài của bạn, cung cấp các sản phẩm chất lượng ổn định và dịch vụ khách hàng đặc biệt.

Các thông số của hệ thống Epi thùng được làm nóng bằng cảm ứng

Thông số kỹ thuật chính của lớp phủ CVD-SIC
Thuộc tính SiC-CVD
Cấu trúc tinh thể	Giai đoạn FCC
Tỉ trọng	g/cm³	3.21
độ cứng	Độ cứng Vickers	2500
Kích thước hạt	mm	2~10
Độ tinh khiết hóa học	%	99.99995
Công suất nhiệt	J kg-1 K-1	640
Nhiệt độ thăng hoa	℃	2700
Sức mạnh cảm giác	MPa (RT 4 điểm)	415
Mô đun của Young	Gpa (uốn cong 4pt, 1300oC)	430
Giãn nở nhiệt (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Độ dẫn nhiệt	(W/mK)	300

Các tính năng của hệ thống Epi thùng được làm nóng bằng cảm ứng

- Cả chất nền than chì và lớp cacbua silic đều có mật độ tốt và có thể đóng vai trò bảo vệ tốt trong môi trường làm việc ở nhiệt độ cao và ăn mòn.

- Chất nhạy được phủ cacbua silic dùng cho nuôi cấy đơn tinh thể có độ phẳng bề mặt rất cao.

- Giảm sự chênh lệch về hệ số giãn nở nhiệt giữa lớp nền than chì và lớp cacbua silic, cải thiện hiệu quả độ bền liên kết để ngăn ngừa nứt và tách lớp.

- Cả chất nền than chì và lớp cacbua silic đều có tính dẫn nhiệt cao và đặc tính phân bổ nhiệt tuyệt vời.

- Điểm nóng chảy cao, khả năng chống oxy hóa ở nhiệt độ cao, chống ăn mòn.