Nếu bạn cần một chất nhạy cảm than chì với các đặc tính dẫn nhiệt và phân phối nhiệt đặc biệt, thì không đâu khác ngoài Hệ thống Epi thùng được làm nóng bằng cảm ứng Semicorex cho LPE Epitaxy. Lớp phủ SiC có độ tinh khiết cao của nó cung cấp khả năng bảo vệ vượt trội trong môi trường ăn mòn và nhiệt độ cao, làm cho nó trở thành lựa chọn lý tưởng để sử dụng trong các ứng dụng sản xuất chất bán dẫn.
Hệ thống Epi thùng gia nhiệt cảm ứng Semicorex dành cho LPE Epitaxy là sự lựa chọn hoàn hảo cho các ứng dụng sản xuất chất bán dẫn đòi hỏi khả năng phân phối nhiệt và độ dẫn nhiệt đặc biệt. Lớp phủ SiC có độ tinh khiết cao và mật độ vượt trội của nó cung cấp các đặc tính phân phối nhiệt và bảo vệ vượt trội, đảm bảo hiệu suất ổn định và đáng tin cậy ngay cả trong những môi trường khó khăn nhất.
Tại Semicorex, chúng tôi tập trung vào việc cung cấp các sản phẩm chất lượng cao, tiết kiệm chi phí cho khách hàng. Hệ thống Epi thùng làm nóng bằng cảm ứng của chúng tôi dành cho LPE Epitaxy có lợi thế về giá và được xuất khẩu sang nhiều thị trường Châu Âu và Châu Mỹ. Chúng tôi mong muốn trở thành đối tác lâu dài của bạn, cung cấp các sản phẩm chất lượng nhất quán và dịch vụ khách hàng đặc biệt.
Các thông số của Hệ thống Epi thùng được làm nóng bằng cảm ứng cho LPE Epitaxy
Thông số kỹ thuật chính của lớp phủ CVD-SIC |
||
Thuộc tính SiC-CVD |
||
Cấu trúc tinh thể |
Giai đoạn FCC β |
|
Tỉ trọng |
g/cm ³ |
3.21 |
độ cứng |
độ cứng Vickers |
2500 |
Kích thước hạt |
μm |
2~10 |
độ tinh khiết hóa học |
% |
99.99995 |
Nhiệt dung |
J·kg-1 ·K-1 |
640 |
Nhiệt độ thăng hoa |
℃ |
2700 |
Sức mạnh của Felexural |
MPa (RT 4 điểm) |
415 |
Mô đun Youngâs |
Gpa (uốn cong 4pt, 1300â) |
430 |
Giãn nở nhiệt (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Dẫn nhiệt |
(W/mK) |
300 |
Các tính năng của Hệ thống Epi thùng được làm nóng bằng cảm ứng cho LPE Epitaxy
- Cả lớp nền than chì và lớp cacbua silic đều có mật độ tốt và có thể đóng vai trò bảo vệ tốt trong môi trường làm việc có nhiệt độ cao và ăn mòn.
- Chất nhạy phủ cacbua silic dùng cho tăng trưởng đơn tinh thể có độ phẳng bề mặt rất cao.
- Giảm sự khác biệt về hệ số giãn nở nhiệt giữa lớp nền than chì và lớp cacbua silic, cải thiện hiệu quả độ bền liên kết để ngăn ngừa nứt và tách lớp.
- Cả lớp nền than chì và lớp cacbua silic đều có độ dẫn nhiệt cao và đặc tính phân phối nhiệt tuyệt vời.
- Điểm nóng chảy cao, chống oxy hóa ở nhiệt độ cao, chống ăn mòn.