Susceptor thùng tráng SiC nhiệt độ cao

Khi nói đến sản xuất chất bán dẫn, Chất nhạy thùng phủ SiC nhiệt độ cao Semicorex là lựa chọn hàng đầu cho hiệu suất và độ tin cậy vượt trội. Lớp phủ SiC chất lượng cao và khả năng dẫn nhiệt đặc biệt khiến nó trở nên lý tưởng để sử dụng ngay cả trong những môi trường ăn mòn và nhiệt độ cao đòi hỏi khắt khe nhất.

Gửi yêu cầu

Mô tả Sản phẩm

Chất nhạy thùng phủ SiC nhiệt độ cao Semicorex là sự lựa chọn hoàn hảo cho sự tăng trưởng đơn tinh thể và các ứng dụng sản xuất chất bán dẫn khác đòi hỏi khả năng chống ăn mòn và nhiệt độ cao. Lớp phủ cacbua silic của nó cung cấp các đặc tính phân phối nhiệt và bảo vệ vượt trội, đảm bảo hiệu suất ổn định và đáng tin cậy ngay cả trong những môi trường khó khăn nhất.

Tại Semicorex, chúng tôi tập trung vào việc cung cấp chất lượng cao, chất lượng cao, hiệu quả về chi phí, chúng tôi ưu tiên sự hài lòng của khách hàng và cung cấp các giải pháp tiết kiệm chi phí. Chúng tôi mong muốn trở thành đối tác lâu dài của bạn, cung cấp các sản phẩm chất lượng cao và dịch vụ khách hàng đặc biệt.

Các thông số của Susceptor thùng tráng SiC nhiệt độ cao

Thông số kỹ thuật chính của lớp phủ CVD-SIC
Thuộc tính SiC-CVD
Cấu trúc tinh thể	Giai đoạn FCC Î²
Tỉ trọng	g/cm ³	3.21
độ cứng	độ cứng Vickers	2500
Kích thước hạt	Î¼m	2~10
độ tinh khiết hóa học	%	99.99995
Nhiệt dung	J·kg-1 ·K-1	640
Nhiệt độ thăng hoa	℃	2700
Sức mạnh của Felexural	MPa (RT 4 điểm)	415
Mô đun Youngâs	Gpa (uốn cong 4pt, 1300â)	430
Giãn nở nhiệt (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Dẫn nhiệt	(W/mK)	300

Các tính năng của Susceptor thùng tráng SiC nhiệt độ cao

- Cả lớp nền than chì và lớp cacbua silic đều có mật độ tốt và có thể đóng vai trò bảo vệ tốt trong môi trường làm việc có nhiệt độ cao và ăn mòn.

- Chất nhạy phủ cacbua silic dùng cho tăng trưởng đơn tinh thể có độ phẳng bề mặt rất cao.

- Giảm sự khác biệt về hệ số giãn nở nhiệt giữa lớp nền than chì và lớp cacbua silic, cải thiện hiệu quả độ bền liên kết để ngăn ngừa nứt và tách lớp.

- Cả lớp nền than chì và lớp cacbua silic đều có độ dẫn nhiệt cao và đặc tính phân phối nhiệt tuyệt vời.

- Điểm nóng chảy cao, chống oxy hóa ở nhiệt độ cao, chống ăn mòn.