Susceptor thùng tráng SiC bền cho LPE

Với mật độ và độ dẫn nhiệt tuyệt vời, Chất nhạy thùng phủ SiC bền Semicorex cho LPE là lựa chọn lý tưởng để sử dụng trong các quy trình LPE và các ứng dụng sản xuất chất bán dẫn khác. Lớp phủ SiC có độ tinh khiết cao của nó cung cấp các đặc tính phân phối nhiệt và bảo vệ vượt trội, khiến nó trở thành lựa chọn hàng đầu cho kết quả ổn định và đáng tin cậy.

Gửi yêu cầu

Mô tả Sản phẩm

Nếu bạn cần một chất nhạy cảm than chì chất lượng cao với khả năng chống ăn mòn và nhiệt vượt trội, thì không đâu khác ngoài Chất nhạy cảm thùng phủ SiC bền Semicorex cho LPE. Lớp phủ cacbua silic của nó cung cấp khả năng dẫn nhiệt và phân phối nhiệt đặc biệt, đảm bảo hiệu suất ổn định và đáng tin cậy ngay cả trong những môi trường nhiệt độ cao đòi hỏi khắt khe nhất.

Thiết bị nhạy thùng phủ SiC bền cho LPE của chúng tôi được thiết kế để đạt được mô hình dòng khí thành lớp tốt nhất, đảm bảo sự đồng đều của biên dạng nhiệt. Điều này giúp ngăn ngừa bất kỳ sự nhiễm bẩn hoặc khuếch tán tạp chất nào, đảm bảo sự tăng trưởng epiticular chất lượng cao trên chip wafer.

Liên hệ với chúng tôi ngay hôm nay để tìm hiểu thêm về Susceptor thùng phủ SiC bền cho LPE của chúng tôi.

Các thông số của Susceptor thùng tráng SiC bền cho LPE

Thông số kỹ thuật chính của lớp phủ CVD-SIC
Thuộc tính SiC-CVD
Cấu trúc tinh thể	Giai đoạn FCC Î²
Tỉ trọng	g/cm ³	3.21
độ cứng	độ cứng Vickers	2500
Kích thước hạt	Î¼m	2~10
độ tinh khiết hóa học	%	99.99995
Nhiệt dung	J·kg-1 ·K-1	640
Nhiệt độ thăng hoa	℃	2700
Sức mạnh của Felexural	MPa (RT 4 điểm)	415
Mô đun Youngâs	Gpa (uốn cong 4pt, 1300â)	430
Giãn nở nhiệt (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Dẫn nhiệt	(W/mK)	300

Các tính năng của Susceptor thùng tráng SiC bền cho LPE

- Cả lớp nền than chì và lớp cacbua silic đều có mật độ tốt và có thể đóng vai trò bảo vệ tốt trong môi trường làm việc có nhiệt độ cao và ăn mòn.

- Chất nhạy phủ cacbua silic dùng cho tăng trưởng đơn tinh thể có độ phẳng bề mặt rất cao.

- Giảm sự khác biệt về hệ số giãn nở nhiệt giữa lớp nền than chì và lớp cacbua silic, cải thiện hiệu quả độ bền liên kết để ngăn ngừa nứt và tách lớp.

- Cả lớp nền than chì và lớp cacbua silic đều có độ dẫn nhiệt cao và đặc tính phân phối nhiệt tuyệt vời.

- Điểm nóng chảy cao, chống oxy hóa ở nhiệt độ cao, chống ăn mòn.