Chất nhạy cảm thùng Silicon Carbide tráng Graphite

Semicorex Barrel Susceptor Silicon Carbide Coated Graphite là một thành phần chuyên dụng được thiết kế để sử dụng trong quy trình epit Wax, đặc biệt là trong việc vận chuyển các tấm bán dẫn. Than chì phủ silicon cacbua có khả năng nhạy cảm thùng này được chế tạo từ vật liệu than chì, được biết đến với tính dẫn nhiệt tuyệt vời và ổn định ở nhiệt độ cao. Để nâng cao hiệu suất và độ bền, bề mặt than chì được phủ một lớp cacbua silic (SiC).

Lớp phủ cacbua silic của Than chì phủ cacbua silic có khả năng nhạy cảm thùng phục vụ một số mục đích quan trọng trong bối cảnh này. Đầu tiên, nó cung cấp một lớp bảo vệ bổ sung cho chất nền than chì bên dưới, bảo vệ nó khỏi các phản ứng hóa học và sự mài mòn có thể xảy ra trong quá trình epitaxy. Thứ hai, lớp phủ SiC tăng cường các đặc tính nhiệt của than chì phủ silicon cacbua có khả năng cảm ứng thùng, cho phép gia nhiệt các tấm bán dẫn hiệu quả và đồng đều. Việc gia nhiệt đồng đều này là cần thiết để đạt được các lớp epiticular nhất quán và chất lượng cao trên các tấm bán dẫn.

Thiết kế của Barrel Susceptor Silicon Carbide Coated Graphite được tối ưu hóa để giữ và vận chuyển nhiều tấm wafer một cách an toàn trong suốt quá trình epit Wax. Cấu trúc dạng thùng của nó cho phép dễ dàng tải và dỡ các tấm bán dẫn trong khi vẫn đảm bảo phân phối nhiệt thích hợp và ổn định nhiệt trong quá trình vận hành.

Nhìn chung, Than chì phủ silicon cacbua có khả năng nhạy cảm thùng là một thành phần quan trọng trong thiết bị epit Wax, mang lại độ tin cậy, độ bền và khả năng kiểm soát nhiệt chính xác cần thiết cho việc sản xuất các thiết bị bán dẫn tiên tiến.