Nếu bạn cần một chất nhạy cảm than chì có thể hoạt động đáng tin cậy và nhất quán ngay cả trong những môi trường ăn mòn và nhiệt độ cao đòi hỏi khắt khe nhất, thì Chất nhạy cảm dạng thùng Semicorex cho Epitaxy pha lỏng là sự lựa chọn hoàn hảo. Lớp phủ cacbua silic của nó cung cấp khả năng dẫn nhiệt và phân phối nhiệt tuyệt vời, đảm bảo hiệu suất vượt trội trong các ứng dụng sản xuất chất bán dẫn.
Chất nhạy thùng Semicorex cho Epitaxy pha lỏng là lựa chọn phù hợp cho các ứng dụng sản xuất chất bán dẫn đòi hỏi khả năng chống ăn mòn và nhiệt độ cao. Lớp phủ SiC có độ tinh khiết cao và tính dẫn nhiệt đặc biệt của nó mang lại các đặc tính phân phối nhiệt và bảo vệ ưu việt, đảm bảo hiệu suất ổn định và đáng tin cậy ngay cả trong những môi trường khắc nghiệt nhất.
Thiết bị nhạy thùng cho Epitaxy pha lỏng của chúng tôi được thiết kế để đạt được mô hình dòng khí theo lớp tốt nhất, đảm bảo sự đồng đều của biên dạng nhiệt. Điều này giúp ngăn ngừa bất kỳ sự nhiễm bẩn hoặc khuếch tán tạp chất nào, đảm bảo sự tăng trưởng epiticular chất lượng cao trên chip wafer.
Liên hệ với chúng tôi ngay hôm nay để tìm hiểu thêm về Chất nhạy thùng cho Epitaxy pha lỏng.
Các thông số của chất nhạy thùng cho Epitaxy pha lỏng
Thông số kỹ thuật chính của lớp phủ CVD-SIC |
||
Thuộc tính SiC-CVD |
||
Cấu trúc tinh thể |
Giai đoạn FCC β |
|
Tỉ trọng |
g/cm ³ |
3.21 |
độ cứng |
độ cứng Vickers |
2500 |
Kích thước hạt |
μm |
2~10 |
độ tinh khiết hóa học |
% |
99.99995 |
Nhiệt dung |
J·kg-1 ·K-1 |
640 |
Nhiệt độ thăng hoa |
℃ |
2700 |
Sức mạnh của Felexural |
MPa (RT 4 điểm) |
415 |
Mô đun Youngâs |
Gpa (uốn cong 4pt, 1300â) |
430 |
Giãn nở nhiệt (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Dẫn nhiệt |
(W/mK) |
300 |
Các tính năng của Barrel Susceptor cho Epitaxy pha lỏng
- Cả lớp nền than chì và lớp cacbua silic đều có mật độ tốt và có thể đóng vai trò bảo vệ tốt trong môi trường làm việc có nhiệt độ cao và ăn mòn.
- Chất nhạy phủ cacbua silic dùng cho tăng trưởng đơn tinh thể có độ phẳng bề mặt rất cao.
- Giảm sự khác biệt về hệ số giãn nở nhiệt giữa lớp nền than chì và lớp cacbua silic, cải thiện hiệu quả độ bền liên kết để ngăn ngừa nứt và tách lớp.
- Cả lớp nền than chì và lớp cacbua silic đều có độ dẫn nhiệt cao và đặc tính phân phối nhiệt tuyệt vời.
- Điểm nóng chảy cao, chống oxy hóa ở nhiệt độ cao, chống ăn mòn.