Chất nhạy cảm thùng cho Epitaxy pha lỏng

Nếu bạn cần một chất nhạy cảm than chì có thể hoạt động đáng tin cậy và nhất quán ngay cả trong những môi trường ăn mòn và nhiệt độ cao đòi hỏi khắt khe nhất thì Chất nhạy cảm thùng Semicorex cho Epit Wax pha lỏng là sự lựa chọn hoàn hảo. Lớp phủ cacbua silic của nó mang lại khả năng dẫn nhiệt và phân phối nhiệt tuyệt vời, đảm bảo hiệu suất vượt trội trong các ứng dụng sản xuất chất bán dẫn.

Gửi yêu cầu

Mô tả Sản phẩm

Chất nhạy cảm thùng Semicorex cho Epit Wax pha lỏng là lựa chọn phù hợp cho các ứng dụng sản xuất chất bán dẫn yêu cầu khả năng chịu nhiệt và ăn mòn cao. Lớp phủ SiC có độ tinh khiết cao và tính dẫn nhiệt đặc biệt của nó mang lại đặc tính bảo vệ và phân phối nhiệt vượt trội, đảm bảo hiệu suất ổn định và đáng tin cậy ngay cả trong những môi trường khó khăn nhất.

Thiết bị nhạy cảm thùng cho Epit Wax pha lỏng của chúng tôi được thiết kế để đạt được mô hình dòng khí tầng tốt nhất, đảm bảo độ đồng đều của biên dạng nhiệt. Điều này giúp ngăn ngừa bất kỳ sự nhiễm bẩn hoặc khuếch tán tạp chất nào, đảm bảo sự phát triển epiticular chất lượng cao trên chip wafer.

Hãy liên hệ với chúng tôi ngay hôm nay để tìm hiểu thêm về Chất nhạy cảm thùng cho Epitaxy pha lỏng.

Các thông số của chất nhạy cảm thùng cho Epit Wax pha lỏng

Thông số kỹ thuật chính của lớp phủ CVD-SIC
Thuộc tính SiC-CVD
Cấu trúc tinh thể	Giai đoạn FCC
Tỉ trọng	g/cm³	3.21
độ cứng	Độ cứng Vickers	2500
Kích thước hạt	mm	2~10
Độ tinh khiết hóa học	%	99.99995
Công suất nhiệt	J kg-1 K-1	640
Nhiệt độ thăng hoa	℃	2700
Sức mạnh cảm giác	MPa (RT 4 điểm)	415
Mô đun của Young	Gpa (uốn cong 4pt, 1300oC)	430
Giãn nở nhiệt (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Độ dẫn nhiệt	(W/mK)	300

Các tính năng của chất nhạy cảm thùng cho Epit Wax pha lỏng

- Cả chất nền than chì và lớp cacbua silic đều có mật độ tốt và có thể đóng vai trò bảo vệ tốt trong môi trường làm việc ở nhiệt độ cao và ăn mòn.

- Chất nhạy được phủ cacbua silic dùng cho nuôi cấy đơn tinh thể có độ phẳng bề mặt rất cao.

- Giảm sự chênh lệch về hệ số giãn nở nhiệt giữa lớp nền than chì và lớp cacbua silic, cải thiện hiệu quả độ bền liên kết để ngăn ngừa nứt và tách lớp.

- Cả chất nền than chì và lớp cacbua silic đều có tính dẫn nhiệt cao và đặc tính phân bổ nhiệt tuyệt vời.

- Điểm nóng chảy cao, khả năng chống oxy hóa ở nhiệt độ cao, chống ăn mòn.