Hệ thống Epi nhận thùng

Semicorex Barrel Susceptor Epi System là sản phẩm chất lượng cao mang lại độ bám dính lớp phủ vượt trội, độ tinh khiết cao và khả năng chống oxy hóa ở nhiệt độ cao. Cấu hình nhiệt đều, mô hình dòng khí tầng và khả năng ngăn ngừa ô nhiễm khiến nó trở thành lựa chọn lý tưởng cho sự phát triển của các lớp epixial trên chip wafer. Hiệu quả chi phí và khả năng tùy biến của nó làm cho nó trở thành một sản phẩm có tính cạnh tranh cao trên thị trường.

Gửi yêu cầu

Mô tả Sản phẩm

Hệ thống Epi cảm biến thùng của chúng tôi là một sản phẩm có tính sáng tạo cao mang lại hiệu suất nhiệt tuyệt vời, thậm chí cả cấu hình nhiệt và độ bám dính lớp phủ vượt trội. Độ tinh khiết cao, khả năng chống oxy hóa ở nhiệt độ cao và khả năng chống ăn mòn khiến nó trở thành sản phẩm có độ tin cậy cao để sử dụng trong ngành bán dẫn. Khả năng ngăn ngừa ô nhiễm, tạp chất và yêu cầu bảo trì thấp khiến nó trở thành sản phẩm có tính cạnh tranh cao trên thị trường.
Tại Semicorex, chúng tôi tập trung vào việc cung cấp các sản phẩm chất lượng cao, tiết kiệm chi phí cho khách hàng. Hệ thống Epi cảm thụ thùng của chúng tôi có lợi thế về giá và được xuất khẩu sang nhiều thị trường Châu Âu và Châu Mỹ. Chúng tôi mong muốn trở thành đối tác lâu dài của bạn, cung cấp các sản phẩm chất lượng ổn định và dịch vụ khách hàng đặc biệt.
Hãy liên hệ với chúng tôi ngay hôm nay để tìm hiểu thêm về Hệ thống Epi cảm thụ thùng của chúng tôi.

Các thông số của hệ thống Epi nhạy cảm thùng

Thông số kỹ thuật chính của lớp phủ CVD-SIC
Thuộc tính SiC-CVD
Cấu trúc tinh thể	Giai đoạn FCC
Tỉ trọng	g/cm³	3.21
độ cứng	Độ cứng Vickers	2500
Kích thước hạt	mm	2~10
Độ tinh khiết hóa học	%	99.99995
Công suất nhiệt	J kg-1 K-1	640
Nhiệt độ thăng hoa	℃	2700
Sức mạnh cảm giác	MPa (RT 4 điểm)	415
Mô đun của Young	Gpa (uốn cong 4pt, 1300oC)	430
Giãn nở nhiệt (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Độ dẫn nhiệt	(W/mK)	300

Các tính năng của hệ thống Epi cảm thụ thùng

- Cả chất nền than chì và lớp cacbua silic đều có mật độ tốt và có thể đóng vai trò bảo vệ tốt trong môi trường làm việc ở nhiệt độ cao và ăn mòn.

- Chất nhạy được phủ cacbua silic dùng cho nuôi cấy đơn tinh thể có độ phẳng bề mặt rất cao.

- Giảm sự chênh lệch về hệ số giãn nở nhiệt giữa lớp nền than chì và lớp cacbua silic, cải thiện hiệu quả độ bền liên kết để ngăn ngừa nứt và tách lớp.

- Cả chất nền than chì và lớp cacbua silic đều có tính dẫn nhiệt cao và đặc tính phân bổ nhiệt tuyệt vời.

- Điểm nóng chảy cao, khả năng chống oxy hóa ở nhiệt độ cao, chống ăn mòn.