Bộ cảm biến wafer than chì 1x2"

Các bộ phận nhạy cảm với tấm wafer than chì Semicorex 1x2" là bộ phận mang hiệu suất cao được thiết kế đặc biệt cho các tấm bán dẫn 2 inch, rất phù hợp cho quy trình epiticular của các tấm bán dẫn. Chọn Semicorex vì độ tinh khiết của vật liệu hàng đầu trong ngành, kỹ thuật chính xác và độ tin cậy chưa từng có trong các môi trường tăng trưởng epiticular đòi hỏi khắt khe.

Gửi yêu cầu

Mô tả Sản phẩm

Trong quá trình chế tạo tấm bán dẫn, lớp epiticular cần phải được phát triển trên đế tấm bán dẫn để chế tạo các thiết bị bán dẫn tiếp theo. Do quá trình tăng trưởng epiticular rất nhạy cảm với sự dao động nhiệt độ và ô nhiễm, nên việc lựa chọn đáng tin cậychất nhạy cảm waferlà cực kỳ quan trọng. Là bộ phận hỗ trợ không thể thiếu trong quy trình epiticular wafer, độ chính xác gia công, khả năng quản lý nhiệt và hiệu suất chống nhiễm bẩn là những yếu tố quan trọng để đạt được sự tăng trưởng epiticular wafer chất lượng cao.

1x2

Chức năng của chất nhạy cảm với tấm wafer than chì Semicorex 1x2"

Được làm từ hạt siêu mịn, than chì có độ tinh khiết cao làm ma trận với lớp phủ cacbua silic dày đặc thông qua các quy trình đặc biệt, chất nhạy cảm wafer than chì Semicorex 1x2" cung cấp các chức năng sau:

1. Giữ an toàn và cũ

Semicorex 1x2"than chìchất nhạy cảm wafer có tính năng gia công và xử lý chính xác, mang lại độ phẳng bề mặt đặc biệt và độ chính xác kích thước. Điều này đảm bảo chúng được cố định chắc chắn ở vị trí phù hợp và cung cấp nền tảng hỗ trợ phẳng, ổn định cho sự phát triển của tấm wafer epiticular.

2. Phân phối nhiệt đồng đều chính xác

Với khả năng dẫn nhiệt tuyệt vời của vật liệu than chì và SiC, chất nhạy cảm tấm wafer than chì Semicorex 1x2" cung cấp khả năng phân phối nhiệt nhanh chóng và đồng đều trên chất bán dẫn. Bằng cách giảm thiểu độ dốc nhiệt độ, chất nhạy cảm tấm wafer than chì Semicorex 1x2" có thể tránh được một cách hiệu quả các vấn đề như chất lượng epiticular không đồng đều và nồng độ ứng suất.

Ưu điểm của lớp phủ silicon cacbua Semicorex

1. Khả năng chống ăn mòn cao

Được bao phủ bởi lớp phủ cacbua silic dày đặc, các tấm wafer than chì Semicorex 1x2" có khả năng chống lại hầu hết các loại hóa chất một cách hiệu quả, khiến chúng phù hợp cho các ứng dụng trong điều kiện hoạt động có tính ăn mòn cao, nơi vật liệu thường xuyên tiếp xúc với khí ăn mòn và hơi hóa chất.

2. Đổ hạt thấp

Dấu chấm phẩylớp phủ cacbua siliccó độ bền liên kết cao với ma trận than chì, có thể tránh được đáng kể nguy cơ ô nhiễm chất nền do bong lớp phủ do ăn mòn và bụi phóng xạ do môi trường ăn mòn cao gây ra.

3. Tuổi thọ dịch vụ đáng tin cậy

Mặc dù ma trận than chì có độ ổn định nhiệt và độ bền cơ học tuyệt vời, nhưng nó dễ bị ăn mòn và nghiền thành bột trong điều kiện vận hành của quy trình epiticular, làm giảm đáng kể tuổi thọ của ma trận than chì không tráng phủ. Bằng cách bao bọc hoàn toàn các ma trận than chì bằng lớp phủ SiC dày đặc, các bộ phận nhạy cảm với tấm wafer than chì 1×2" của chúng tôi đạt được độ bền vượt trội và đáng tin cậy.

Dữ liệu vật liệu của lớp phủ Semicorex SiC

Tính chất điển hình	Đơn vị	Giá trị
Kết cấu	/	Giai đoạn FCC
Định hướng	Phân số (%)	111 ưu tiên
Mật độ lớn	g/cm³	3.21
độ cứng	Độ cứng Vickers	2500
Công suất nhiệt	J·kg⁻¹·K⁻¹	640
Giãn nở nhiệt 100–600 °C (212–1112 °F)	10⁻⁶K⁻¹	4.5
Mô đun Young	Gpa (uốn cong 4pt, 1300°C)	430
Kích thước hạt	ừm	2 – 10
Nhiệt độ thăng hoa	°C	2700
Độ bền uốn	MPa (RT 4 điểm)	415
Độ dẫn nhiệt	(W/mK)	300