Hoàn hảo cho các ứng dụng xử lý tấm bán dẫn và in thạch bản thế hệ tiếp theo, các thành phần gốm siêu tinh khiết Semicorex đảm bảo mức độ nhiễm bẩn tối thiểu và mang lại hiệu suất tuổi thọ đặc biệt dài. Máy hút chân không wafer của chúng tôi có lợi thế về giá tốt và bao phủ nhiều thị trường Châu Âu và Châu Mỹ. Chúng tôi mong muốn trở thành đối tác lâu dài của bạn tại Trung Quốc.
Kẹp chân không bằng gốm siêu phẳng Semicorex được phủ SiC có độ tinh khiết cao sử dụng trong quy trình xử lý wafer. Máy kẹp chân không bán dẫn wafer của thiết bị MOCVD Tăng trưởng hợp chất có khả năng chịu nhiệt và ăn mòn cao, có độ ổn định cao trong môi trường khắc nghiệt và cải thiện quản lý năng suất để xử lý wafer bán dẫn. Cấu hình tiếp xúc bề mặt thấp giảm thiểu nguy cơ có các hạt ở mặt sau đối với các ứng dụng nhạy cảm.
Tại Semicorex, chúng tôi tập trung vào việc cung cấp Bộ kẹp chân không wafer chất lượng cao, tiết kiệm chi phí, chúng tôi ưu tiên sự hài lòng của khách hàng và cung cấp các giải pháp tiết kiệm chi phí. Chúng tôi mong muốn trở thành đối tác lâu dài của bạn, cung cấp các sản phẩm chất lượng cao và dịch vụ khách hàng đặc biệt.
Các thông số của mâm cặp chân không wafer
Thông số kỹ thuật chính của lớp phủ CVD-SIC |
||
Thuộc tính SiC-CVD |
||
Cấu trúc tinh thể |
Giai đoạn FCC |
|
Tỉ trọng |
g/cm³ |
3.21 |
độ cứng |
Độ cứng Vickers |
2500 |
Kích thước hạt |
mm |
2~10 |
Độ tinh khiết hóa học |
% |
99.99995 |
Công suất nhiệt |
J kg-1 K-1 |
640 |
Nhiệt độ thăng hoa |
℃ |
2700 |
Sức mạnh cảm giác |
MPa (RT 4 điểm) |
415 |
Mô đun của Young |
Gpa (uốn cong 4pt, 1300oC) |
430 |
Giãn nở nhiệt (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Độ dẫn nhiệt |
(W/mK) |
300 |
Các tính năng của Chuck hút chân không wafer
● Khả năng siêu phẳng
● Đánh bóng gương
● Trọng lượng nhẹ đặc biệt
● Độ cứng cao
● Độ giãn nở nhiệt thấp
● Φ Đường kính 300 mm trở lên
● Khả năng chống mài mòn cực cao