Hoàn hảo cho các ứng dụng in thạch bản và xử lý wafer thế hệ tiếp theo, các thành phần gốm siêu tinh khiết của Semicorex đảm bảo mức độ nhiễm bẩn tối thiểu và mang lại hiệu suất tuổi thọ đặc biệt lâu dài. Mâm cặp chân không wafer của chúng tôi có lợi thế về giá tốt và bao phủ nhiều thị trường Châu Âu và Châu Mỹ. Chúng tôi mong muốn trở thành đối tác lâu dài của bạn tại Trung Quốc.
Mâm cặp chân không wafer gốm siêu phẳng Semicorex được phủ SiC có độ tinh khiết cao được sử dụng trong quy trình xử lý wafer. Mâm cặp chân không wafer bán dẫn của thiết bị MOCVD Tăng trưởng hợp chất có khả năng chịu nhiệt và ăn mòn cao, có độ ổn định cao trong môi trường khắc nghiệt và cải thiện quản lý năng suất cho quá trình xử lý wafer bán dẫn. Các cấu hình tiếp xúc với bề mặt thấp giảm thiểu rủi ro của các hạt ở mặt sau đối với các ứng dụng nhạy cảm.
Tại Semicorex, chúng tôi tập trung vào việc cung cấp Mâm cặp chân không wafer chất lượng cao, tiết kiệm chi phí, chúng tôi ưu tiên sự hài lòng của khách hàng và cung cấp các giải pháp tiết kiệm chi phí. Chúng tôi mong muốn trở thành đối tác lâu dài của bạn, cung cấp các sản phẩm chất lượng cao và dịch vụ khách hàng đặc biệt.
Các thông số của mâm cặp chân không wafer
Thông số kỹ thuật chính của lớp phủ CVD-SIC |
||
Thuộc tính SiC-CVD |
||
Cấu trúc tinh thể |
Giai đoạn FCC β |
|
Tỉ trọng |
g/cm ³ |
3.21 |
độ cứng |
độ cứng Vickers |
2500 |
Kích thước hạt |
μm |
2~10 |
độ tinh khiết hóa học |
% |
99.99995 |
Nhiệt dung |
J·kg-1 ·K-1 |
640 |
Nhiệt độ thăng hoa |
℃ |
2700 |
Sức mạnh của Felexural |
MPa (RT 4 điểm) |
415 |
Mô đun Youngâs |
Gpa (uốn cong 4pt, 1300â) |
430 |
Giãn nở nhiệt (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Dẫn nhiệt |
(W/mK) |
300 |
Các tính năng của mâm cặp chân không wafer
â Khả năng siêu phẳng
â Đánh bóng gương
â Trọng lượng nhẹ vượt trội
â Độ cứng cao
â Độ giãn nở nhiệt thấp
â Φ đường kính 300 mm trở lên
Khả năng chống mài mòn cực cao