Máy gia nhiệt quá trình wafer

Máy gia nhiệt quy trình wafer Semicorex được chế tạo bằng than chì Lớp phủ cacbua silic (SiC), lớp phủ được áp dụng bằng phương pháp CVD cho các loại than chì mật độ cao cụ thể, vì vậy nó có thể hoạt động trong lò nhiệt độ cao với hơn 3000 ° C trong môi trường trơ, 2200°C trong chân không.
Các tính chất đặc biệt và khối lượng thấp của vật liệu Bộ gia nhiệt quá trình wafer cho phép tốc độ gia nhiệt nhanh, phân phối nhiệt độ đồng đều và kiểm soát chính xác vượt trội. So với các vật liệu khác, bề mặt của Silicon carbide luôn phẳng do độ giãn nở nhiệt thấp ngay cả khi hoạt động với sự thay đổi nhanh về nhiệt độ. Các tấm nóng rất phù hợp cho các quy trình đòi hỏi khắt khe trong các hệ thống xử lý chất bán dẫn.
Tại Semicorex, chúng tôi tập trung vào việc cung cấp các sản phẩm chất lượng cao, tiết kiệm chi phí cho khách hàng. Máy gia nhiệt quy trình wafer của chúng tôi có lợi thế về giá và được xuất khẩu sang nhiều thị trường Châu Âu và Châu Mỹ. Chúng tôi mong muốn trở thành đối tác lâu dài của bạn, cung cấp các sản phẩm chất lượng nhất quán và dịch vụ khách hàng đặc biệt.

Các thông số của quá trình gia nhiệt wafer

Các tính năng của máy gia nhiệt quá trình wafer

- Lớp phủ CVD SiC để cải thiện tuổi thọ.
- Khả năng chịu nhiệt độ cao, chống ăn mòn, tuổi thọ cao, có thể cải thiện chất lượng và sản lượng wafer.
- Nó có hệ số giãn nở nhiệt cực thấp, khả năng chịu nhiệt độ cao, khả năng chống mài mòn cao, cách nhiệt tốt, ổn định hóa học tốt và khả năng xuyên qua ánh sáng nhìn thấy gần như tím (đỏ).

Chúng tôi có thể cung cấp nồi nấu bằng than chì chống oxy hóa và tuổi thọ cao, khuôn than chì và tất cả các bộ phận của lò sưởi than chì.