Máy gia nhiệt quy trình wafer

Semicorex là nhà sản xuất và cung cấp quy mô lớn Chất nhạy cảm than chì phủ silicon cacbua tại Trung Quốc. Chúng tôi tập trung vào các ngành công nghiệp bán dẫn như lớp cacbua silic và chất bán dẫn epitaxy. Máy gia nhiệt quy trình wafer của chúng tôi có lợi thế về giá tốt và bao phủ nhiều thị trường Châu Âu và Châu Mỹ. Chúng tôi mong muốn trở thành đối tác lâu dài của bạn.

Gửi yêu cầu

Mô tả Sản phẩm

Bộ gia nhiệt quá trình wafer Semicorex được chế tạo bằng than chì Silicon Carbide Coating (SiC), lớp phủ được áp dụng bằng phương pháp CVD cho các loại than chì mật độ cao cụ thể, do đó nó có thể hoạt động trong lò nhiệt độ cao với hơn 3000 ° C trong môi trường trơ, 2200°C trong chân không.
Các đặc tính đặc biệt và khối lượng thấp của vật liệu Gia nhiệt quy trình wafer cho phép tốc độ gia nhiệt nhanh, phân bổ nhiệt độ đồng đều và độ chính xác vượt trội trong kiểm soát. So với các vật liệu khác, bề mặt của Silicon Carbide vẫn phẳng do độ giãn nở nhiệt thấp ngay cả khi vận hành với nhiệt độ thay đổi nhanh. Các tấm nóng rất thích hợp cho các quy trình đòi hỏi khắt khe trong hệ thống xử lý chất bán dẫn.
Tại Semicorex, chúng tôi tập trung vào việc cung cấp các sản phẩm chất lượng cao, tiết kiệm chi phí cho khách hàng. Máy gia nhiệt quy trình wafer của chúng tôi có lợi thế về giá và được xuất khẩu sang nhiều thị trường Châu Âu và Châu Mỹ. Chúng tôi mong muốn trở thành đối tác lâu dài của bạn, cung cấp các sản phẩm chất lượng ổn định và dịch vụ khách hàng đặc biệt.

Các thông số của máy gia nhiệt quy trình wafer

Thông số kỹ thuật	VET-M3
Mật độ khối (g/cm3)	≥1,85
Hàm lượng tro (PPM)	500
Độ cứng bờ	≥45
Điện trở riêng (μ.Ω.m)	12
Độ bền uốn (Mpa)	≥40
Cường độ nén (Mpa)	≥70
Tối đa. Kích thước hạt (μm)	43
Hệ số giãn nở nhiệt Mm/°C	.44,4 * 10-6

Các tính năng của máy gia nhiệt quy trình wafer

- Lớp phủ CVD SiC để nâng cao tuổi thọ sử dụng.
- Chịu nhiệt độ cao, chống ăn mòn, tuổi thọ cao, có thể cải thiện chất lượng và năng suất wafer.
- Nó có hệ số giãn nở nhiệt cực thấp, chịu nhiệt độ cao, chống mài mòn cao, cách nhiệt tốt, ổn định hóa học tốt và khả năng xuyên thấu ánh sáng gần như tím (đỏ).

Chúng tôi có thể cung cấp nồi nấu bằng than chì chống oxy hóa và có tuổi thọ cao, khuôn than chì và tất cả các bộ phận của lò sưởi than chì.