Semicorex là đối tác của bạn về các bộ phận và cụm linh kiện than chì tiên tiến nhằm hỗ trợ thông lượng cao hơn và năng suất tốt hơn trong thiết bị xử lý chất bán dẫn của bạn. Các chuyên gia vật liệu của chúng tôi sẵn sàng hợp tác với bạn để phát triển giải pháp tối ưu, phù hợp cho các yêu cầu xử lý, gia nhiệt và xử lý tấm bán dẫn của bạn. Ceramic End Effector của chúng tôi có lợi thế về giá tốt và bao phủ nhiều thị trường Châu Âu và Châu Mỹ. Chúng tôi mong muốn trở thành đối tác lâu dài của bạn tại Trung Quốc.
Ceramic End Effector là bàn tay của robot di chuyển các tấm bán dẫn giữa các vị trí trong thiết bị xử lý tấm bán dẫn và vật mang. Bộ phận tác động cuối phải có kích thước chính xác và ổn định về mặt nhiệt, đồng thời có bề mặt nhẵn, chống mài mòn để xử lý các tấm bán dẫn một cách an toàn mà không làm hỏng thiết bị hoặc tạo ra các hạt nhiễm bẩn. Chất hiệu ứng cuối bằng gốm cacbua silic có độ tinh khiết cao của chúng tôi mang lại khả năng chịu nhiệt vượt trội, thậm chí là độ đồng đều nhiệt để có độ dày và độ bền lớp epi nhất quán cũng như khả năng kháng hóa chất bền bỉ.
Tại Semicorex, chúng tôi tập trung vào việc cung cấp Ceramic End Effector chất lượng cao, tiết kiệm chi phí, chúng tôi ưu tiên sự hài lòng của khách hàng và cung cấp các giải pháp tiết kiệm chi phí. Chúng tôi mong muốn trở thành đối tác lâu dài của bạn, cung cấp các sản phẩm chất lượng cao và dịch vụ khách hàng đặc biệt.
Các thông số của bộ hiệu ứng cuối gốm
Thông số kỹ thuật chính của lớp phủ CVD-SIC |
||
Thuộc tính SiC-CVD |
||
Cấu trúc tinh thể |
Giai đoạn FCC |
|
Tỉ trọng |
g/cm³ |
3.21 |
độ cứng |
Độ cứng Vickers |
2500 |
Kích thước hạt |
mm |
2~10 |
Độ tinh khiết hóa học |
% |
99.99995 |
Công suất nhiệt |
J kg-1 K-1 |
640 |
Nhiệt độ thăng hoa |
℃ |
2700 |
Sức mạnh cảm giác |
MPa (RT 4 điểm) |
415 |
Mô đun của Young |
Gpa (uốn cong 4pt, 1300oC) |
430 |
Giãn nở nhiệt (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Độ dẫn nhiệt |
(W/mK) |
300 |
Các tính năng của End Effector bằng gốm có độ tinh khiết cao
● Than chì phủ SiC có độ tinh khiết cao
● Khả năng chịu nhiệt vượt trội và độ đồng đều nhiệt
● Được phủ tinh thể SiC mịn cho bề mặt nhẵn
● Độ bền cao trước khả năng làm sạch bằng hóa chất
● Vật liệu được thiết kế sao cho không xảy ra hiện tượng nứt và tách lớp.