Semicorex là đối tác của bạn về các bộ phận và cụm linh kiện graphite tiên tiến để hỗ trợ thông lượng cao hơn và năng suất tốt hơn trong thiết bị xử lý chất bán dẫn của bạn. Các chuyên gia vật liệu của chúng tôi sẵn sàng làm việc với bạn để phát triển giải pháp phù hợp tối ưu cho các yêu cầu xử lý, gia nhiệt và xử lý wafer của bạn. Bộ hiệu ứng cuối bằng gốm của chúng tôi có lợi thế về giá tốt và bao phủ nhiều thị trường Châu Âu và Châu Mỹ. Chúng tôi mong muốn trở thành đối tác lâu dài của bạn tại Trung Quốc.
Ceramic End Effector là bàn tay của rô-bốt di chuyển các tấm bán dẫn giữa các vị trí trong thiết bị xử lý tấm bán dẫn và vật mang. Bộ tạo cuối phải chính xác về kích thước và ổn định nhiệt, đồng thời có bề mặt nhẵn, chống mài mòn để xử lý các tấm wafer một cách an toàn mà không làm hỏng thiết bị hoặc tạo ra ô nhiễm dạng hạt. Bộ hiệu ứng cuối bằng gốm cacbua silic có độ tinh khiết cao của chúng tôi cung cấp khả năng chịu nhiệt vượt trội, đồng đều nhiệt cho độ dày và độ bền của lớp epi nhất quán, cũng như khả năng kháng hóa chất lâu bền.
Tại Semicorex, chúng tôi tập trung vào việc cung cấp Hiệu ứng cuối bằng gốm chất lượng cao, hiệu quả về chi phí, chúng tôi ưu tiên sự hài lòng của khách hàng và cung cấp các giải pháp hiệu quả về chi phí. Chúng tôi mong muốn trở thành đối tác lâu dài của bạn, cung cấp các sản phẩm chất lượng cao và dịch vụ khách hàng đặc biệt.
Các thông số của Bộ lọc kết thúc bằng gốm
Thông số kỹ thuật chính của lớp phủ CVD-SIC |
||
Thuộc tính SiC-CVD |
||
Cấu trúc tinh thể |
Giai đoạn FCC β |
|
Tỉ trọng |
g/cm ³ |
3.21 |
độ cứng |
độ cứng Vickers |
2500 |
Kích thước hạt |
μm |
2~10 |
độ tinh khiết hóa học |
% |
99.99995 |
Nhiệt dung |
J·kg-1 ·K-1 |
640 |
Nhiệt độ thăng hoa |
℃ |
2700 |
Sức mạnh của Felexural |
MPa (RT 4 điểm) |
415 |
Mô đun Youngâs |
Gpa (uốn cong 4pt, 1300â) |
430 |
Giãn nở nhiệt (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Dẫn nhiệt |
(W/mK) |
300 |
Các tính năng của Bộ lọc kết thúc bằng gốm có độ tinh khiết cao
â Than chì phủ SiC có độ tinh khiết cao
â Khả năng chịu nhiệt vượt trội & tính đồng nhất nhiệt
â Phủ tinh thể SiC mịn để có bề mặt nhẵn
â Độ bền cao trước hóa chất tẩy rửa
â Vật liệu được thiết kế sao cho không xảy ra nứt và tách lớp.