Thuyền wafer

Các thuyền Wafer Semicorex được sản xuất từ cacbua silicon có độ tinh khiết cao (SIC) là những thành phần thiết yếu trong việc chế tạo chất bán dẫn. Các quá trình bán dẫn trong đó chúng được sử dụng thường bao gồm các môi trường nhiệt độ cao và ăn mòn như khuếch tán, oxy hóa và các quá trình LPCVD. Việc áp dụng các thuyền wafer SIC đã được thiết kế để tối đa hóa sự ổn định nhiệt và kháng hóa chất, cho phép hỗ trợ, căn chỉnh và vận chuyển các tấm silicon trong quá trình xử lý để xử lý để có năng suất tối ưu và hiệu suất thiết bị.

Carbide silicon được ghi nhận tốt như một loại gốm dẫn nhiệt tuyệt vời, thể hiện cường độ cơ học cao và khả năng chống sốc nhiệt vượt trội, kháng oxy hóa và kháng hóa chất tích cực với các hóa chất như HF và HCl. Các tính chất của SIC làm cho nó đặc biệt hấp dẫn như một vật liệu cho các thuyền wafer cho các quá trình chế tạo chất bán dẫn thế hệ tiếp theo và trong môi trường nhiệt độ cao. Thuyền SiC Wafer có thể duy trì tính toàn vẹn cấu trúc và độ ổn định kích thước ở nhiệt độ quá trình> 1500 ° C, giảm thiểu nguy cơ cong vênh hoặc ô nhiễm của các wafer trong các phương pháp điều trị nhiệt quan trọng.

Mỗi sicThuyền waferđược sản xuất từ SIC có độ tinh khiết cao bằng cách sử dụng các quá trình tạo thành gốm và thiêu kết tiên tiến, và có thể được điều chỉnh cho một phạm vi đường kính wafer rộng (100 mm, 150 mm, 200 mm, 300 mm) cũng như cấu hình xếp chồng cho dù theo chiều dọc hay ngang. Thuyền SiC Wafer của chúng tôi có bề mặt mịn và độ phẳng tuyệt vời giúp giảm thiểu việc tạo hạt và lý tưởng cho các hệ thống xử lý wafer tự động.

Kiểm soát và năng suất ô nhiễm là hai trong số những vấn đề quan trọng nhất trong FAB hiện đại. SIC WAFER CARRIERS Sự sạch sẽ và độ tin cậy ảnh hưởng đến chất lượng sản phẩm và hiệu suất quy trình nhất quán.  Thuyền SIC Wafer có tuổi thọ cao hơn nhiều để sử dụng, có ít yêu cầu bảo trì hơn và TCO thấp hơn so với các lựa chọn thay thế dựa trên thạch anh hoặc alumina. Tuổi thọ tốt hơn cũng có nghĩa là ít vấn đề hơn với việc rụng hạt vi mô, do đó, một lần nữa, ảnh hưởng đến sự sạch sẽ của bề mặt wafer và ảnh hưởng đến sự sạch sẽ của phòng sạch.

Semicorex tập trung vào việc thiết kế và sản xuất thuyền wafer sic sử dụng các nguyên liệu thô có độ tinh khiết cao nhất có thể kết hợp với sự thiêu kết không khí ô nhiễm thấp.  Chúng tôi thực hiện mọi nỗ lực để duy trì mức độ tạp chất thấp, để duy trì độ xốp ở giá trị thấp và cấu trúc vi mô thống nhất để công việc của nhóm có thể thường xuyên tận hưởng các đặc điểm nhiệt phù hợp, khoảng cách wafer chính xác và khả năng chống suy thoái hóa học vô song.

Sicorex sicThuyền waferlà một yếu tố cần thiết của quá trình xử lý nhiệt độ cao của chất bán dẫn. Thuyền wafer silicon có độ tinh khiết cao có các đặc điểm vật liệu vô song, sự xuất sắc được thiết kế và tính khí không có nhiễm độc vi mô, khiến chúng trở thành lựa chọn cấp cao để chế tạo wafer hiệu suất cao. Semicorex cung cấp độ tin cậy và hiệu suất cao sáng tạo để hỗ trợ các quy trình bán dẫn quan trọng nhất của bạn.