Thuyền bánh xốp

Semicorex Wafer Boat được thiết kế để chịu đựng các điều kiện khắc nghiệt của lò khuếch tán, chẳng hạn như nhiệt độ cao, môi trường ăn mòn và nhu cầu đặt tấm bán dẫn chính xác trong quá trình khuếch tán.

Thuyền wafer được làm bằng gốm Silicon Carbide, được chọn vì những đặc tính đặc biệt của nó. Silicon Carbide được biết đến với tính dẫn nhiệt cao, đảm bảo phân bổ nhiệt độ đồng đều trên các tấm bán dẫn trong quá trình khuếch tán. Tính đồng nhất này rất quan trọng để duy trì tính toàn vẹn của các tấm bán dẫn và đảm bảo mức độ pha tạp nhất quán, điều này rất cần thiết cho chức năng của các thiết bị bán dẫn đang được sản xuất. Ngoài ra, điểm nóng chảy cao và độ ổn định nhiệt của Silicon Carbide cho phép Thuyền bán dẫn hoạt động ở nhiệt độ cao cần thiết trong quá trình khuếch tán, thường vượt quá 1000°C mà không bị suy giảm hoặc biến dạng.

Một trong những ưu điểm chính của gốm Silicon Carbide trong Thuyền wafer là khả năng kháng hóa chất tuyệt vời. Điện trở này đặc biệt quan trọng trong việc duy trì độ tinh khiết của các tấm bán dẫn, vì bất kỳ sự nhiễm bẩn nào cũng có thể dẫn đến khiếm khuyết ở sản phẩm cuối cùng, ảnh hưởng đến hiệu suất của các mạch tích hợp.

Tính toàn vẹn về cấu trúc của Thuyền wafer là một yếu tố quan trọng khác trong thiết kế của nó. Thiết kế phải đảm bảo rằng các tấm bán dẫn được giữ chắc chắn tại chỗ, với khoảng cách chính xác để cho phép tiếp xúc đều với các khí phản ứng. Độ chính xác này rất quan trọng để đạt được sự pha tạp đồng đều trên tất cả các tấm bán dẫn, tác động trực tiếp đến đặc tính điện của các thiết bị bán dẫn.

Ngoài các đặc tính nhiệt và hóa học, gốm Silicon Carbide còn mang lại độ ổn định kích thước tuyệt vời, rất quan trọng đối với các yêu cầu về độ chính xác cao của sản xuất chất bán dẫn. Sự ổn định này đảm bảo rằng các tấm wafer vẫn được căn chỉnh hoàn hảo, cho phép khuếch tán chất pha tạp chính xác và đồng đều trên toàn bộ bề mặt của mỗi tấm wafer, dẫn đến việc sản xuất các thiết bị bán dẫn chất lượng cao.

Thuyền bán dẫn Semicorex được làm từ gốm Silicon Carbide là thành phần thiết yếu trong quá trình khuếch tán chất bán dẫn. Khả năng dẫn nhiệt đặc biệt, kháng hóa chất, độ bền cơ học và độ ổn định kích thước của nó khiến nó phù hợp lý tưởng với các điều kiện khắt khe của sản xuất chất bán dẫn. Việc sử dụng nó không chỉ nâng cao hiệu quả và độ tin cậy của quá trình khuếch tán mà còn góp phần nâng cao hiệu quả chi phí chung của sản xuất chất bán dẫn.