Thuyền wafer dọc

Semicorex Vertical Wafer Boat là một giá đỡ được thiết kế đặc biệt dành cho nhiều tấm bán dẫn nhằm tối đa hóa hiệu quả không gian trong các buồng xử lý. Những chiếc thuyền wafer dọc này thường có hình chữ nhật hoặc hình trụ và mỗi chiếc thuyền đều có các khe hoặc túi được gia công chính xác cách nhau để giữ chắc chắn từng tấm wafer ở vị trí thẳng đứng. Thuyền wafer dọc được chế tạo từ Silicon Carbide (SiC) có khả năng chống chịu tuyệt vời với nhiệt độ cao, hóa chất ăn mòn và ứng suất cơ học, khiến chúng trở nên lý tưởng để bảo vệ các tấm wafer khỏi những hư hỏng có thể xảy ra.

Trong quá trình chế tạo chất bán dẫn, các tấm bán dẫn trải qua nhiều quá trình phức tạp, bao gồm khuếch tán, RTP và trường nhiệt. Thuyền bán dẫn dọc đóng một vai trò quan trọng trong việc tạo điều kiện thuận lợi cho các quy trình này bằng cách đóng vai trò là phương tiện vận chuyển các tấm bán dẫn, cho phép chuyển giao liền mạch giữa các thiết bị và giai đoạn khác nhau. Hướng dọc của nó giảm thiểu dấu chân trong các buồng xử lý, tối ưu hóa công suất và cho phép xử lý hiệu quả các lô tấm bán dẫn lớn.

Thuyền bán dẫn dọc Semicorex là nền tảng của xử lý chất bán dẫn, cung cấp giải pháp mạnh mẽ và đáng tin cậy để xử lý và vận chuyển an toàn các tấm bán dẫn trong suốt các giai đoạn chế tạo khác nhau. Thiết kế tiên tiến của nó, cùng với các đặc tính đặc biệt của SiC, nhấn mạnh vai trò then chốt của nó trong việc sản xuất các thiết bị bán dẫn tiên tiến.