Thuyền wafer thạch anh dọc

Trong quy trình sản xuất chất bán dẫn, các linh kiện bán dẫn trong buồng phản ứng phải đáp ứng các tiêu chuẩn nghiêm ngặt về độ sạch cao. Mặt khác, ngay cả các tạp chất hoặc chất gây ô nhiễm ở quy mô vi mô hoặc nano cũng có thể gây ra thiệt hại không thể khắc phục đối với hiệu suất và hiệu suất của các thiết bị bán dẫn.

Thuyền wafer thạch anhthường được lắp đặt theo chiều dọc trong các buồng phản ứng nhiệt độ cao như lò khuếch tán, lò oxy hóa và lò ủ, nơi chúng cần tiếp xúc trực tiếp với các tấm bán dẫn. Thuyền wafer thạch anh thẳng đứng của Semicorex được sản xuất bằng vật liệu thạch anh có độ tinh khiết cao để đáp ứng các yêu cầu về độ sạch cao này. Việc lựa chọn vật liệu khôn ngoan này giúp tránh được tình trạng ô nhiễm tấm bán dẫn một cách hiệu quả do các chất phản ứng thoát ra từ thuyền bán bán dẫn trong quá trình sản xuất.

Trong sản xuất chất bán dẫn, thuyền bán dẫn không chỉ phải trải qua các chu trình làm nóng-làm mát lặp đi lặp lại mà còn phải chịu được sự ăn mòn của khí xử lý trong thời gian dài. Thạch anh đứng của Semicorexbánh xốpthuyền thể hiện sự ổn định kích thước đặc biệt trong các điều kiện vận hành đầy thách thức của chu kỳ nhiệt liên tục vì tính ổn định nhiệt vốn có của chúng. Đặc tính nhiệt vượt trội này ngăn chặn đáng kể sự biến dạng và hư hỏng của tấm bán dẫn do suy giảm độ chính xác hoặc biến dạng cấu trúc của thuyền bán dẫn thạch anh thẳng đứng. Hơn nữa, nhờ tính trơ hóa học cao, thuyền wafer thạch anh thẳng đứng có thể chống lại phản ứng với các loại khí ăn mòn như oxy, hơi nước, hydro clorua và amoniac. Đặc tính này làm giảm đáng kể khả năng ăn mòn hóa học sẽ làm tổn hại đến tính toàn vẹn cấu trúc của các tấm wafer thạch anh thẳng đứng.

Ngoài những ưu điểm về hiệu suất nêu trên, thuyền wafer thạch anh thẳng đứng của Semicorex còn thể hiện khả năng cạnh tranh tuyệt vời về độ chính xác về kích thước và thiết kế kết cấu. Mỗi bộ phận của chúng được sản xuất bằng kỹ thuật gia công chính xác. Việc kiểm soát kích thước chính xác này đảm bảo định vị tấm wafer chính xác, giảm thiểu trầy xước và nứt do dịch chuyển hoặc va chạm trong quá trình tải, xử lý và dỡ tải.