Thuyền wafer thạch anh

Thuyền wafer thạch anhlà các vật mang chính xác được làm bằng thạch anh có độ tinh khiết cao dùng để giữ và cố địnhbánh xốp. Chúng là những thành phần quan trọng không thể thiếu trong sản xuất chất bán dẫn và quang điện, mang lại sự đảm bảo đáng tin cậy cho hoạt động sản xuất có độ chính xác cao và hiệu quả cao.

Thuyền wafer thạch anh được gia công chính xác thành các hình dạng và kích thước cụ thể, mang lại khả năng tương thích tuyệt vời với nhiều loại thiết bị xử lý chất bán dẫn. Các khe bên trong được thiết kế chính xác và thiết kế cấu trúc được tối ưu hóa đáp ứng các yêu cầu nghiêm ngặt của quy trình sản xuất tấm bán dẫn về độ chính xác, độ song song và vuông góc, giúp giảm hiệu quả nguy cơ hư hỏng vật lý đối với các tấm bán dẫn.

Vật liệu thạch anh được Semicorex lựa chọn có độ tinh khiết ≥99,995% và hàm lượng tạp chất cực thấp, có thể đáp ứng các yêu cầu nghiêm ngặt về độ tinh khiết của các quy trình quan trọng trong quy trình sản xuất chất bán dẫn và ngăn ngừa ô nhiễm wafer một cách hiệu quả.

Thạch anh có độ tinh khiết cao này thể hiện các đặc tính vượt trội như khả năng chịu nhiệt độ cao tuyệt vời, hệ số giãn nở nhiệt thấp và độ ổn định hóa học mạnh, cho phép nó thích ứng với nhu cầu quy trình phức tạp của sản xuất chất bán dẫn. Nó có thể hoạt động ổn định và lâu dài trong môi trường nhiệt độ cao khoảng 1200°C, đáp ứng yêu cầu của các quá trình như khuếch tán bán dẫn, oxy hóa, ủ và khuếch tán ở nhiệt độ cao của tế bào quang điện, đảm bảo các tấm wafer hoặc tấm silicon không bị hư hỏng do biến dạng hoặc nóng chảy trong quá trình xử lý ở nhiệt độ cao.

Tính ổn định hóa học mạnh mẽ của nó khiến nó không phản ứng với các khí được sử dụng trong quy trình bán dẫn hoặc thuốc thử hóa học được sử dụng trong sản xuất quang điện và không giải phóng tạp chất, đảm bảo mức độ sạch cao trong môi trường sản xuất, đảm bảo độ tinh khiết của sản phẩm và đảm bảo tính ổn định của quy trình.